JP7430252B2 - 検査ソケットの製造方法 - Google Patents
検査ソケットの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7430252B2 JP7430252B2 JP2022519445A JP2022519445A JP7430252B2 JP 7430252 B2 JP7430252 B2 JP 7430252B2 JP 2022519445 A JP2022519445 A JP 2022519445A JP 2022519445 A JP2022519445 A JP 2022519445A JP 7430252 B2 JP7430252 B2 JP 7430252B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- hole
- base member
- manufacturing
- joint block
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 56
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 12
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 194
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 45
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 38
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 23
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 23
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 15
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 15
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 13
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 13
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 18
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 13
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 13
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 12
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 12
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 5
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 229920006351 engineering plastic Polymers 0.000 description 3
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 3
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 3
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 3
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000994 depressogenic effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture or maintenance of measuring instruments, e.g. of probe tips
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/04—Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
- G01R1/0408—Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets
- G01R1/0433—Sockets for IC's or transistors
- G01R1/0441—Details
- G01R1/045—Sockets or component fixtures for RF or HF testing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
- B29C43/02—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of definite length, i.e. discrete articles
- B29C43/18—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of definite length, i.e. discrete articles incorporating preformed parts or layers, e.g. compression moulding around inserts or for coating articles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
- B29C43/02—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of definite length, i.e. discrete articles
- B29C43/20—Making multilayered or multicoloured articles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
- B29C43/02—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of definite length, i.e. discrete articles
- B29C43/20—Making multilayered or multicoloured articles
- B29C43/203—Making multilayered articles
