JP5982372B2 - 接触構造体ユニット - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態1にかかる接触構造体ユニットの構成を示す斜視図である。図1に示す接触構造体ユニット1は、検査対象物である半導体集積回路100の電気特性検査を行う際に使用する装置であって、半導体集積回路100と半導体集積回路100へ検査用信号を出力する回路基板200との間を電気的に接続する装置である。
図6は、本実施の形態2にかかる接触構造体ユニットの要部の構成を示す斜視図である。図7は、図6に示すA−A線断面を示す断面図である。図8は、接触構造体ホルダ3aを用いた半導体集積回路100の検査時の状態を示す図である。なお、図1等で上述した接触構造体ユニット1と同じ構成要素には同じ符号を付してある。本実施の形態2では、各第1接触部材2aに代えて、シート状をなす第1接触部材2eを用いて半導体集積回路100と回路基板200との間を電気的に導通する。
図9は、本実施の形態3にかかる接触構造体ユニットの接触構造体の構成を示す斜視図である。図10は、本実施の形態3にかかる接触構造体の構成を示す正面図である。図11は、本実施の形態3にかかる接触構造体の構成を示す側面図である。図9〜11に示す接触構造体8は、導電性材料を用いて形成される。接触構造体8は、図1等に示した半導体集積回路100の検査を行なうときにその半導体集積回路100の接続用電極101に接触する板状をなす2つの第1接触部材2fと、板状をなし、第1接触部材2fと接触し、図1等に示した回路基板200の電極にそれぞれ接触する2つの第2接触部材2gと、第1接触部材2fおよび第2接触部材2gを摺動可能に拘束するコイルばね24cと、を備える。
2,5,6,7,8,9 接触構造体
2a,2e,2f,2h 第1接触部材
2b,2c,2d,2g,2i 第2接触部材
3,3a 接触構造体ホルダ
4 ホルダ部材
21a 接触部
21b,22b,28a 爪部
21c,22c,23b,28c フランジ部
22a,23a,25a,26a,28b,29b 先端部
22,25,26 第1プランジャ
22d,23c ボス部
22e,23d,28d,29c 基端部
23 第2プランジャ
24,24c コイルばね
24a 密着巻き部
24b 粗巻き部
27a シート部
27b 電極側接触部
27c 接触構造体側接触部
29a 頭頂部
31,31a 第1部材
32 第2部材
33 第3部材
34,35,36,37 ホルダ孔
34a,35a,36a 小径部
34b,35b,36b 大径部
37a 第1ホルダ孔
37b 第2ホルダ孔
100 半導体集積回路
200 回路基板
Claims (7)
- 複数の電極を有する基板と被接触体とを導通する接触構造体ユニットであって、
前記被接触体である接続用電極の中心と接触する第1接触部を有する第1接触部材と、
各々が、一方の端部側に設けられ、前記電極と接触する第2接触部を有し、他方の端部側で前記第1接触部材と接触する複数の第2接触部材と、
前記第1接触部と各第2接触部との間にそれぞれ設けられ、前記第1および第2接触部を付勢する複数のコイルばねと、
を備え、
前記複数の第2接触部材の第2接触部は、前記複数の電極のうち、それぞれが互いに異なる電極と接触する
ことを特徴とする接触構造体ユニット。 - 前記第2接触部材は、
先細な先端形状を有し、前記第1接触部材と接触する先端部を有する導電性の第1プランジャと、
前記第2接触部を有する導電性の第2プランジャと、
を有し、
前記コイルばねは、前記第1および第2プランジャを連結することを特徴とする請求項1に記載の接触構造体ユニット。 - 前記先端部は、複数の爪部を有することを特徴とする請求項2に記載の接触構造体ユニット。
- 前記第1接触部材は、
弾性変形可能なシート状をなし、一方の面に前記第1接触部が複数設けられ、
他方の面の前記第1接触部に対応する位置に前記第2接触部材と接触する第3接触部を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載の接触構造体ユニット。 - 前記第1接触部材は板状をなし、前記第1接触部の基端側に設けられ、前記第1接触部より大きい幅を有するフランジ部と、前記フランジ部の前記第1接触部との連結側と異なる側の端部から延び、前記コイルばねの内周部に挿通される2つの第1基端部と、を有し、
前記第2接触部材は板状をなし、前記第2接触部の基端側から延び、前記コイルばねの内周部に挿通され、前記第1基端部と接触する第2基端部を有し、
前記コイルばねは、前記第1および第2基端部を摺動可能に拘束することを特徴とする請求項1に記載の接触構造体ユニット。 - 前記第1接触部材を2つ有し、
2つの前記第1基端部は、前記第2基端部を挟むことを特徴とする請求項5に記載の接触構造体ユニット。 - 前記第1接触部は、複数の爪部を有することを特徴とする請求項1〜6のいずれか一つに記載の接触構造体ユニット。
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