JPS60207343A - 回路基板等の検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、接触プローブの先端をＩＣ，ＬＳＩ等の回路
基板の検査点に接触させて電気的試験、検査等を行なう
検査装置に関する。

（発明の技術的背景とその問題点） 検査すべき回路基板に対向して移動自在に設けられた支
持板に、筒状の外部導体の内部中心導体を絶縁状態で設
けた同軸型可動接触ブ［］−ブを回路基板に向かって貫
通状態で支持し、支持板の移動により接触プローブの先
端を回路基板の検査点に接触させて電気的な測定検査を
行なう回路基板等の検査装置は、例えば特公昭５８−１
７５２７３＠公報に記載されているように公知である。

この種の同軸型可動接触プローブは、その同軸構造のた
めに、インピーダンス整合がよく、信号の漏洩、信号レ
ベルの減衰が少ない等の利点があり、電気的に良好な測
定、検査を行なうことができる。

しかしながら従来の同軸型可動接触プローブでは、最も
故障、破損し易い中心導体が、故障、破損して交換しな
ければならない時には、外部導体等の他の部分をも外さ
ないと交換作業を行なうことかできない。また、従来の
同軸型可動接触プローブは、その支持板へのＳ！！ｉ＠
構造が比較的複雑で、着脱にも手間がかかるという欠点
がある。

そこで本出願人は、先に特願Ｉｆｆ（５９−１４７６０
号において、同軸型可動接触プローブの中心導体を簡単
に挿入、取外しすることができ、また同軸型可動接触プ
ローブの支持板への装着が確実かつ簡単な回路基板等の
検査装置を提案した。

この検査装置における同軸型可動接触プローブＰは、第
１図に示すように中心導体１どその外周に同軸的に設け
られた筒状の外部導体２とを備え、外部導体２の内面に
は、電気絶縁材からなる絶縁筒３が固定され、前記中心
導体１はこの絶縁筒３の中心導体挿入用貫通孔４内に摩
擦的に挿入されている。

外部導体２の外面には外筒５が一体的に嵌めてあり、こ
の外ｎ５は、支持体６に設置ｊた挿入孔７内に圧入され
ている。

この外筒５の両端部の内側には凹入部８がそれぞれ形成
されて外部導体２どの間に環状空間が形成され、各環状
空間内には、先端可動部９および基端可動部１０をそれ
ぞれ構成する導体からなる筒体の内端が抜は止めされた
状態で挿入されている。そして、各可動部９．１０は、
環状空間内に配したコイルばね１１の付勢りに抗して押
圧することにより環状空間内に没入自在となっている。

一方、中心導体１は、筒状の主体１２とこの主体１２の
両端部に出没自在に配された先端ピン１３および基端ピ
ン１４とを備えており、各ピン１３．１４は、主体１２
内に組込まれたばねにより外方へ弾圧されている。そし
て、この中心導体１の軸方向の位置決めは、主体１２の
先端に形成した位置決めフランジ１５を前記絶縁筒３の
先端−３− 面に当接することによりなされるようになっている。

しかして、以上の構成を有りる同軸型可動接触プローブ
Ｐにおいては、先端ピン１３および先端可動部９が回路
パターンの所定点に適度な背圧で圧接されて電気的接続
状態が得られ、このプローブＰにより得られた回路パタ
ーンからの信号は、基端ピン１４および基端可動部１０
を介してプローブＰに接続される］ネクタおよび同軸ケ
ーブルを通し測定器に送られ、測定検査が行なわれる。

ところで、外部導体２の両端に可動部９，１０を有する
この種の同軸可動接触ブ【］１−ブでは、コイルばね１
１を組込む等の理由からプローブＰが太くなってしまい
、プローブＰの支持板６への装着ピッチに一定の制限が
ある。

また、この種のブＯ−ブは、外部導体２を介してそれぞ
れアースをとる構造になっているため、プローブＰの基
端には太径の同軸ケーブルを接続しなければならず、そ
の本数が何白本にも及ぶ場合には配線のとりまわしが容
易でないという問題−４− もある。

〔発明の目的〕

本発明はかかる現況に鑑みなされたもので、プローブの
支持板への装着ピッチを狭くして検査すべき回路基板の
パターンに充分対応さけることができ、各プローブと測
定器との間の配線処理が容易な回路基板等の検査装置を
提供することを目的とする。

（発明の概要） 本発明は、外部導体の両端に設（プられている可動部を
省略し、プローブとは別に支持板に貫通配置した接地ピ
ンに、前記外部導体を支持板の表面に沿う位置に設けた
接続金具を介して接続し、接地ピンによりアースをどろ
ようにしたことを特徴とする。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の一実施例を第２図ないし第５図を参照し
て説明する。

