JPS6143854B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6143854B2 JPS6143854B2 JP17041380A JP17041380A JPS6143854B2 JP S6143854 B2 JPS6143854 B2 JP S6143854B2 JP 17041380 A JP17041380 A JP 17041380A JP 17041380 A JP17041380 A JP 17041380A JP S6143854 B2 JPS6143854 B2 JP S6143854B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe card
- socket
- probe
- contact
- test
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 27
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 18
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 238000009429 electrical wiring Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明はウエハ上に形成された集積回路素子
等の半導体素子の測定装置に関する。
等の半導体素子の測定装置に関する。
ウエハー上に形成されている多数個の集積回路
素子を個々に検査する従来の装置は、プローブカ
ードの下面に集積回路素子に相当するプローブを
設け、該プローブと集積回路素子の電極との接触
をとつて行なうようになつている。このプローブ
はプローブカードを介してテスト測定部まで電線
により配線されている。そして、ウエハはプロー
ブの試料台に載せられ、この試料台の水平面への
直交方向及び垂直面へ移動することによりプロー
ブカードのプローブとウエハ内の各集積回路素子
とを電気的に接触して測定していた。
素子を個々に検査する従来の装置は、プローブカ
ードの下面に集積回路素子に相当するプローブを
設け、該プローブと集積回路素子の電極との接触
をとつて行なうようになつている。このプローブ
はプローブカードを介してテスト測定部まで電線
により配線されている。そして、ウエハはプロー
ブの試料台に載せられ、この試料台の水平面への
直交方向及び垂直面へ移動することによりプロー
ブカードのプローブとウエハ内の各集積回路素子
とを電気的に接触して測定していた。
しかしながらこの測定装置においては、プロー
ブカードとテスト測定部とが長い配線で接続され
ているため、配線の断線や各配線間のクロストー
ク、あるいは配線への雑音に混入により、信頼性
のある測定を行なうことができなかつた。また、
測定時における信号の周波数を上げるとクロスト
ローク、雑音等の影響がいちぢるしくなり測定信
号の周波数を上げることが難かしかつた。そのた
め、高速で測定することができなかつた。
ブカードとテスト測定部とが長い配線で接続され
ているため、配線の断線や各配線間のクロストー
ク、あるいは配線への雑音に混入により、信頼性
のある測定を行なうことができなかつた。また、
測定時における信号の周波数を上げるとクロスト
ローク、雑音等の影響がいちぢるしくなり測定信
号の周波数を上げることが難かしかつた。そのた
め、高速で測定することができなかつた。
この発明の目的は、プローブカードとテスト測
定部間の電線による配線をなくし、かわりに金属
の導電性ソケツト絶縁スリーブを介して挿入され
支持された、接触部分の伸縮可能なコンタクトピ
ンを使用することにより、導電性ソケツト、絶縁
スリーブ、コンタクトピンで形成される同軸効果
によつて高周波測定を可能とし、又断線、クロス
トークの影響をなくし、信頼性のある測定を行な
うことが出来る有効な測定装置を提供することで
ある。
定部間の電線による配線をなくし、かわりに金属
の導電性ソケツト絶縁スリーブを介して挿入され
支持された、接触部分の伸縮可能なコンタクトピ
ンを使用することにより、導電性ソケツト、絶縁
スリーブ、コンタクトピンで形成される同軸効果
によつて高周波測定を可能とし、又断線、クロス
トークの影響をなくし、信頼性のある測定を行な
うことが出来る有効な測定装置を提供することで
ある。
次にこの発明の実施例について第１図を参照し
て説明する。
て説明する。
この発明の測定装置は、次のような構造で集積
回路素子からテスト測定部までが接続されてい
る。集積回路素子の電極と接触するプローブカー
ド１上のプローブ２は、プローブカード１上のパ
ターン配線によりプローブカード１のコンタクト
ピン３につながつている。このコンタクトピン３
はプローブカードソケツト４のガイドピン５に挿
入されて接触をとり、このガイドピン５はプロー
ブカードソケツト基板６のパターン配線により、
テスト測定部７のテストボード８と接触するコン
タクトピン９に接続されている。このコンタクト
ピン９は絶縁スリーブ１０で被われ、金属の導電
性ソケツト１１に挿入され支持されている。導電
性ソケツトはテスト測定部７とプローブカードソ
ケツト基板４との間にあり、金属ソケツトと絶縁
スリーブ１０とコンタクトピン９とで同軸線路を
構成している。さらに、コンタクトピン９のコン
タクト部分は伸縮可能であり、テスト測定部７の
テストボード８に押しつけられて接触をとつてい
る。
回路素子からテスト測定部までが接続されてい