- B29C43/206—Making multilayered articles by pressing the material between two preformed layers, e.g. deformable layers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/073—Multiple probes
- G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
- G01R1/07314—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card the body of the probe being perpendicular to test object, e.g. bed of nails or probe with bump contacts on a rigid support
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Connecting Device With Holders (AREA)
- Coupling Device And Connection With Printed Circuit (AREA)
Description
前記第2接合ブロックの形成段階は、前記第2ベース部材と第2絶縁部材との間に第2接着シートを配列する段階、及び前記第2接着シートを加熱及び加圧する段階を含むことができる。
Z-インピーダンス(Z-Impedance)は、可能なかぎり小さいことが好ましい。図29を参照すると、許容Z-インピーダンス(1GHz)を基準に、従来技術は約0.9Ωを示すのに対し、本発明は約0.65Ωであって、より優れていることが分かる。
2:ソケットブロック
21:パワープローブ孔
21-1:第1パワープローブ孔
21-2:第2パワープローブ孔
22:接地プローブ孔
22-1:第1接地プローブ孔
22-2:第2接地プローブ孔
23:信号プローブ孔
23-1:第1信号プローブ孔
23-2:第2信号プローブ孔
3:第1接合ブロック
31:第1ベース部材
311:陥没部
312:カバー
313,314,315:接合溝
316:接合孔
32:第1絶縁部材
33:接着シート
34:金型カバー
4:第2接合ブロック
41:第1ベース部材
42:第2絶縁部材
5:パワープローブ
6:接地プローブ
7:信号プローブ
8:ギャッププレート
100:ドリル
Claims (17)
- 長さ方向に伸縮可能なプローブを支持する検査ソケットを製造する方法であって、
導電性材質の第1ベース部材と絶縁性材質の第1絶縁部材とを接合して第1接合ブロックを形成する段階;
導電性材質の第2ベース部材と絶縁性材質の第2絶縁部材とを接合して第2接合ブロックを形成する段階;
前記第1接合ブロックに、前記プローブの一部を収容する第1バレル収容孔と、前記プローブの一端部を支持する第1支持孔を形成する段階;
前記第2接合ブロックに、前記プローブの他部を収容する第2バレル収容孔と、前記プローブの他端部を支持する第2支持孔を形成する段階;
前記プローブの一端を前記第1バレル収容孔に挿入して前記第1支持孔に支持し、前記プローブの他端を前記第2バレル収容孔に挿入して前記第2支持孔に支持する段階;及び
前記第1接合ブロックと前記第2接合ブロックとを結合させる段階を含む検査ソケットの製造方法。 - 前記第1接合ブロックの形成段階は、
前記第1ベース部材と第1絶縁部材との間に第1接着シートを配列する段階;及び
前記第1接着シートを加熱及び加圧する段階を含み、
前記第2接合ブロックの形成段階は、
前記第2ベース部材と第2絶縁部材との間に第2接着シートを配列する段階;及び
前記第2接着シートを加熱及び加圧する段階を含む、請求項1に記載の検査ソケットの製造方法。 - 前記第1接着シート及び前記第2接着シートは、硬化型接着剤を含む、請求項2に記載の検査ソケットの製造方法。
- 前記第1ベース部材と第2ベース部材は、厚さが互いに異なる、請求項1に記載の検査ソケットの製造方法。
- 前記第1接合ブロックの形成段階は、
前記第1ベース部材の一面に第1陥没部を形成する段階;
前記第1陥没部に樹脂を詰める段階;
前記樹脂の詰められた第1陥没部を第1カバーで覆う段階;
前記樹脂を硬化させる段階;及び
前記第1カバーを分離する段階を含む、請求項1に記載の検査ソケットの製造方法。 - 前記第2接合ブロックの形成段階は、
前記第2ベース部材の一面に第2陥没部を形成する段階;
前記第2陥没部に樹脂を詰める段階;
前記樹脂の詰められた第2陥没部を第2カバーで覆う段階;
前記樹脂を硬化させる段階;及び
前記第2カバーを分離する段階を含む、請求項1に記載の検査ソケットの製造方法。 - 前記第1接合ブロック及び前記第2接合ブロックの形成段階は、それぞれ、前記第1ベース部材及び前記第2ベース部材にそれぞれ前記第1絶縁部材及び前記第2絶縁部材をインサート射出する段階を含む、請求項1に記載の検査ソケットの製造方法。
- 前記第1ベース部材及び前記第2ベース部材は、それぞれ、前記第1絶縁部材及び前記第2絶縁部材が形成される面に第1接合溝及び第2接合溝を含む、請求項1に記載の検査ソケットの製造方法。
- 前記第1接合溝及び前記第2接合溝は、底に向かって断面積が広くなる、請求項8に記載の検査ソケットの製造方法。
- 前記第1接合溝及び前記第2接合溝は、それぞれ、前記第1バレル収容孔及び前記第2バレル収容孔が設けられる領域以外の領域に形成される、請求項8に記載の検査ソケットの製造方法。
- 前記第1接合溝及び前記第2接合溝は、それぞれ、前記第1バレル収容孔及び前記第2バレル収容孔を取り囲む、請求項8に記載の検査ソケットの製造方法。
- 前記第1ベース部材及び前記第2ベース部材は、それぞれ、厚さ方向に貫通する第1接合孔及び第2接合孔を含む、請求項8に記載の検査ソケットの製造方法。
- 前記第1接合孔及び第2接合孔は、それぞれ、前記第1バレル収容孔及び前記第2バレル収容孔が設けられる領域以外の領域に形成される、請求項12に記載の検査ソケットの製造方法。
- 前記第1接合ブロックと前記第2接合ブロックとの間にギャッププレートを介在させる段階をさらに含む、請求項1に記載の検査ソケットの製造方法。
- 請求項1~14のいずれかに記載の方法で製造された検査ソケット。
- 長さ方向に伸縮可能なプローブを支持する検査ソケットを製造する方法であって、
導電性材質の第1ベース部材に、前記プローブの一部を収容する第1バレル収容孔を形成し、前記第1ベース部材と絶縁性材質の第1絶縁部材とを接合して第1接合ブロックを形成する段階;
導電性材質の第2ベース部材に前記プローブの他部を収容する第2バレル収容孔を形成し、前記第2ベース部材と絶縁性材質の第2絶縁部材とを接合して第2接合ブロックを形成する段階;