第２図において、２０は適当な手段により支持された被
検査回路基板であり、この回路基板２０の下方には、中
心の支軸２１により案内されて１下方向に移動する接触
プローブ装着基板としての支持板２２が設【ノられてい
る。そしてこの支持板２２には、同軸型可動接触プロー
ブＰおよび接地ビン２３７メ上下方向に多数貫通支持さ
れている。

各プローブＰおよび接地ビン２３は先端（上端）に接触
部を有し、支持板２２が回路基板２０に向かって」ニ昇
すると、各プローブＰおよび接地ビン２３の先端が回路
基板２０の下面の回路パターンに電気的に接触して測定
検査が行なわれるようになっている。なお、支持板２２
を固定し回路基板２０を上下動させるようにしてもよい
。

支持板２２の下方には、支持板２２どともに支軸２１に
そって−に下動するコネクタ保持板２４が配設されてお
り、このコネクタ保持板２４には、測定器（図示せず）
へ到る導線２５に各プローブＰを電気的に接続するコネ
クタ２６および接地ビン２３ど電気的に接続する接地側
導体２７がそれぞれ設置ノられ、接地側導体２７からは
、接地ビン２３の本数に比較して大幅に少ない。例えば
１ないし数本の導線（図示ゼず）が引出されて接地側導
体２７を接地している。なＪ３、第２図において両端部
の各３本の接地ビン２３についてはそれと対をなす接触
プローブＰは例えば紙面に交わる方向における手前側ま
たは奥側にあり図には表われていない。

前記同軸型可動接触プ［１−ブ［）は、第３図に示すよ
うに中心導体２８とその外周に同軸的に設【ノられた筒
状の外部導体２９どを備えており、外部導体２９の内端
には、電気絶縁材からなる絶縁筒３０が挿入され、外部
導体２９の上下端部に形成された絞り部２９ａにより外
部導体２９からの抜は止めがなされている。この絶縁筒
３０は、その軸心部に中心導体挿入用貫通孔３１を有し
ており、前記中心導体２８はこの貫通孔３１に挿入され
ている。

前記外部導体２９の上部外面には、第３図および第４図
に示すようにフランジ３２が一体に形成されており、前
記支持板２２の挿通孔３３に圧入された外部導体２９は
、前記フランジ３２を支持−７− 板２２の土面に当接させることにより挿入位置ｈ＜決定
されるようになっている。

前記中心導体２８は、筒状の主体３４とこの主体３４の
両端部に位置する先端ビン３５および基端ピン３６とを
有しており、各ピン３５．３６の基部３５ａ　、３６ａ
は主体３４内に抜は止め状態で挿入され、主体３４内に
組込んだコイルはね３７によってボール３８を介し外方
へ弾圧されている。コイルばね３７の内端は、主体３４
の内側へ自かって変形させたビード３９に受ｔノ止めさ
れている。主体３４の貫通孔３１の軸線方向での位置決
めは、第３図に示すように主体３４の上端部に形成した
位置決めフランジ４０を前記絶縁筒３０の端面に当接さ
せることにより行なわれる。

また、中心導体２８が貫通孔３１から簡単に抜けないよ
うにするために、中心導体２８は貫通孔３１に摩擦的に
挿入されている。摩擦力を発生させる手段としては、貫
通孔３１を中心導体２８より幾分太き目にするとともに
、中心導体２８の主体３４を若干湾曲させ、貫通孔３１
内への挿入時−８− に直線状に撓ませるようにすることが考えられる。

主体３４の湾曲加■は、主体素材に予め塑性変形を与え
ることにより行なってもよいし、１体３４に先端ピン３
５および基端ピン３６を組み込んでから主体３４に湾曲
を与えることにより行なってもよい。また、湾曲をりえ
る代わりに、湾曲のない主体３４の内側から外側へ自か
っ１打出し突起を形成し、この突起を幾分弾性のある絶
縁筒３０に当接させることにより摩擦保持機能をｈえて
もよい。

一方、前記接地ビン２３は、第４図に示すように前記支
持板２２に設けた挿通孔４１に圧入された筒状の１体４
２とこの主体４２０両端に組付けられた接地ビン４３お
よび基端ピン４４とを備えており、各ピン４３．４４は
、主体４２内に組込まれたコイルばね（図示せず）にに
り外方にイ」勢されて出没自在どなっている。また、前
記主体４２０軸方自の位置決めは、主体４２の一ト部外
面に形成したフランジ４５を支持板２２の先端面に当接
させることにより行なわれる。

