KR102044753B1

KR102044753B1 - 검사장치

Info

Publication number: KR102044753B1
Application number: KR1020180059911A
Authority: KR
Inventors: 박동훈; 정재환
Original assignee: 리노공업주식회사
Priority date: 2018-05-25
Filing date: 2018-05-25
Publication date: 2019-11-15
Also published as: JP2021517974A; EP3759503A1; EP3759503A4; CN112020654B; TWI700497B; TW202004192A; WO2019225967A1; US11609245B2; CN112020654A; US20210132114A1

Abstract

고주파, 고속용 반도체를 검사하는 검사장치가 개시된다. 검사장치는 검사방향을 따라 형성된 튜브수용공을 가지며, 상기 튜브수용공에 인접하게 배치되는 도전접촉부와 절연지지부를 가진 프로브지지블록과, 상기 튜브수용공에 수용되어 상기 도전접촉부에 전기적으로 연결되는 도전성의 실드튜브와, 양단부가 상기 검사방향을 따라 상기 프로브지지블록으로부터 노출되며 상기 절연지지부들에 의해 상기 실드튜브에 비접촉 상태로 지지되도록 상기 실드튜브 내에 수용되는 프로브를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명의 검사장치는 고주파, 고속용 반도체와 같은 피검사체를 검사할 때 간단하고 저렴하게 인접 신호용 프로브들 사이의 크로스토크를 방지하고 임피던스 특성을 향상시킬 수 있다.

Description

검사장치{A test device}

본 발명은 고주파, 고속 반도체 테스트용 검사장치에 관한 것이다.

고주파 또는 고속 반도체 테스트용 검사장치는 고주파용 프로브가 사용되고 있다. 이러한 고주파용 프로브는 가격이 비싸 중저가의 검사장치에 적용하기 어렵다.

고주파 또는 고속 반도체 테스트용 검사장치는 인접 신호용 프로브들과의 노이즈를 차폐하기 위한 신호용 프로브를 비접촉 상태로 장착한 도전성 블록을 포함한다. 이때 신호용 프로브는 도전성 블록의 프로브공 내벽에 접촉하지 않도록 통과시킨 후 양단부를 도전성 블록의 양면에 배치한 절연성의 절연플레이트로 지지한다. 그러나 이러한 종래의 검사장치는 차폐를 위해 하나의 도전성 블록을 적용하여야 하기 때문에 재료비도 높고, 파인 피치로 신호용 프로브를 배치하여야 하는 경우 가공이 어려운 단점이 있다. 또한, 도전성 블록의 가공된 프로브공은 정밀도가 떨어지고 내부면이 거칠어 통과하는 신호용 프로브의 임피던스 특성이 저하되는 문제가 있다.

본 발명의 목적은 종래의 문제를 해결하기 위한 것으로, 간단한 구조이면서도 인접하는 신호용 프로브들 간의 노이즈를 효과적으로 차폐할 수 있는 고주파, 고속 반도체용 검사장치를 제공함에 있다.

본 발명의 다른 목적은 가공성 및 조립성이 좋고 가격이 저렴한 저가의 로 원가를 절감할 수 있는 고주파, 고속 반도체용 검사장치를 제공함에 있다.

상기 과제들을 해결하기 위한 검사장치가 제공된다. 검사장치는 검사방향을 따라 형성된 튜브수용공을 가지며, 상기 튜브수용공에 인접하게 배치되는 도전접촉부와 절연지지부를 가진 프로브지지블록과, 상기 튜브수용공에 수용되어 상기 도전접촉부에 전기적으로 연결되는 도전성의 실드튜브와, 양단부가 상기 검사방향을 따라 상기 프로브지지블록으로부터 노출되며 상기 절연지지부들에 의해 상기 실드튜브에 비접촉 상태로 지지되도록 상기 실드튜브 내에 수용되는 프로브를 포함한다. 본 발명의 검사장치은 규격이 매우 일정한 도전성의 실드튜브를 이용하여 인접하는 신호용 프로브들을 둘러쌈으로써 임피던스 및 고주파 특성도 좋고, 조립성도 좋고, 원가도 절감할 수 있다.