前記第1バレル収容孔を通じて前記第1絶縁部材に、前記プローブの一端部を支持する第1支持孔を形成する段階;
前記第2バレル収容孔を通じて前記第2絶縁部材に、前記プローブの他端部を支持する第2支持孔を形成する段階;
前記プローブの一端を前記第1バレル収容孔に挿入して前記第1支持孔に支持し、前記プローブの他端を前記第2バレル収容孔に挿入して前記第2支持孔に支持する段階;及び
前記第1接合ブロックと前記第2接合ブロックとを結合させる段階を含む、検査ソケットの製造方法。 - 請求項16に記載の方法で製造された検査ソケット。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020200061458A KR102321126B1 (ko) | 2020-05-22 | 2020-05-22 | 검사소켓의 제조방법 |
KR10-2020-0061458 | 2020-05-22 | ||
PCT/KR2021/006238 WO2021235843A1 (en) | 2020-05-22 | 2021-05-18 | Method for fabricating test socket |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022550749A JP2022550749A (ja) | 2022-12-05 |
JP7430252B2 true JP7430252B2 (ja) | 2024-02-09 |
Family
ID=78521451
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022519445A Active JP7430252B2 (ja) | 2020-05-22 | 2021-05-18 | 検査ソケットの製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20220373576A1 (ja) |
JP (1) | JP7430252B2 (ja) |
KR (1) | KR102321126B1 (ja) |
TW (1) | TWI824238B (ja) |
WO (1) | WO2021235843A1 (ja) |
Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004325305A (ja) | 2003-04-25 | 2004-11-18 | Yokowo Co Ltd | Icソケット |
JP2005055294A (ja) | 2003-08-04 | 2005-03-03 | Nhk Spring Co Ltd | 導電性接触子のホルダ及びその製造方法 |
JP2006066205A (ja) | 2004-08-26 | 2006-03-09 | Tokyo Eletec Kk | Icソケット及びicソケットの製造方法 |
JP2006125988A (ja) | 2004-10-28 | 2006-05-18 | Yokowo Co Ltd | 検査ユニットの製法 |
JP2007178163A (ja) | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Yokowo Co Ltd | 検査ユニットおよびそれに用いる検査プローブ用外皮チューブ組立体 |
JP2007178165A (ja) | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Yokowo Co Ltd | 検査ユニット |
JP2008070146A (ja) | 2006-09-12 | 2008-03-27 | Yokowo Co Ltd | 検査用ソケット |
JP2009156710A (ja) | 2007-12-26 | 2009-07-16 | Yokowo Co Ltd | 検査ソケット |
WO2009102029A1 (ja) | 2008-02-14 | 2009-08-20 | Nhk Spring Co., Ltd. | コンタクトプローブおよびプローブユニット |
JP2010175371A (ja) | 2009-01-29 | 2010-08-12 | Yokowo Co Ltd | 検査ソケット |
US20150233973A1 (en) | 2013-12-17 | 2015-08-20 | Tim WOODEN | Method of Manufacturing a Test Socket Body of an Impedance-Matched Test Socket |
JP2016191553A (ja) | 2015-03-30 | 2016-11-10 | 日本発條株式会社 | プローブユニット |
JP2018529932A (ja) | 2015-07-03 | 2018-10-11 | オキンス エレクトロニクス カンパニー リミテッド | テストソケット、テストソケットの製造方法、およびテストソケット用治具アセンブリー |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3493931B2 (ja) * | 1997-02-05 | 2004-02-03 | 凸版印刷株式会社 | 検査電極を有する配線回路基板の形成方法 |
JP4668406B2 (ja) * | 2000-12-07 | 2011-04-13 | 日本発條株式会社 | 導電性接触子 |
KR20090090854A (ko) * | 2008-02-22 | 2009-08-26 | 삼성테크윈 주식회사 | 테스트 소켓 장치 |
KR101000672B1 (ko) * | 2008-12-15 | 2010-12-10 | 이용준 | 콘택터의 제조방법 |
KR101047430B1 (ko) * | 2009-08-07 | 2011-07-07 | 주식회사 엑스엘티 | 도전성 실리콘 소켓 및 그 제조방법 |
KR102044753B1 (ko) * | 2018-05-25 | 2019-11-15 | 리노공업주식회사 | 검사장치 |
-
2020
- 2020-05-22 KR KR1020200061458A patent/KR102321126B1/ko active IP Right Grant
-
2021
- 2021-04-13 TW TW110113185A patent/TWI824238B/zh active
- 2021-05-18 JP JP2022519445A patent/JP7430252B2/ja active Active
- 2021-05-18 US US17/769,963 patent/US20220373576A1/en active Pending
- 2021-05-18 WO PCT/KR2021/006238 patent/WO2021235843A1/en active Application Filing