このように構成された接地ピン２３と前記プローブＰと
は、第４図に示すように支持板２２の上下面位置におい
て接続金具４６を介し電気的に接続されている。

この接続金具４６は、第５図にも示すようにプローブＰ
の外部導体２９の外周面に摩擦的に装置されるリング部
４６ａと、接地ピン２３の主体４２の外周面に摩擦的に
装着されるリング部　１４６ｂと、両リング部４６ａ、
４６ｂを連結する接続部４６ｃとから板状導体を湾曲加
工することにより形成されており、この接続金具４６に
よりプローブＰの外部導体２９がアース側として機能す
るようになっている。

以上のように構成された本発明の回路基板等の検査装置
は、その接触プローブ支持板２２およびコネクタ保持板
２４を、回路基板２０の回路パターンに向かって相対的
に移動させることにより検査を行なうものであり、各１
１コープＰおよび各接地ピン２３の先端ピン３５．４３
が回路パターンの所定点に背後のばね力により圧接され
、電気的接続状態が得られる。そして、回路パターンか
らの信号は各プローブＰおよび各接地ピン２３を介して
図示しない測定器に送られ、そこで測定検査が行なわれ
る。

この際、接触プローブＰの中心導体２８と外部導体２９
との間が絶縁筒３０により満たされているので、インピ
ーダンスの変化が生じることがなく、測定システムから
被測定物までのインピーダンスの乱れもなく信号を送る
ことができる。

また、アース側は外部導体２９から接続金具４６で接地
ピン２３に接続させる構造としているので、プローブＰ
が小径となり、プローブＰの支持板２２への装着ピッチ
を狭くすることができる。

また、各プローブＰからは太い同軸ケーブルが引出され
ているのではなく、細い導Ｉ！２５のみであり、アース
側は接地側導体２７から例えば１本のアース線をとれば
よいので、配線のとりまわしが容易であり、ｖ４置の動
作の信頼性を向上させることができる。

〔発明の効果〕

−１１− 以上説明したように本発明は、プローブの中心導体を容
易に着脱できる構造となっているので、故障、破損時に
お番プる交換が容易である。またその挿入時の位置決め
も容易で、挿入後はみだりに脱出Ｊることがない。

また、アース側は外部導体から接地金具で接地ピンに接
続させる構造としているので、プローブが小径となりプ
ローブの支持板への装着ピンチを狭くすることができる
。この結果、検査できる回路基板の範囲が拡大される。

【図面の簡単な説明】

第１図は本出願人の先願に係る同軸型可動接触プローブ
の構成を示す断面図、第２図は本発明の回路基板などの
検査装置の断面図、第３図は本発明で用いる同軸型可動
接触プローブを示す断面図、第４図はプローブと接地ピ
ンとの関係を示す第２図の要部拡大図、第５図は第４図
の平面図である。 ２０・・・回路基板、２２・・・支持板、２３・・・接
地ピン、２４・・・コネクタ保持板、２８・・・中心導
体、−１２− ２９・・・外部導体、３０・・・絶縁筒、３４．４２・
・・主体、３５．４３・・・先端ピン、３６．４４・・
・絶縁筒、４０．４５・・・位置決めフランジ、４６・
・・接続金具、４６ａ、４６ｂ・・・リング部、４６ｃ
・・・接続部、Ｐ・・・同軸型可動接触プローブ。 出願人代理人　猪　股　清 嶌３図 ４０ ３５ａ　島田 ／　３７ ７・　４６ ２２ シ 改 ２８　Ｆ ／− ４ Ｉ ０ 特開昭ＧＯ−２０７３４３（６） 革、ｉ　ｚ １　石　Ｔ■ 一７□さ４ うｒン　：Ｊ　−一 ４に

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）　検査すべき回路基板に対向し°Ｃ相対的に移動自
   在に設けられた支持板に、筒状の外部導体の内部に中心
   導体を絶縁状態で設けた同軸型可動接触プローブを回路
   基板に向がって貫通状態で支持し、支持板の回路基板に
   対する相対移動により接触プローブの先端を回路基板の
   検査点に接触させて電気的な測定検査を行なう回路基板
   などの検査装置であって、接触プローブの中心導体を、
   筒状の主体と主体の先端部にばね力に抗して後退自在に
   支持した先端ピンとにより構成し、前記支持板に、接触
   プローブに隣接して接地ピンを回路基板に向かって貫通
   状態で支持し、この接地ビンとアース側となる前記外部
   導体とを支持板の表面に沿う位置で接続金具を介して接
   続したことを特徴とする回路基板等の検査装置。 ２）　接続金具の両端部に、接地ビンおよび外部導体の
   外周部に摩擦的にそれぞれ装着されるリング部を設けた
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の回路基板
   等の検査装置。