상기 프로브지지블록은, 상기 실드튜브를 접촉지지하는 도전성의 도전블록과, 상기 도전블록의 일면에 적층되어 상기 실드튜브와 상기 프로브의 일단부를 지지하는 절연성의 절연블록과, 상기 도전블록의 이면을 커버하여 상기 프로브의 타단부를 지지하는 절연커버를 포함할 수 있다.

상기 프로브지지블록은, 상기 실드튜브를 접촉지지하는 도전성의 도전블록과, 상기 도전블록을 사이에 두고 배치되어 상기 실드튜브와 상기 프로브의 양단부를 지지하는 한 쌍의 절연블록을 포함할 수 있다.

상기 프로브지지블록은, 상기 실드튜브를 접촉지지하는 도전성의 도전블록과, 상기 도전블록을 사이에 두고 배치되어 상기 프로브의 양단부를 지지하는 한 쌍의 절연커버를 포함할 수 있다.

상기 절연커버는, 판상의 커버본체와, 상기 커버본체로부터 돌출하여 상기 실드튜브 내로 삽입되며 상기 실드튜브 내에서 상기 프로브의 양단을 지지하는 프로브고정부를 포함할 수 있다.

본 발명의 검사장치는 도전성으로 파이프 형상의 실드튜브 내에 포고핀과 같은 일반적인 신호용 프로브를 비접촉 통과시킴으로써 다음과 같은 장점을 제공한다.

첫째, 신호용 프로브가 도전성 실드튜브의 내벽으로부터 일정한 간격으로 배치되어 임피던스 특성이 우수하다.

둘째, 도전성 블록을 얇게 하고 절연블록을 두껍게 한 후 절연블록까지 dsu장하는 도전성 실드튜브를 통해 차폐함으로써 제조원가를 절감할 수 있다.

셋째, 도전성 실드튜브가 지지블록의 두께 전체에 걸쳐 배치됨으로써 인접하는 신호용 프로브들 간의 크로스토크를 완벽하게 감소될 수 있다.

넷째, 일반적인 포고핀으로 고주파 고속 반도체용 검사장치에 적용함으로써 제조원가를 절감할 수 있고, 검사장치의 조립성이 매우 좋다.

도 1 내지 3은 각각 본 발명의 제1실시예에 따른 검사장치의 사시도, 분해사시도, 및 부분단면도이고,
도 4는 도 3의 프로브지지블록의 부분단면도이고,
도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 검사장치의 부분단면도, 및
도 6은 본 발명의 제3실시예에 따른 검사장치를 나타낸 부분단면도이다.

이하 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 검사장치(1)를 상세히 설명한다.

도 1 내지 4는 각각 본 발명의 검사장치(1)의 사시도, 분해사시도, 부분단면도, 및 도 3의 프로브지지블록을 나타내는 단면도이다, 도시한 바와 같이, 검사장치(1)는 프로브지지블록(100), 실드튜브(200), 프로브(300), 및 검사 대상인 반도체와 같은 피검사체를 수용하는 인서트(400)를 포함한다. 프로브(300)는 검사신호를 전달하는 신호용 프로브(310), 접지신호를 전달하는 접지용 프로브(320) 및 전원을 전달하는 파워용 프로브(330)를 포함한다.

도시한 바와 같이, 프로브지지블록(100)은 튜브수용공(103), 및 튜브수용공(103) 내에 인접하게 배치되는 도전접촉부와 절연지지부를 가진다. 프로브지지블록(100)은 도전접촉부를 포함하는 도전성의 도전블록(110), 도전블록(110)의 상면에 결합되고 절연지지부를 포함하는 절연성의 절연블록(120) 및 도전블록(110)의 하면에 결합되는 절연커버블록(130)을 포함한다.

도전블록(110)은 도전성을 가진 황동과 같은 금속으로 제조된다. 도전블록(110)은 절연체의 표면을 금속도금하여 제조할 수도 있다. 도전블록(110)은 접지용 프로브(320)에 접촉하여 접지상태를 유지한다.

절연블록(120)은 예를 들면 폴리카보네이트, 폴리이미드, 폴리아크릴, 세라믹 등과 같은 절연체로 제조된다. 절연블록(120)은 도전블록(110)의 상면에 결합된다. 절연블록(120)은 도전블록(110), 절연커버블록(130)과 함께 실드튜브(200), 신호용 프로브(310), 접지용 프로브(320), 및 파워용 프로브(330)를 수용지지한다.

절연커버블록(130)은 예를 들면 폴리카보네이트, 폴리이미드, 폴리아크릴, 폴리비닐알콜 등과 같은 절연체로 제조된다. 절연커버블록(130)은 도전블록(110), 절연블록(120)과 함께 실드튜브(200), 신호용 프로브(310), 접지용 프로브(320), 및 파워용 프로브(330)를 수용지지한다.

프로브지지블록(100)은 다수의 신호프로브공(102), 다수의 접지프로브공(104), 및 다수의 파워프로브공(106)을 포함한다.

신호프로브공(102)은 결합된 도전블록(110)과 절연블록(120)에 걸쳐 형성되어 실드튜브(200)를 수용하는 튜브수용공(103), 제1, 및 제2신호프로브지지공(121, 131)을 포함한다. 여기서, 제1, 및 제2신호프로브지지공(121, 131)은 튜브수용공(103)에 수용된 실드튜브(200) 내부 중심을 통과하는 신호용 프로브(310)를 지지한다.

튜브수용공(103)은 도전블록(110)의 하면에서 상면을 관통한 후 절연블록(120)의 상면을 향해 연장한다. 튜브수용공(103)은 절연블록(120)을 관통하지 않을 정도로 최대한 길게 형성된다. 튜브수용공(103)은 도전블록(110)의 하단부에 후술하는 실드튜브(200)의 플랜지(210)를 수용하는 플랜지공(112) 및 실드튜브(200)의 튜브본체(220)를 수용하는 튜브본체공(114)를 포함한다. 플랜지공(112)은 튜브본체공(114) 보다 더 큰 직경을 가진다. 결과적으로, 플랜지공(112)과 튜브본체공(114) 사이에는 단차부(113)가 형성된다. 튜브본체공(114)은 도전접촉부와 절연지지부를 형성한다. 튜브수용공(103)에 수용된 실드튜브(200)는 내부에 신호용 프로브(310)의 배럴(312)을 비접촉 상태로 수용한다.

제1신호프로브지지공(121)은 절연블록(120)에서 튜브수용공(103)에 연통하며, 신호용 프로브(310)의 배럴(312)의 일단부를 수용하는 제1신호배럴단부지지공(122), 및 제1신호배럴단부지지공(122)에서 반경이 축소되어 절연블록(120)의 상면으로 관통하고 신호용 프로브(310)의 플런저(314)를 수용하는 제1신호플런저통과공(123)을 포함한다. 제1신호배럴단부지지공(122)은 튜브본체공(114)으로부터 제1신호플런저통과공(123)까지 반경이 작아지도록 경사지게 형성된다. 제1신호배럴단부지지공(122)은 신호용 프로브(310)의 배럴(312)의 단부를 수용 지지한다. 제1신호플런저통과공(123)은 신호용 프로브(310)의 상부플런저(314)가 통과하여 절연블록(120)의 상면으로 관통하도록 형성된다.

제2신호프로브지지공(131)은 절연커버블록(130)에서 튜브수용공(103)에 연통하며 검사 시 신호용 프로브(310)의 배럴(312)이 상하 이동가능하게 하는 신호배럴유동공(132), 및 신호배럴유동공(132)에서 반경이 축소되어 절연커버블록(130)의 하면으로 관통하고 신호용 프로브(310)의 하부플런저(316)를 수용하는 제2신호플런저통과공(133)을 포함한다. 제2신호플런저통과공(133)은 신호용 프로브(310)의 하부플런저(316)가 통과하여 절연커버블록(130)의 하면으로 관통하도록 형성된다.

접지프로브공(104)은 결합된 도전블록(110)과 절연블록(120)에 걸쳐 형성되어 접지용 프로브(320)의 배럴(322)을 수용하는 접지배럴공(105), 제1, 및 제2접지프로브지지공(124, 134)을 포함한다.

접지배럴공(105)은 접지용 프로브(320)의 배럴(322) 외경에 상응하는 내경을 가진다. 접지배럴공(105)은 도전블록(110)의 하면에서 상면을 관통한 후 절연블록(120)의 상면을 향해 연장한다. 접지배럴공(105)은 절연블록(120)을 관통하지 않을 정도로 최대한 길게 형성된다. 접지용 프로브(320)는 접지배럴공(105) 내에 삽입되며, 도전블록(110)의 접지배럴공(105) 내벽에 접촉하여 도전블록(110)을 접지 상태로 만든다.

제1접지프로브지지공(124)은 절연블록(120)에서 접지배럴공(105)에 연통하며, 접지용 프로브(320)의 배럴(322) 일단부를 수용하는 제1접지배럴단부지지공(125), 및 제1접지배럴단부지지공(125)에서 반경이 축소되어 절연블록(120)의 상면으로 관통하고 접지용 프로브(320)의 상부플런저(324)를 수용하는 제1접지플런저통과공(126)을 포함한다. 제1접지배럴단부지지공(125)은 접지배럴공(105)으로부터 제1접지플런저통과공(126)까지 반경이 작아지도록 경사지게 형성된다. 제1접지배럴단부지지공(125)은 접지용 프로브(320)의 배럴(322) 일단부를 수용 지지한다. 제1접지플런저통과공(125)은 접지용 프로브(320)의 상부플런저(324)가 통과하여 절연블록(120)의 상면으로 관통하도록 형성된다.

제2접지프로브지지공(134)은 절연커버블록(130)에서 접지배럴공(105)에 연통하며 검사 시 접지용 프로브(320)의 배럴(322)이 상하 이동가능하게 하는 접지배럴유동공(135), 및 접지배럴유동공(135)에서 반경이 축소되어 절연커버블록(130)의 하면으로 관통하고 접지용 프로브(320)의 하부플런저(326)를 수용하는 제2접지플런저통과공(136)을 포함한다. 제2접지플런저통과공(136)은 접지용 프로브(320)의 하부플런저(326)가 통과하여 절연커버블록(130)의 하면으로 관통하도록 형성된다.

파워프로브공(106)은 도전블록(110)에 형성된 파워배럴통과공(107), 절연블록(120)에 형성된 파워배럴수용공(108), 제1, 및 제2파워프로브지지공(127, 137)을 포함한다.

파워배럴통과공(107)은 파워용 프로브(330)의 배럴(332) 외경보다 큰 직경을 가진다. 파워용 프로브(330)의 배럴(332)은 파워배럴통과공(107)을 비접촉 상태로 통과한다. 파워배럴통과공(107)은 도전블록(110)의 하면에서 상면을 관통한다.

파워배럴수용공(108)은 파워용 프로브(330)의 배럴(332) 외경에 대응하는 내경을 가진다. 파워배럴수용공(108)은 파워배럴통과공(107)에 연통하며, 절연블록(120) 하면에서 관통하지 않을 정도로 최대한 길게 형성된다.

제1파워프로브지지공(127)은 절연블록(120)에서 파워배럴수용공(108)에 연통하며, 파워용 프로브(330)의 배럴(332) 일단부를 수용하는 제1파워배럴단부지지공(128), 및 제1파워배럴단부지지공(128)에서 반경이 축소되어 절연블록(120)의 상면으로 관통하고 파워용 프로브(330)의 상부플런저(334)를 수용하는 제1파워플런저통과공(129)을 포함한다. 제1파워배럴단부지지공(127)은 파워배럴수용공(108)으로부터 제1파워플런저통과공(129)까지 반경이 작아지도록 경사지게 형성된다. 제1파워배럴단부지지공(128)은 파워용 프로브(330)의 배럴(332) 일단부를 수용 지지한다. 제1파워플런저통과공(129)은 파워용 프로브(330)의 상부플런저(334)가 통과하여 절연블록(120)의 상면으로 관통하도록 형성된다.

제2파워프로브지지공(137)은 절연커버블록(130)에서 파워배럴통과공(107)에 연통하며 검사 시 파워용 프로브(330)의 배럴(332)이 유동하도록 하는 파워배럴유동공(138), 및 파워배럴유동공(138)에서 반경이 축소되어 절연커버블록(130)의 하면으로 관통하고 파워용 프로브(330)의 하부플런저(336)를 수용하는 제2파워플런저통과공(139)을 포함한다. 제2파워플런저통과공(139)은 파워용 프로브(330)의 하부플런저(336)가 통과하여 절연커버블록(130)의 하면으로 관통하도록 형성된다.

신호용 프로브(310)는 포고핀 형상으로서 원통형 파이프와 같은 형상의 배럴(312), 배럴(312)의 일측 단부에 부분적으로 삽입되는 상부플런저(314), 배럴(312)의 타측 단부에 부분적으로 삽입되는 하부플런저(316), 및 상부플런저(314) 또는 하부플런저(316) 중 적어도 하나가 배럴(312) 내에서 탄성적으로 슬라이딩 가능하도록 배럴(312) 내에서 상부플런저(314)와 하부플런저(316) 사이에 배치된 스프링(318)을 포함한다. 신호용 프로브(310)는 포고핀 타입으로만 한정되지 않고, 탄성적으로 신축 가능한 어떤 프로브도 적용될 수 있다. 신호용 프로브(310)는 실드튜브(200) 내벽과 이격되게 수용되어 프로브지지블록(100)에 지지된다.

접지용 프로브(320)는 신호용 프로브(310)와 동일한 포고핀 형상으로서 원통형 파이프와 같은 형상의 배럴(322), 배럴(322)의 일측 단부에 부분적으로 삽입되는 상부플런저(324), 배럴(322)의 타측 단부에 부분적으로 삽입되는 하부플런저(326), 및 상부플런저(324) 또는 하부플런저(326) 중 적어도 하나가 배럴(322) 내에서 탄성적으로 슬라이딩 가능하도록 배럴(322) 내에서 상부플런저(324)와 하부플런저(326) 사이에 배치된 스프링(328)을 포함한다. 신호용 프로브(320)는 포고핀 타입으로만 한정되지 않고, 탄성적으로 신축 가능한 어떤 프로브도 적용될 수 있다. 접지용 프로브(320)는 도전블록(110)에 접촉하는 상태로 프로브지지블록(100)에 지지된다.

파워용 프로브(330)는 신호용 프로브(310) 또는 접지용 프로브(320)와 동일한 포고핀 형상으로서 원통형 파이프와 같은 형상의 배럴(332), 배럴(332)의 일측 단부에 부분적으로 삽입되는 상부플런저(334), 배럴(332)의 타측 단부에 부분적으로 삽입되는 하부플런저(336), 및 상부플런저(334) 또는 하부플런저(336) 중 적어도 하나가 배럴(332) 내에서 탄성적으로 슬라이딩 가능하도록 배럴(332) 내에서 상부플런저(334)와 하부플런저(336) 사이에 배치된 스프링(338)을 포함한다. 신호용 프로브(330)는 포고핀 타입으로만 한정되지 않고, 탄성적으로 신축 가능한 어떤 프로브도 적용될 수 있다. 파워 프로브(330)는 도전블록(110)에 이격된 상태로 프로브지지블록(100)에 지지된다.

