KR20140043057A - 검사 지그 - Google Patents

Abstract

검사 기판에 형성되는 배선의 검사를 실시하기 위해서, 그 검사 기판에 형성되는 검사점과 그 검사 기판을 검사하는 검사 장치를 전기적으로 접속하기 위한 검사 지그로서, 일단이 상기 검사점과 도통 접촉함과 함께, 타단이 상기 검사 장치와 전기적으로 접속되는 전극부와 도통 접촉하는 가요성 또한 도전성의 접촉자와, 상기 접촉자의 일단을 상기 검사점으로 안내하는 검사 안내공을 갖는 검사측 지지체와, 상기 접촉자의 타단을 상기 전극으로 안내하는 전극 안내공을 갖는 전극측 지지체를 갖고, 상기 접촉자는 상기 검사점과 접촉하는 제 1 단부와 상기 전극부와 접촉하는 제 2 단부를 가짐과 함께 가요성을 갖는 봉상의 도전성의 도체부와, 상기 제 1 단부와 제 2 단부를 제외한 상기 도체부의 외주에 절연 피막되는 절연부를 갖고, 상기 제 2 단부의 길이는 상기 전극체에 맞닿는 상기 전극 안내공의 깊이보다 짧게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 접촉자의 후단과 전극의 위치 결정을 용이하게 하여, 정확한 검사를 가능하게 하는 검사 지그.

Description

검사 지그{TEST JIG}

본 발명은 복수의 배선이 형성되는 기판 등의 피검사물의 검사 대상부 상에 미리 설정되는 검사점과 검사 장치를 전기적으로 접속하는 검사 지그에 관한 것이다.

검사 지그는 접촉자를 경유하여, 피검사물이 갖는 검사 대상부에 검사 장치로부터 전력 (전기 신호 등) 을 소정 검사 위치에 공급함과 함께, 검사 대상부로부터 전기 신호를 검출함으로써, 검사 대상부의 전기적 특성의 검출, 동작 시험의 실시 등을 실시하기 위해서 사용된다.

피검사물로는 예를 들어, 프린트 배선 기판, 플렉시블 기판, 세라믹 다층 배선 기판, 액정 디스플레이나 플라스마 디스플레이용 전극판 및 반도체 패키지용 패키지 기판이나 필름 캐리어 등 여러 가지 기판이나, 반도체 웨이퍼나 반도체 칩이나 CSP (Chip size package) 등의 반도체 장치가 해당된다.

본 명세서에서는 이들의 상기 피검사물을 총칭하여 「피검사물」이라고 하고, 피검사물에 설정되는 검사 대상부를 「검사점」이라고 칭한다.

예를 들어, 피검사물이 기판이고, 그것에 탑재되는 IC 등의 반도체 회로나 저항기 등의 전기·전자 부품인 경우에는, 기판에 형성된 대상부가 배선이나 전극이 된다. 그 경우에는 대상부의 배선이, 그것들에 전기 신호를 정확하게 전달할 수 있는 것을 보증하기 위해서, 전기·전자 부품을 실장하기 전의 프린트 배선 기판, 액정 패널이나 플라스마 디스플레이 패널에 형성된 배선 상의 소정의 검사점 간의 저항값 등의 전기적 특성을 측정하여, 그 배선의 양부를 판단하고 있다.

구체적으로는 그 배선의 양부의 판정은, 각 검사점에 전류 공급용 단자 및/또는 전압 측정용 접촉자의 선단을 맞닿게 하여, 그 접촉자의 전류 공급용 단자로부터 검사점에 측정용 전류를 공급함과 함께, 검사점에 맞닿게 한 접촉자의 선단 간의 배선에 발생한 전압을 측정하고, 그들의 공급 전류와 측정한 전압으로부터 소정의 검사점 사이에 있어서의 배선의 저항값을 산출함으로써 실시되고 있다.

또, 기판 검사 장치를 사용하여 검사용 기판의 검사를 실시할 때에는, 지그 이동 수단을 이동시켜 기판 검사 지그의 검사용 접촉자 (접촉핀) 를 검사용 기판의 접촉 부분에 맞닿게 하고, 그것에 의해 소정의 검사를 실시하며, 검사가 종료되면, 지그 이동 수단에 의해 검사 지그를 이동시켜 검사용 기판으로부터 멀리 떨어뜨리는 제어가 실시되고 있다.

여기서, 예를 들어 특허문헌 1 에 개시되는 검사 지그는, 선단측 지지체와, 그 선단측 지지체와 소정의 간극을 개재하여 배치되는 후단측 지지체와, 선단측 지지체와 후단측 지지체를 연결하는 연결체를 구비하고, 선단측 지지체에는 검사 대상과 대향하는 대향면에 직교하는 방향에 선단측 삽입 통과공이 형성되고, 후단측 지지체에는 선단측 삽입 통과공의 형성 방향에 대해 경사지는 방향에 후단측 삽입 통과공이 형성되어 있다. 또, 후단측 삽입 통과공은, 이 후단측 삽입 통과공에 삽입 통과된 프로브의 선단측이 선단측 삽입 통과공을 향하도록 선단측 삽입 통과공에 대해 경사져 있다.

또한, 프로브의 후단이 접촉하는 전극이 형성되어 있는 전극 지지체가, 프로브를 유지하는 후단측 지지체와의 사이에 소정의 간극을 개재하여 배치되고, 후단측 지지체를 탄성 지지하는 탄성 지지 기구를 구비하고 있다. 이 탄성 지지 기구는 선단이 원추상으로 형성되어 있고, 후단측 지지체의 탄성 지지 기구가 맞닿는 부분에 형성된 삽입공에 삽입함으로써, 전극 지지체에 지지되는 프로브의 후단과 전극의 위치 결정도 실시하고 있다.

특허문헌 1 에 개시되는 검사 지그에서는, 프로브의 선단이 검사점의 표면에 접촉한 상태에서 어긋나게 스침으로써 검사점 표면에 발생하는 타흔을 억제하기 위해서, 검사시에만 프로브의 선단이 돌출되도록 탄성 지지 기구가 형성되어 있다.

그러나, 특허문헌 1 에 나타나는 검사 지그에서는 프로브의 후단 부분의 길이가, 후단측 지지체의 가장 뒤쪽의 소직경공의 축 방향의 길이보다 길게 형성되어 있다. 이와 같이 형성되어 있기 때문에, 프로브 후단은 프로브 후단의 후단측 지지체의 후방 표면과 평행한 면 방향으로 흔들리게 된다.

이 때문에, 피검사물의 검사점에 프로브의 선단이 맞닿을 때마다 (검사가 실시될 때마다), 프로브의 후단과 전극이 접촉되는 상태가 안정적이지 않아, 검사가 실시될 때마다 프로브와 전극의 접촉 저항이 크게 변화하는 문제를 가지고 있었다. 이와 같은 문제를 가지고 있기 때문에, 검사마다 접촉 저항값이 변화하게 되어, 정확한 검사를 실시할 수 없었다.

또한, 검사를 반복하면 프로브의 후단이 전극 표면을 스치게 되어, 전극 표면이 마모되어, 정확한 검사 결과를 얻는 것이 곤란해진다는 내구성의 문제를 가지고 있었다.

또, 특허문헌 1 의 개시 기술에서는, 탄성 지지 기구에 위치 결정의 역할을 갖게 하고 있기 때문에, 탄성 지지 기구의 선단이나 삽입공이 맞닿음으로써 마모되게 된다. 이 경우, 선단이 초기 상태보다 깊게 삽입공에 들어가 버리는 경우가 생기기 때문에, 선단이나 삽입공이 마모되면 탄성 지지력이 변화하게 된다. 탄성 지지 기구와 삽입공은 복수 형성되어 있기 때문에 마모의 진행 상태에 따라 이들 사이에서 일정하지는 않기 때문에, 장소에 따라 후단측 지지체가 전극 지지체를 탄성 지지하는 힘에 상위가 생기게 된다. 이 때문에, 대향면이 접촉면에 가까워질 때에, 장소에 따라 상이한 탄성 지지력에 저항하여, 대향면과 접촉면이 가까워져 프로브의 선단이 검사점에 접촉하게 된다.