Patent Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004325305A (ja) | 2003-04-25 | 2004-11-18 | Yokowo Co Ltd | Icソケット |
JP4431780B2 (ja) | 2003-08-04 | 2010-03-17 | 日本発條株式会社 | 導電性接触子のホルダの製造方法 |
JP2005055294A (ja) | 2003-08-04 | 2005-03-03 | Nhk Spring Co Ltd | 導電性接触子のホルダ及びその製造方法 |
JP2006066205A (ja) | 2004-08-26 | 2006-03-09 | Tokyo Eletec Kk | Icソケット及びicソケットの製造方法 |
JP2006125988A (ja) | 2004-10-28 | 2006-05-18 | Yokowo Co Ltd | 検査ユニットの製法 |
JP2007178165A (ja) | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Yokowo Co Ltd | 検査ユニット |
JP2007178163A (ja) | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Yokowo Co Ltd | 検査ユニットおよびそれに用いる検査プローブ用外皮チューブ組立体 |
JP2008070146A (ja) | 2006-09-12 | 2008-03-27 | Yokowo Co Ltd | 検査用ソケット |
JP2009156710A (ja) | 2007-12-26 | 2009-07-16 | Yokowo Co Ltd | 検査ソケット |
WO2009102029A1 (ja) | 2008-02-14 | 2009-08-20 | Nhk Spring Co., Ltd. | コンタクトプローブおよびプローブユニット |
JP2010175371A (ja) | 2009-01-29 | 2010-08-12 | Yokowo Co Ltd | 検査ソケット |
US20150233973A1 (en) | 2013-12-17 | 2015-08-20 | Tim WOODEN | Method of Manufacturing a Test Socket Body of an Impedance-Matched Test Socket |
JP2016191553A (ja) | 2015-03-30 | 2016-11-10 | 日本発條株式会社 | プローブユニット |
JP2018529932A (ja) | 2015-07-03 | 2018-10-11 | オキンス エレクトロニクス カンパニー リミテッド | テストソケット、テストソケットの製造方法、およびテストソケット用治具アセンブリー |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20220373576A1 (en) | 2022-11-24 |
TWI824238B (zh) | 2023-12-01 |
TW202144783A (zh) | 2021-12-01 |
KR102321126B1 (ko) | 2021-11-04 |
JP2022550749A (ja) | 2022-12-05 |
WO2021235843A1 (en) | 2021-11-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8911266B2 (en) | Contact holder | |
US6535006B2 (en) | Test socket and system | |
US5672414A (en) | Multilayered printed board structure | |
CN108735678B (zh) | 一种量子裸芯片立体封装结构及其封装方法 | |
KR20060087316A (ko) | 프로브 카드 | |
JPH07191091A (ja) | 電気接続装置 | |
KR100602442B1 (ko) | 매개 기판을 갖는 볼 그리드 어레이 패키지용 테스트 소켓 | |
JP7430252B2 (ja) | 検査ソケットの製造方法 | |
JP2023529323A (ja) | 検査ソケット | |
JP7430251B2 (ja) | 検査ソケットの製造方法 | |
KR102373067B1 (ko) | 검사소켓 및 그의 제조방법 | |
JP7430253B2 (ja) | 検査ソケット及びその製造方法 | |
JPH07191089A (ja) | 電極集合体 | |
KR20210144555A (ko) | 검사소켓 및 그의 제조방법 | |
WO2010027075A1 (ja) | 配線基板およびプローブカード | |
JPH07191090A (ja) | 電気的接続方法 | |
KR101749684B1 (ko) | 마그네틱 콜렛의 제조방법 | |
KR20130134101A (ko) | 프로브 카드 | |
JP6509252B2 (ja) | 熱的改善のために表面実装パッケージをアライメントする方法 | |
KR102413287B1 (ko) | 테스트 소켓 | |
TWI461698B (zh) | Probe unit and its making method | |
JP2016128784A (ja) | 半導体製造装置のテスト方法 | |
CN117638557A (zh) | 信号传输连接器 | |
KR20230157924A (ko) | 이종 재질의 다층 회로기판 및 그 제조 방법 | |
KR20130127852A (ko) | 프로브 카드 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220328 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230228 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230801 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240109 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240130 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7430252 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |