JP6522634B2 - プローブユニット - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態1にかかるプローブユニットの構成を示す部分断面図である。図1に示すプローブユニット1は、検査対象物である半導体集積回路の電気特性検査や電力供給を行う際に使用する装置であって、半導体集積回路の電極と半導体集積回路へ検査用信号を出力する回路基板の電極との間を電気的に接続する装置である。
図3は、本実施の形態1の変形例1にかかるプローブユニットの構成を示す部分断面図である。上述した実施の形態1では、第2プランジャ22,32の先端部22a,32aが一つの頭頂部を有する略錘状をなすものとして説明したが、本変形例1にかかるプローブユニット1aでは、上述した先端部21a,31aのように、複数の頭頂部を有する。
図4は、本実施の形態1の変形例2にかかるプローブユニットの構成を示す部分断面図である。本変形例2にかかるプローブユニット1bでは、第2絶縁プレート80と回路基板200との間に空間を形成する。
図5は、本実施の形態1の変形例3にかかるプローブユニットの構成を示す部分断面図である。本変形例3にかかるプローブユニット1cのように、第2絶縁プレート80と回路基板200との間に形成された空間に、ファンなどを用いて実現される送気機構90によって空間内に気体を流通させて空間内を換気することによって、一段と放熱効果を高めることができる。
つぎに、本発明の実施の形態2について説明する。図6は、本発明の実施の形態2にかかるプローブユニットの構成を示す部分断面図である。なお、図1等で上述した構成要素と同じ構成要素には同じ符号を付してある。上述した実施の形態1では、金属ブロック50に圧入された導電ピン4によって導通を図るものとして説明したが、本実施の形態2は、金属ネジおよび金属ナットによって導通を図る。
2 コンタクトプローブ(信号用プローブ)
3 コンタクトプローブ(大電流プローブ)
4 導電ピン
4a 導電部材
5 プローブホルダ
21,31 第1プランジャ
21a,22a,22f,31a,32a,32f 先端部
21b,22e,31b,32e 爪部
21c,22b,31c,32b フランジ部
21d,22c,31d,32c ボス部
21e,22d,31e,32d 基端部
22,32 第2プランジャ
23,33 コイルばね
23a 密着巻き部
23b 粗巻き部
40 金属ナット
41a,41b 金属ネジ
50,50a 金属ブロック
51,51a 第1部材
52,52a 第2部材
60,60a 絶縁ブロック
70,70a 第1絶縁プレート
80,80a 第2絶縁プレート
100 半導体集積回路
200 回路基板
Claims (9)
- 長手方向の一方の端部側で接触対象物の互いに異なる電極とそれぞれ接触するとともに、他方の端部側で基板の互いに異なる電極とそれぞれ接触する第1および第2のコンタクトプローブと、
前記第1および第2のコンタクトプローブを収容して保持するプローブホルダと、
を備え、
前記第1のコンタクトプローブは、導電性の材料からなり、前記長手方向に伸縮自在であり、
前記第2のコンタクトプローブは、
導電性の材料からなり、前記接触対象物の電極と接触する第1接触部と、
導電性の材料からなり、前記基板の電極と接触する第2接触部と、
前記長手方向に伸縮自在であって、前記第1および第2接触部を連結する連結部材と、
を有し、
前記プローブホルダは、
導電性の材料を用いて形成され、前記第1および第2のコンタクトプローブを挿通可能な複数の第1挿通孔が形成された導電ブロックと、
前記導電ブロックの内部に設けられ、絶縁性を有する材料からなり、前記第1および第2のコンタクトプローブを挿通可能な複数の第2挿通孔が形成された絶縁ブロックと、
を有し、
前記第1および第2接触部は、前記導電ブロックとそれぞれ接触し、
前記絶縁ブロックは、少なくとも前記第1のコンタクトプローブを抜止することを特徴とするプローブユニット。 - 前記連結部材は、少なくとも表面が絶縁性を有する材料からなることを特徴とする請求項1に記載のプローブユニット。
- 前記プローブホルダに保持されて前記第2のコンタクトプローブと電気的に接続する導電性の材料からなる導電部材をさらに備えたことを特徴とする請求項1または2に記載のプローブユニット。
- 前記導電部材は、略円柱状をなす導電ピンであり、
前記第1挿通孔に圧入することを特徴とする請求項3に記載のプローブユニット。 - 前記第1挿通孔のうち、前記導電部材を挿通する第1挿通孔が外部に向けて拡径する段付き形状をなし、
前記導電部材は、
前記絶縁ブロックに設けられる導電性のナットと、
前記導電ブロックの上面および下面から前記ナットとそれぞれ螺合する二つの導電性のネジと、
からなり、
前記ネジは、該ネジの頭部が第1挿通孔に形成された段部に当接することを特徴とする請求項3に記載のプローブユニット。 - 前記第1および第2のコンタクトプローブと前記基板の電極とが接触した状態で、前記プローブホルダと前記基板とは離間していることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一つに記載のプローブユニット。
- 前記プローブホルダと前記基板との間の空間を流通する気体を送り込む送気機構をさらに設けたことを特徴とする請求項6に記載のプローブユニット。
- 前記第1および第2接触部のうち少なくとも一方の接触部には、前記電極と接触する側の先端に、先細な先端形状をなす複数の爪部が設けられていることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一つに記載のプローブユニット。
- 前記プローブホルダは、
絶縁性材料からなり、前記第1のコンタクトプローブの一部を挿通可能な複数の第1孔と、前記第2のコンタクトプローブの一部を挿通可能な複数の第2孔とが、前記接触対象物の電極配置に応じて形成され、前記導電ブロックの一方の面に設けられる第1絶縁プレートと、
絶縁性材料からなり、前記第1のコンタクトプローブの一部を挿通可能な複数の第3孔と、前記第2のコンタクトプローブの一部を挿通可能な複数の第4孔とが、前記第1孔および前記第2孔とそれぞれ同じ配置で形成され、前記導電ブロックの他方の面に設けられる第2絶縁プレートと、
をさらに有することを特徴とする請求項1〜8のいずれか一つに記載のプローブユニット。
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