일본 공개특허공보 2009-047512호

본 발명은 이와 같은 실정을 감안하여 이루어진 것으로, 접촉자의 후단과 전극의 위치 결정을 용이하게 하여, 정확한 검사의 실시를 가능하게 하는 검사 지그를 제공한다.

또, 본 발명은 접촉자의 교환 등의 메인터넌스가 용이한 검사 지그를 제공한다.

청구항 1 에 기재된 발명은, 검사 기판에 형성되는 배선의 검사를 실시하기 위해서, 그 검사 기판에 형성되는 검사점과 그 검사 기판을 검사하는 검사 장치를 전기적으로 접속하기 위한 검사 지그로서, 일단이 상기 검사점과 도통 접촉함과 함께, 타단이 상기 검사 장치와 전기적으로 접속되는 전극부와 도통 접촉하는 가요성 또한 도전성의 접촉자와, 상기 접촉자의 일단을 상기 검사점으로 안내하는 검사 안내공을 갖는 검사측 지지체와, 상기 접촉자의 타단을 상기 전극으로 안내하는 전극 안내공을 갖는 전극측 지지체와, 상기 검사측 지지체와 상기 전극측 지지체를, 소정 간격을 갖고 배치하여 유지하는 지주와, 상기 전극이 복수 배치됨과 함께, 비검사시에 있어서, 상기 전극측 지지체를 소정 거리 이간시켜 유지하는 탄성 지지 수단을 갖는 전극체를 갖고, 상기 접촉자는, 상기 검사점과 접촉하는 제 1 단부 (端部) 와 상기 전극부와 접촉하는 제 2 단부를 가짐과 함께 가요성을 갖는 봉상의 도전성의 도체부와, 상기 제 1 단부와 제 2 단부를 제외한 상기 도체부의 외주에 절연 피막되는 절연부를 갖고, 상기 제 2 단부의 길이는 상기 전극체에 맞닿는 상기 전극 안내공의 깊이보다 짧게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 검사 지그를 제공한다.

청구항 2 에 기재된 발명은, 상기 전극측 지지체는 상기 전극체를 향하여 연장 돌출되는 축부를 갖고, 상기 전극체는 상기 축부를 슬라이딩 가능하게 삽입 유지하는 베어링부를 갖는 것을 특징으로 하는 청구항 1 에 기재된 검사 지그를 제공한다.

청구항 3 에 기재된 발명은, 상기 탄성 지지 수단은, 상기 전극측 지지체의 표면에 맞닿는 맞닿음면을 갖는 맞닿음 부재와, 상기 맞닿음 부재를 상기 전극측 지지체에 탄성 지지하는 탄성 지지부를 갖는 것을 특징으로 하는 청구항 1 또는 2 에 기재된 검사 지그를 제공한다.

청구항 4 에 기재된 발명은, 상기 검사 지그에 형성되는 상기 탄성 지지 수단의 가압력은, 그 검사 지그에 형성되는 상기 접촉자의 가압력보다 큰 것을 특징으로 하는 청구항 1 에 기재된 검사 지그를 제공한다.

청구항 5 에 기재된 발명은, 추가로 상기 전극측 지지체와 상기 전극체 사이에 가동 플레이트를 갖고, 상기 탄성 지지 수단이, 그 가동 플레이트와 함께 상기 전극측 지지체를 상기 검사측 지지체 측에 탄성 지지하는 탄성 지지부를 갖는 것을 특징으로 하는 청구항 1 에 기재된 검사 지그를 제공한다.

청구항 6 에 기재된 발명은, 추가로 상기 전극체의 주위에 가동 플레이트를 갖고, 상기 탄성 지지 수단이, 그 가동 플레이트와 함께 상기 전극측 지지체를 상기 검사측 지지체 측에 탄성 지지하는 탄성 지지부를 갖는 것을 특징으로 하는 청구항 1 에 기재된 검사 지그를 제공한다.

청구항 1 에 기재된 발명은, 접촉자의 제 2 단부의 길이가, 전극체에 맞닿는 전극 안내공의 깊이보다 짧게 형성되어 있기 때문에, 접촉자의 타단이 전극 안내공의 내부에 위치 결정됨으로써, 접촉자의 후단을 전극에 안정적으로 맞닿게 할 수 있어, 접촉자와 전극을 안정적으로 접촉시킬 수 있다.