る。集積回路素子の電極と接触するプローブカー
ド１上のプローブ２は、プローブカード１上のパ
ターン配線によりプローブカード１のコンタクト
ピン３につながつている。このコンタクトピン３
はプローブカードソケツト４のガイドピン５に挿
入されて接触をとり、このガイドピン５はプロー
ブカードソケツト基板６のパターン配線により、
テスト測定部７のテストボード８と接触するコン
タクトピン９に接続されている。このコンタクト
ピン９は絶縁スリーブ１０で被われ、金属の導電
性ソケツト１１に挿入され支持されている。導電
性ソケツトはテスト測定部７とプローブカードソ
ケツト基板４との間にあり、金属ソケツトと絶縁
スリーブ１０とコンタクトピン９とで同軸線路を
構成している。さらに、コンタクトピン９のコン
タクト部分は伸縮可能であり、テスト測定部７の
テストボード８に押しつけられて接触をとつてい
る。
この接続により電線を使用せず測定を行なうこ
とが可能となり、導電性の金属ソケツトをアース
することによりクロストーク、雑音の混入を防い
で高速の測定が可能である。
とが可能となり、導電性の金属ソケツトをアース
することによりクロストーク、雑音の混入を防い
で高速の測定が可能である。
第１図は本発明の測定装置の一実施の要部断面
図である。 １……プローブカード、２……プローブ、３…
…コンタクトピン、４……プローブカードソケツ
ト、５……ガイドピン、６……プローブカードソ
ケツト基板、７……テスト測定部、８……テスト
ボード、９……コンタクトピン、１０……絶縁ス
リーブ、１１……導電性ソケツト、１２……ソケ
ツト支持台、１３……ウエハ、１４……試料台。
図である。 １……プローブカード、２……プローブ、３…
…コンタクトピン、４……プローブカードソケツ
ト、５……ガイドピン、６……プローブカードソ
ケツト基板、７……テスト測定部、８……テスト
ボード、９……コンタクトピン、１０……絶縁ス
リーブ、１１……導電性ソケツト、１２……ソケ
ツト支持台、１３……ウエハ、１４……試料台。
Claims (1)
- １ ウエハ上に形成された半導体素子の測定装置
において、プローブを有するプローブカードソケ
ツト基板とテスト測定部との間に導電性ソケツト
を設け、該導電性ソケツトは前記プローブカード
ソケツト基板に接続されたコンタクトピンを有
し、該コンタクトピンは絶縁物を介して導電型の
ソケツト本体内に挿入された同軸構造を有してお
り、かつ前記テスト測定部との接触部分が伸縮可
能であることを特徴とする半導体素子の測定装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17041380A JPS5793543A (en) | 1980-12-03 | 1980-12-03 | Measuring system for semiconductor element |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17041380A JPS5793543A (en) | 1980-12-03 | 1980-12-03 | Measuring system for semiconductor element |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5793543A JPS5793543A (en) | 1982-06-10 |
| JPS6143854B2 true JPS6143854B2 (ja) | 1986-09-30 |
Family
ID=15904457
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17041380A Granted JPS5793543A (en) | 1980-12-03 | 1980-12-03 | Measuring system for semiconductor element |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5793543A (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0107323A1 (en) * | 1982-09-14 | 1984-05-02 | Accutest Corporation | Connector apparatus |
| JPS5960559U (ja) * | 1982-10-15 | 1984-04-20 | 株式会社アドバンテスト | 接続端子浮動機構 |
| JPS59138345A (ja) * | 1983-01-27 | 1984-08-08 | Rohm Co Ltd | プロ−ブカ−ド |
| JPS60143372U (ja) * | 1984-03-06 | 1985-09-24 | 株式会社東芝 | 半導体素子の電気特性測定装置 |
| JPH0637337Y2 (ja) * | 1986-01-29 | 1994-09-28 | 横河・ヒユ−レツト・パツカ−ド株式会社 | プロ−ブ装置 |
-
1980
- 1980-12-03 JP JP17041380A patent/JPS5793543A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5793543A (en) | 1982-06-10 |
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