실드튜브(200)는 도전성이 좋은 금속파이프로서 신호용 프로브(310)의 배럴(312)보다 충분히 큰 직경으로 제작된다. 실드튜브(200)는 접지상태의 도전블록(110)에 접촉하여 접지 상태를 유지한다. 결과적으로, 실드튜브(200)는 도전블록(110)과 절연블록(120)을 지나는 다수의 신호용 프로브(310)들 상호 간의 노이즈를 차폐할 수 있다. 여기서, 도전블록(110)은 그 크기를 최소한으로 하고 절연블록(120)으로 대체하더라도, 절연블록(120)을 통과하는 접지된 실드튜브(200)를 이용하여 인접 신호용 프로브들(310) 사이이 크로스토크(crosstalk)를 방지하므로써 재료비용을 절감하고 제조비용을 줄일 수 있다.

상술한 신호용 프로브(310), 접지용 프로브(320) 및 파워용 프로브(330)는 종래의 특수한 고주파 전용 프로브를 사용하지 않고도, 모두 일반적인 포고핀 타입의 프로브를 사용하여 고주파, 고속용 반도체와 같은 피검사체를 검사할 수 있어 제조비용을 절감할 수 있다.

도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 검사장치(2)의 부분단면도이다. 도시한 바와 같이, 검사장치(2)은 프로브지지블록(100), 실드튜브(200), 신호용 프로브(310), 접지용 프로브(320), 및 파워용 프로브(330)를 포함한다.

프로브지지블록(100)은 도전성의 도전블록(110), 도전블록(110)의 상면에 결합되는 제1절연커버블록(130-1) 및 도전블록(110)의 하면에 결합되는 제2절연커버블록(130-2)을 포함한다.

제1 및 제2절연커버블록(130-1,130-2)은 예를 들면 폴리카보네이트, 폴리이미드, 폴리아크릴, 폴리비닐알콜 등과 같은 절연체로 제조된다. 도전블록(110)을 사이에 두고 배치된 제1 및 제2절연커버블록(130-1,130-2)은 신호용 프로브(310), 접지용 프로브(320), 및 파워용 프로브(330)의 양단부를 지지한다.

실드튜브(200), 신호용 프로브(310), 접지용 프로브(320) 및 파워용 프로브(330)는 제1실시예의 검사장치(1)과 동일하므로 설명을 생략한다.

이상과 같이 제2실시예의 검사장치(2)은 도전블록(110)의 신호프로브공(102) 전체에 걸쳐 실드튜브(200)가 삽입되고 신호용 프로브(310)가 실드튜브(200)의 중앙을 비접촉 상태로 통과한다. 실드튜브(200)는 내벽면이 균일하고 신호용 프로브(310)가 일정한 간격으로 배치될 수 있어 임피던스 특성이 좋다.

도 6은 본 발명의 제3실시예에 따른 검사장치(3)을 나타내는 부분확대단면도이다. 이하, 도 3에 나타낸 제2실시예의 검사장치(2)과 동일한 부분은 동일 참조부호를 부여하였고, 설명을 생략한다.

도시한 바와 같이, 검사장치(3)은 프로브지지블록(100), 실드튜브(200), 신호용 프로브(310), 접지용 프로브(320), 및 파워용 프로브(330)를 포함한다. 검사장치(3)은 검사를 위해 반도체와 같은 피검사체를 수용하는 인서트를 포함할 수 있다.

제1 및 제2절연커버블록(130-1,130-2)은 각각 판상의 제1, 제2커버본체(140-1,140-2), 및 제1, 제2커버본체(140-1,140-2)로부터 일체로 돌출하는 제1, 제2프로브고정부(142-1,142-2)를 포함한다. 제1, 제2프로브고정부(142-1,142-2)는 실드튜브(200) 내로 삽입되어 실드튜브(200) 내벽에 비접촉 상태로 신호용 프로브(310)의 양단을 고정한다.