청구항 2 에 기재된 발명은, 전극측 지지체에 축부를 형성하고, 전극체에 베어링부를 형성하는 것에 의해, 전극측 지지체와 전극체를 정확하게 접촉시킬 수 있어, 검사마다에 의한 위치 어긋남을 일으키는 경우가 없다.

청구항 3 에 기재된 발명은, 탄성 지지 수단이, 전극측 지지체의 표면에 맞닿는 맞닿음면을 갖는 맞닿음 부재와, 맞닿음 부재를 전극측 지지체에 탄성 지지하는 탄성 지지부를 갖고 형성됨으로써, 탄성 지지 수단과 전극측 지지체가 마모되지 않아, 내구성이 높은 검사 지그를 제공할 수 있다.

청구항 4 에 기재된 발명은, 검사 지그에 형성되는 탄성 지지 수단의 가압력이 검사 지그에 형성되는 접촉자의 가압력보다 크기 때문에, 접촉자가 검사점과 전극의 양방에 확실하게 접촉할 수 있다.

청구항 5 에 기재된 발명은, 추가로 전극측 지지체와 전극체 사이에 가동 플레이트를 갖고, 탄성 지지 수단이, 가동 플레이트와 함께 전극측 지지체를 검사측 지지체 측에 탄성 지지하는 탄성 지지부를 갖기 때문에, 전극측 지지체 측으로부터의 검사 지그의 메인터넌스를 용이하게 실시할 수 있다.

청구항 6 에 기재된 발명은, 추가로 전극체의 주위에 가동 플레이트를 갖고,탄성 지지 수단이 가동 플레이트와 함께 전극측 지지체를 검사측 지지체 측에 탄성 지지하는 탄성 지지부를 갖기 때문에, 전극측 지지체 측으로부터의 검사 지그의 메인터넌스를 용이하게 실시할 수 있음과 함께, 접촉자의 후단부와 전극의 접촉을 확실한 것으로 할 수 있다.

도 1 은 본 발명의 실시형태에 관련된 검사 지그 (1) 의 개략 측면도이다.
도 2 는 도 1 에 나타내는 검사 지그 (1) 의 평면도이다.
도 3 은 도 1 에 나타내는 검사측 지지체 (2) 의 단면 구조를 나타내는 개략 부분 단면도이다.
도 4 는 도 1 에 나타내는 전극측 지지체 (3) 의 단면 구조를 나타내는 개략 부분 단면도이며, (a) 는 비검사시의 상태를 나타내고, (b) 는 검사시의 상태를 나타내고 있다.
도 5 는 전극측 지지체 (3) 의 저면도이다.
도 6 은 전극체 (6) 의 평면도이다.
도 7 은 도 6 에 나타내는 일 실시형태에 관련된 전극체를 구비하는 검사 지그의 비검사시의 검사 지그의 상태를 설명하기 위한 도 6 의 A-A 선을 따라 검사 지그를 본 일부 확대 단면도이다.
도 8 은 도 6 에 나타내는 실시형태에 관련된 전극체를 구비하는 검사 지그의 검사시의 검사 지그의 상태를 설명하기 위한 도 6 의 A-A 선을 따라 검사 지그를 본 일부 확대 단면도이다.
도 9 는 도 1 에 나타내는 검사 지그를 탑재한 검사 장치의 개략 구성도이다.
도 10a 는 다른 실시형태에 관련된 전극체의 평면도이다.
도 10b 는 비검사시에 있어서의 도 10a 에 나타내는 전극체 상태의 개략을 나타내는 정면도이다.
도 10c 는 검사시에 있어서의 도 10a 에 나타내는 전극체 상태의 개략을 나타내는 정면도이다.
도 11 은 도 10a 에 나타내는 실시형태에 관련된 전극체를 구비하는 검사 지그의 비검사시의 상태를 설명하기 위한 도 10a 의 B-B 선을 따라 검사 지그를 본 일부 확대 단면도이다.
도 12 는 도 10a 에 나타내는 실시형태에 관련된 전극체를 구비하는 검사 지그의 검사시의 상태를 설명하기 위한 도 10a 의 B-B 선을 따라 검사 지그를 본 일부 확대 단면도이다.

