JP6710808B2 - プローブホルダおよびプローブユニット - Google Patents
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Description
(プローブ挿入)
○:プローブ2をプローブホルダ3に挿入可能
×:プローブ2をプローブホルダ3に挿入不可能
(プローブ保持)
○:プローブ2をプローブホルダ3に保持可能
×:プローブ2をプローブホルダ3に保持不可能
プローブ2において、先端側フランジ21aの径を640μm、配線側フランジ22aの径を650μmとした。プローブホルダ3は、曲げ弾性率が8GPaのスーパーエンジニアリングプラスチックであるPEEKを用いて作製した。プローブホルダ3において、先端側細穴31aの径を600μm、太径部31b(太穴)の径を710μm、配線側細穴31cの径を620μmとした。配線側クリアランスは、−30μmであった。寸法および評価結果を表1に示す。
プローブ2は、実施例1と同様の物を用いた。プローブホルダ3は、配線側細穴31cの径を630μmとした以外は実施例1と同じである。配線側クリアランスは、−20μmであった。
プローブ2は、実施例1と同様の物を用いた。プローブホルダ3は、配線側細穴31cの径を640μmとした以外は実施例1と同じである。配線側クリアランスは、−10μmであった。
プローブ2は、実施例1と同様の物を用いた。プローブホルダ3は、配線側細穴31cの径を650μmとした以外は実施例1と同じである。配線側クリアランスは、0μmであった。
プローブ2は、実施例1と同様の物を用いた。プローブホルダ3は、配線側細穴31cの径を660μmとした以外は実施例1と同じである。配線側クリアランスは、10μmであった。
プローブ2は、実施例1と同様の物を用いた。プローブホルダ3は、配線側細穴31cの径を670μmとした以外は実施例1と同じである。配線側クリアランスは、20μmであった。
プローブ2において、先端側フランジ21aの径を310μm、配線側フランジ22aの径を360μmとした。プローブホルダ3は、曲げ弾性率が8GPaのスーパーエンジニアリングプラスチックであるPEEKを用いて作製した。プローブホルダ3において、先端側細穴31aの径を310μm、太径部31b(太穴)の径を400μm、配線側細穴31cの径を330μmとした。配線側クリアランスは、−30μmであった。寸法および評価結果を表2に示す。
プローブ2は、実施例7と同様の物を用いた。プローブホルダ3は、配線側細穴31cの径を340μmとした以外は実施例7と同じである。配線側クリアランスは、−20μmであった。
プローブ2は、実施例7と同様の物を用いた。プローブホルダ3は、配線側細穴31cの径を350μmとした以外は実施例7と同じである。配線側クリアランスは、−10μmであった。
プローブ2は、実施例7と同様の物を用いた。プローブホルダ3は、配線側細穴31cの径を360μmとした以外は実施例7と同じである。配線側クリアランスは、0μmであった。
プローブ2は、実施例7と同様の物を用いた。プローブホルダ3は、配線側細穴31cの径を370μmとした以外は実施例7と同じである。配線側クリアランスは、10μmであった。
プローブ2は、実施例7と同様の物を用いた。プローブホルダ3は、配線側細穴31cの径を380μmとした以外は実施例7と同じである。配線側クリアランスは、20μmであった。
2 コンタクトプローブ(プローブ)
3 プローブホルダ
21 第1プランジャ
21a,22a フランジ部
22 第2プランジャ
23 バネ部材
23a 密着巻き部
23b 粗巻き部
31 ホルダ孔
31a 第1孔部
31b 太径部
31c 第2孔部
100 半導体集積回路
101 接続用電極
200 回路基板
Claims (6)
- 長手方向の一方の端部側で接触対象の一つの電極とそれぞれ接触する複数のコンタクトプローブと、
前記複数のコンタクトプローブをそれぞれ保持する複数のホルダ孔が形成され、一枚板からなるプローブホルダと、
を備え、
前記ホルダ孔は、
貫通方向の一端に設けられ、前記貫通方向に沿って延びる第1孔部と、
前記第1孔部に連なるとともに、前記貫通方向に沿って延び、前記第1孔部の径と比して大きい太径部と、
前記太径部に連なるとともに、前記貫通方向に沿って延び、前記太径部の径と比して小さい第2孔部と、
を有し、
前記コンタクトプローブは、
前記第1孔部および前記太径部がなす段部に当接する第1フランジ部を有する第1プランジャと、
前記太径部および前記第2孔部がなす段部に当接する第2フランジ部を有する第2プランジャと、
一端で前記第1プランジャと接続するとともに、他端で前記第2プランジャと接続するバネ部材と、
を備えることを特徴とするプローブユニット。 - 前記第2孔部の径をD3、前記第2フランジ部の径をD12としたとき、−20≦D3−D12≦10(μm)の関係を満たしている
ことを特徴とする請求項1に記載のプローブユニット。 - 前記第1孔部の径と、前記第2孔部の径とは同じであり、
前記第1フランジ部の径と、前記第2フランジ部の径とは同じである
ことを特徴とする請求項1または2に記載のプローブユニット。 - 前記第1孔部の径は、前記第2孔部の径より小さく、
前記第1フランジ部の径は、前記第2フランジ部の径より小さい
ことを特徴とする請求項1または2に記載のプローブユニット。 - 前記第2孔部の径は、前記第2フランジ部の径以下である
ことを特徴とする請求項1に記載のプローブユニット。 - 第1フランジ部を有する第1プランジャと、第2フランジ部を有する第2プランジャと、一端で前記第1プランジャと接続するとともに、他端で前記第2プランジャと接続するバネ部材と、を備える複数のコンタクトプローブであって、長手方向の一方の端部側で接触対象の一つの電極とそれぞれ接触する複数のコンタクトプローブを保持するプローブホルダであって、
一枚板からなり、
当該プローブホルダを貫通し、前記複数のコンタクトプローブをそれぞれ保持する複数のホルダ孔が形成され、
前記ホルダ孔は、
貫通方向の一端に設けられ、前記貫通方向に沿って延びる第1孔部と、
前記第1孔部に連なるとともに、前記貫通方向に沿って延び、前記第1孔部の径と比して大きい太径部と、
前記貫通方向の他端に設けられ、前記太径部に連なるとともに、前記貫通方向に沿って延び、前記太径部の径と比して小さい第2孔部と、
を有し、
前記第1孔部および前記太径部がなす段部に前記第1フランジ部が当接し、
前記太径部および前記第2孔部がなす段部に前記第2フランジ部が当接する、
ことを特徴とするプローブホルダ。
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