판상의 제1, 제2커버본체(140-1,140-2)는 제2실시예의 검사장치(2)에 나타낸 제1 및 제2절연커버블록(130-1,130-2)의 두께보다 얇게 형성하여도 무방하다. 이는 실드튜브(200) 내로 삽입된 제1, 제2프로브고정부(142-1,142-2)에 의해 신호용 프로브(310)의 양단을 지지하기 때문에 가능하다. 결과적으로, 실드튜브(200)는 프로브지지블록(100)의 전체 두께에 대해 최대한 길게 형성하여 배치함으로써 인접하는 신호용 프로브(310) 간에 크로스토크를 최대한 줄일 수 있다.

또한, 제1, 제2프로브고정부(142-1,142-2)는 실드튜브(200) 양단부에 억지끼움 형태로 삽입시키면 제1 및 제2절연커버블록(130-1,130-2)을 도전블록(110) 상하면에 고정 지지하는 역할을 할수도 있다. 물론, 제1 및 제2절연커버블록(140-1,140-2)은 나사, 접착제와 같은 고정도구를 이용하여 도전블록(110)의 상하면에 부착되는 것이 바람직하다. 제1, 제2프로브고정부(142-1,142-2)는 도면으로 도시하지 않았지만, 도 3내지 도 5에 나타낸 절연커버블록(130)에 형성하는 것도 가능하다.

이상과 같이 본 발명은 한정된 예시적 실시예와 도면을 통해 설명되었으나, 본 발명은 상기의 예시적 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다.

그러므로 본 발명의 범위는 설명된 예시적 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.

1: 검사장치
100: 프로브지지블록
103: 튜브수용공
110: 도전블록
120: 절연블록
130: 절연커버블록
200: 실드튜브
300: 프로브
310: 신호용 프로브
320: 접지용 프로브
330: 파워용 프로브
400: 인서트

Claims

검사장치에 있어서,
검사방향을 따라 형성된 튜브수용공을 가지며, 상기 튜브수용공에 인접하게 배치되는 도전접촉부와 절연지지부를 가진 프로브지지블록과;
상기 튜브수용공에 수용되어 상기 도전접촉부에 전기적으로 연결되는 도전성의 실드튜브와;
양단부가 상기 검사방향을 따라 상기 프로브지지블록으로부터 노출되며 상기 절연지지부들에 의해 상기 실드튜브에 비접촉 상태로 지지되도록 상기 실드튜브 내에 수용되는 신호용 프로브와;
상기 프로브지지블록에 접촉상태로 지지된 접지용 프로브를 포함하며,
상기 프로브지지블록은 도전접촉부가 마련된 도전블록을 포함하며,
상기 접지용 프로브는 상기 도전블록에 접촉상태로 지지되며,
상기 접지용 프로브, 상기 도전블록 및 실드튜브는 상호 접촉에 의해 접지 라인을 구성하는 것을 특징으로 하는 검사장치.
제1항에 있어서,
상기 프로브지지블록은,
상기 도전블록의 일면에 적층되어 상기 실드튜브와 상기 프로브의 일단부를 지지하는 절연성의 절연블록과;
상기 도전블록의 이면을 커버하여 상기 프로브의 타단부를 지지하는 절연커버블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사장치.
제1항에 있어서,
상기 프로브지지블록은,
각각 상기 도전블록을 사이에 두고 배치되어 상기 실드튜브와 상기 프로브의 양단부를 지지하는 한 쌍의 절연블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사장치.
제1항에 있어서,
상기 프로브지지블록은,
상기 도전블록을 사이에 두고 배치되어 상기 프로브의 양단부를 지지하는 한 쌍의 절연커버블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사장치.
제 2항 또는 제4항에 있어서,
상기 절연커버블록은,
판상의 커버본체와;
상기 커버본체로부터 돌출하여 상기 실드튜브 내로 삽입되며 상기 실드튜브 내에서 상기 프로브의 양단을 지지하는 프로브고정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사장치.