본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태를 설명한다.

이하, 본 발명의 실시형태를 도면에 기초하여 설명한다.

도 1 은 본 발명의 실시형태에 관련된 검사 지그 (1) 의 개략 측면도이다. 단, 본 발명의 구조 이해를 위해서 일부를 단면도로 하고 있다. 도 2 는 도 1 에 나타내는 검사 지그 (1) 의 평면도이다. 도 3 은 도 1 에 나타내는 검사측 지지체 (2) 의 단면 구조를 나타내는 개략 부분 단면도이다. 도 4 는 도 1 에 나타내는 전극측 지지체 (3) 의 단면 구조를 나타내는 개략 부분 단면도이며, (a) 는 비검사시의 상태를 나타내고, (b) 는 검사시의 상태를 나타내고 있다. 도 5 는 전극측 지지체 (3) 의 저면도이다. 도 6 은 전극체 (6) 의 평면도이다. 도 7 은 도 6 의 A-A 선 방향에서 본 비검사시의 검사 지그 (1) 의 상태를 나타내고 있고, 도 1 의 일부를 확대한 개략 단면도를 나타낸다. 도 8 은 도 7 에 나타내는 상태에 대하여, 검사시의 검사 지그의 상태를 나타내고 있고, 일부를 확대한 개략 단면도이다. 이 도면에 있어서도, 단면은 도 6 의 A-A 선을 따라 본 방향이다. 도 9 는 도 1 에 나타내는 검사 지그를 탑재한 검사 장치의 개략 구성도이다. 또한, 접촉자의 일단이 도 3 에 나타나 있고, 접촉자의 후단이 도 4 에 나타나 있다. 도 7 과 도 8 은 비검사시와 검사시를 나타내고 있고, 검사가 실시될 때마다 이들의 상태가 변이하게 된다.

이하의 설명에서는 도 1, 도 3, 도 4, 도 7 내지 도 9 에 있어서, 도면의 상측 및 하측을 각각 「선, 선방 또는 전방」및 「후 또는 후방」으로 하여 설명한다.

[검사 지그의 개요]

본 실시형태의 검사 지그 (1) 는 프린트 배선 기판이나 반도체 집적 회로 등의 피검사물 (50) 의 전기적 검사를 실시하는 검사 장치 (30) 에 탑재되어 사용된다 (도 9 참조).

이 검사 지그 (1) 는 도 1 또는 도 2 에 나타내는 바와 같이, 지그 본체부 (40) 와, 지그 본체부 (40) 가 탑재되는 베이스판 (41) 과, 지그 본체부 (40) 의 선방으로의 움직임을 규제하는 규제 부재 (42) 를 구비하고 있다.

지그 본체부 (40) 는 도 1 에 나타내는 바와 같이, 검사측 지지체 (2) 와, 검사측 지지체 (2) 의 후방에 소정의 간격을 개재하여 배치되는 전극측 지지체 (3) 를 구비하고 있다.

검사측 지지체 (2) 는 후술하는 접촉자 (5) 의 일단 (선단 (5e)) 을 검사점으로 안내하는 검사 안내공 (13) 을 가지고 있다 (도 3 참조). 전극측 지지체 (3) 는 접촉자 (5) 의 타단 (후단 (5f)) 을 전극 (7) 으로 안내하는 전극 안내공 (20) 을 가지고 있다 (도 4 의 (a), (b) 참조).

검사측 지지체 (2) 및 전극측 지지체 (3) 는 각각 편평한 직방체상 (사각형의 판상) 으로 형성되어 있다. 또, 검사측 지지체 (2) 와 전극측 지지체 (3) 는, 그들의 표면이 서로 평행이 되도록 배치되어 있다.

구체적으로는 검사측 지지체 (2) 의 4 모퉁이에 배치되는 4 개의 지주 (4) 에 의해, 검사측 지지체 (2) 와 전극측 지지체 (3) 는 연결 고정되어 있다 (도 1, 도 2 참조). 본 실시형태에서는 지주 (4) 가, 검사측 지지체 (2) 와 전극측 지지체 (3) 를 연결하고 있다.

