JPWO2013018809A1 - プローブユニット - Google Patents
プローブユニット Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2013018809A1 JPWO2013018809A1 JP2013526937A JP2013526937A JPWO2013018809A1 JP WO2013018809 A1 JPWO2013018809 A1 JP WO2013018809A1 JP 2013526937 A JP2013526937 A JP 2013526937A JP 2013526937 A JP2013526937 A JP 2013526937A JP WO2013018809 A1 JPWO2013018809 A1 JP WO2013018809A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- contact
- probe
- diameter
- tip
- probe unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/06711—Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
- G01R1/06716—Elastic
- G01R1/06722—Spring-loaded
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/06711—Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
- G01R1/06733—Geometry aspects
- G01R1/06738—Geometry aspects related to tip portion
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Geometry (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Abstract
Description
2 プローブ群
2a コンタクトプローブ(プローブ)
3 プローブホルダ
4 ホルダ部材
21 第1プランジャ
21a,22a 先端部
21b 爪部
21c,22b フランジ部
21d,22c ボス部
21e,22d 基端部
22 第2プランジャ
23 コイルばね
23a 密着巻き部
23b 粗巻き部
31 第1部材
32 第2部材
33,34 ホルダ孔
33a,34a 小径部
33b,34b 大径部
100 半導体集積回路
101 接続用電極
200 回路基板
201,202 電極
Claims (3)
- 長手方向の一方の端部側で被接触体の一つの電極と接触する2以上の数のコンタクトプローブからなる複数のプローブ群を有し、各コンタクトプローブは、他方の端部側で基板の異なる電極とそれぞれ接触するプローブユニットであって、
前記コンタクトプローブは、
前記長手方向の一方の端部側に設けられ、先細な先端形状をなす爪部を複数有し、該爪部によって前記被接触体の電極と接触する第1接触部と、
前記長手方向の他方の端部側に設けられ、前記基板の対応する電極と接触する第2接触部と、
前記第1接触部と前記第2接触部との間に設けられ、前記第1および第2接触部を付勢するコイルばねと、
を有することを特徴とするプローブユニット。 - 前記第1接触部は、4個以上の前記爪部を有することを特徴とする請求項1に記載のプローブユニット。
- 前記第1接触部は、6個以上であって10個以下の前記爪部を有することを特徴とする請求項1または2に記載のプローブユニット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013526937A JPWO2013018809A1 (ja) | 2011-08-02 | 2012-07-31 | プローブユニット |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011169613 | 2011-08-02 | ||
JP2011169613 | 2011-08-02 | ||
JP2013526937A JPWO2013018809A1 (ja) | 2011-08-02 | 2012-07-31 | プローブユニット |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2013018809A1 true JPWO2013018809A1 (ja) | 2015-03-05 |
Family
ID=47629330
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013526937A Pending JPWO2013018809A1 (ja) | 2011-08-02 | 2012-07-31 | プローブユニット |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9702905B2 (ja) |
JP (1) | JPWO2013018809A1 (ja) |
TW (1) | TWI479156B (ja) |
WO (1) | WO2013018809A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6042761B2 (ja) * | 2013-03-28 | 2016-12-14 | 東京エレクトロン株式会社 | プローブ装置 |
CN103323635B (zh) * | 2013-06-21 | 2015-12-02 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 用于检测接触效果的探针模组 |
JP6553472B2 (ja) * | 2015-09-30 | 2019-07-31 | 株式会社ヨコオ | コンタクタ |
SG11201709953TA (en) | 2016-02-15 | 2018-01-30 | Nhk Spring Co Ltd | Conductive probe for inspection and semiconductor inspection device |
CN109219753A (zh) * | 2016-05-31 | 2019-01-15 | 日本电产理德股份有限公司 | 接触导电辅助具及检查装置 |
JP6872960B2 (ja) * | 2017-04-21 | 2021-05-19 | 株式会社日本マイクロニクス | 電気的接続装置 |
JP7098886B2 (ja) * | 2017-07-04 | 2022-07-12 | 日本電産リード株式会社 | 接触端子、検査治具、及び検査装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62140459U (ja) * | 1986-02-27 | 1987-09-04 | ||
JP2004271290A (ja) * | 2003-03-07 | 2004-09-30 | Advanced Systems Japan Inc | ケルビン・スパイラルコンタクタ |
JP2008096368A (ja) * | 2006-10-16 | 2008-04-24 | Yokowo Co Ltd | ケルビン検査用治具 |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6208155B1 (en) * | 1998-01-27 | 2001-03-27 | Cerprobe Corporation | Probe tip and method for making electrical contact with a solder ball contact of an integrated circuit device |
US6159056A (en) * | 1998-11-25 | 2000-12-12 | Rika Electronics International, Inc. | Electrical contact assembly for interconnecting test apparatus and the like |
WO2000073805A1 (fr) * | 1999-05-28 | 2000-12-07 | Nhk Spring Co., Ltd. | Contact conducteur |
JP2003234161A (ja) | 2002-02-08 | 2003-08-22 | Enplas Corp | 電気部品用ソケット |
JP2005249447A (ja) | 2004-03-02 | 2005-09-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プローブピン |
KR100584225B1 (ko) * | 2004-10-06 | 2006-05-29 | 황동원 | 전자장치용 콘택트 |
JP4823667B2 (ja) * | 2005-12-05 | 2011-11-24 | 日本発條株式会社 | プローブカード |
JP4831614B2 (ja) * | 2006-08-15 | 2011-12-07 | 株式会社ヨコオ | ケルビン検査用治具 |
CN101755216B (zh) * | 2007-07-19 | 2012-10-10 | 日本发条株式会社 | 探针卡 |
US7862391B2 (en) * | 2007-09-18 | 2011-01-04 | Delaware Capital Formation, Inc. | Spring contact assembly |
JP5144997B2 (ja) | 2007-09-21 | 2013-02-13 | 東京特殊電線株式会社 | コンタクトプローブユニット及びその製造方法 |
JP5607934B2 (ja) * | 2008-02-01 | 2014-10-15 | 日本発條株式会社 | プローブユニット |
JP5291585B2 (ja) * | 2008-11-07 | 2013-09-18 | 株式会社日本マイクロニクス | 接触子及び電気的接続装置 |
US8324919B2 (en) * | 2009-03-27 | 2012-12-04 | Delaware Capital Formation, Inc. | Scrub inducing compliant electrical contact |
JP5361518B2 (ja) * | 2009-04-27 | 2013-12-04 | 株式会社ヨコオ | コンタクトプローブ及びソケット |
JP2012198024A (ja) | 2009-07-31 | 2012-10-18 | Wit Co Ltd | テストプローブ用のクリーニングパッドおよびテストプローブのクリーニング方法 |
WO2011036800A1 (ja) * | 2009-09-28 | 2011-03-31 | 株式会社日本マイクロニクス | 接触子及び電気的接続装置 |
JP5568563B2 (ja) * | 2009-09-28 | 2014-08-06 | 株式会社日本マイクロニクス | 接触子及び電気的接続装置 |
KR101149758B1 (ko) * | 2010-06-30 | 2012-07-11 | 리노공업주식회사 | 프로브 |
JP5782261B2 (ja) | 2011-01-17 | 2015-09-24 | 株式会社ヨコオ | ソケット |
MY177561A (en) * | 2011-07-19 | 2020-09-19 | Nhk Spring Co Ltd | Contact structure unit |
USD699607S1 (en) * | 2012-03-01 | 2014-02-18 | Yamaichi Electronics Co., Ltd. | Contact probe |
US8373430B1 (en) * | 2012-05-06 | 2013-02-12 | Jerzy Roman Sochor | Low inductance contact probe with conductively coupled plungers |
-
2012
- 2012-07-31 WO PCT/JP2012/069502 patent/WO2013018809A1/ja active Application Filing
- 2012-07-31 JP JP2013526937A patent/JPWO2013018809A1/ja active Pending
- 2012-07-31 US US14/236,388 patent/US9702905B2/en active Active
- 2012-08-01 TW TW101128191A patent/TWI479156B/zh not_active IP Right Cessation
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62140459U (ja) * | 1986-02-27 | 1987-09-04 | ||
JP2004271290A (ja) * | 2003-03-07 | 2004-09-30 | Advanced Systems Japan Inc | ケルビン・スパイラルコンタクタ |
JP2008096368A (ja) * | 2006-10-16 | 2008-04-24 | Yokowo Co Ltd | ケルビン検査用治具 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2013018809A1 (ja) | 2013-02-07 |
US20140247065A1 (en) | 2014-09-04 |
TW201312124A (zh) | 2013-03-16 |
TWI479156B (zh) | 2015-04-01 |
US9702905B2 (en) | 2017-07-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6116903B2 (ja) | コンタクトプローブおよびプローブユニット | |
WO2013018809A1 (ja) | プローブユニット | |
CN107783024B (zh) | 垂直式探针卡之探针装置 | |
JP5982372B2 (ja) | 接触構造体ユニット | |
JP5607934B2 (ja) | プローブユニット | |
JP6367249B2 (ja) | プローブユニット | |
WO2012067126A1 (ja) | コンタクトプローブおよびプローブユニット | |
WO2014017402A1 (ja) | 検査治具及びその製造方法 | |
CN112600006B (zh) | 电触头、电连接结构及电连接装置 | |
JP2007194187A (ja) | コンタクトピン、及び電気部品用ソケット | |
US20150160265A1 (en) | Kelvin contact probe structure and a kelvin inspection fixture provided with the same | |
US20220026481A1 (en) | Contact terminal, inspection jig, and inspection apparatus | |
WO2011071082A1 (ja) | コンタクトプローブ | |
JP4167202B2 (ja) | 導電性接触子 | |
WO2018181273A1 (ja) | プローブ、プローブユニット、およびプローブユニットを備える半導体検査装置 | |
TWI806083B (zh) | 電性接觸子的電性接觸構造及電性連接裝置 | |
WO2012067125A1 (ja) | プローブユニット | |
US20220155347A1 (en) | Electrical contactor and electrical connecting apparatus | |
JP5651333B2 (ja) | プローブユニット | |
TW201812311A (zh) | 用於晶圓測試接觸件之堆疊立柱凸塊接觸及其相關方法 | |
JP7134904B2 (ja) | コンタクトプローブおよび信号伝送方法 | |
WO2013051674A1 (ja) | プローブユニット | |
JP2008077896A (ja) | コイルばねコンタクト |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150401 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150908 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151109 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20160412 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160711 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20160719 |
|
A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20160805 |