또, 검사측 지지체 (2) 및 전극측 지지체 (3) 에는 피검사물 (50) 의 검사점에 접촉하는 접촉자로서의 복수의 접촉자 (5) 가 삽입 통과되어 있다.

전극체 (6) 는 전극측 지지체 (3) 의 후방에 장착되어 있다 (도 1 참조). 전극체 (6) 는 도 1 에 나타내는 바와 같이, 접촉자 (5) (구체적으로는 접촉자 (5) 의 후단 (5f)) 에 도전 접촉하는 복수의 전극 (7) 이 고정되어 있다. 또, 전극체 (6) 에는 전극측 지지체 (3) 를 선방을 향하여 탄성 지지하는 탄성 지지 수단 (14) 과, 피검사물 (50) 의 검사시에 전극측 지지체 (3) 의 이동을 규제하는 슬라이드 기구 (8) 가 장착되어 있다.

접촉자 (5) 는 텅스텐, 하이 스피드강 (SKH), 베릴륨구리 (Be-Cu) 등의 금속 그 밖의 도전체로 형성됨과 함께, 굴곡 가능한 탄성 (가요성) 을 갖는 봉상으로 형성되어 있다.

본 형태의 접촉자 (5) 는 도 3 및 도 4 에 나타내는 바와 같이, 상기와 같은 도전체로 구성되는 도체부 (5a) 와, 이 도체부 (5a) 의 외주면을 덮는 절연부 (5b) 를 구비하고 있다. 절연부 (5b) 는 합성 수지 등의 절연체로 형성되어 있다. 절연부 (5b) 는 도체부 (5a) 의 표면에 절연 도장을 실시함으로써 형성되는 절연 피막을 사용할 수 있다. 접촉자 (5) 의 양단에는 절연부 (5b) 가 형성되어 있지 않고, 접촉자 (5) 의 일단 (선단) 에는 제 1 단부 (5c) 가 형성되고, 접촉자 (5) 의 타단 (후단) 에는 제 2 단부 (5d) 가 형성되어 있다. 또한, 설명의 편의상, 제 1 단부 (5c) 의 검사점에 맞닿는 부위를 선단 (5f) 으로, 제 2 단부 (5d) 의 전극에 맞닿는 부위를 후단 (5f) 으로 한다.

제 1 단부 (5c) 의 선단 (5f) 이나 제 2 단부 (5d) 의 후단 (5f) 은 도시한 바와 같이 반구면상으로 형성할 수도 있다.

접촉자 (5) 의 제 1 단부 (5c) 는 검사시에 있어서, 검사측 지지체 (2) 의 검사 안내공 (13) 내에 삽입 지지된다 (도 3 참조). 제 1 단부 (5c) 의 선단 (5e) 은 피검사물 (50) 상에 형성되는 검사점에 도통 접촉하게 된다.

이 제 1 단부 (5c) 의 길이는 이 검사 안내공 (13) 의 길이보다 길게 형성된다. 이것은 검사시에 검사점과 전극에 의해 접촉자 (5) 가 협지되어 만곡되기 때문이다. 도 3 에서는 비검사시의 검사 지그가 나타나 있고, 접촉자 (5) 의 제 1 단부 (5c) 는 검사 안내공 (13) 내에 수용되고, 제 1 단부 (5c) 의 선단 (5e) 도 검사 안내공 (13) 내에 배치되게 된다.

접촉자 (5) 의 제 2 단부 (5d) 는 후술하는 전극측 지지체 (3) 의 전극 안내공 (20) 에 의해 전극 (7) (접촉면 (7a)) 으로 안내된다 (도 4 참조). 제 2 단부 (5d) 의 후단 (5f) 은 전극 (7) 에 도통 접촉하게 된다.

제 2 단부 (5d) 의 길이는 자세한 것은 후술하지만, 이 전극 안내공 (20) 을 구성하는 소직경공 (17b) 의 축 방향의 길이보다 짧게 형성된다.

검사측 지지체 (2) 는 피검사물 (50) 이 배치되는 측 (선방) 부터 순서대로 복수 (본 형태에서는 3 장) 의 지지판 (10, 11, 12) 이 적층되어 구성되어 있다. 이들 지지판 (10 ∼ 12) 은 볼트 등의 고정 수단에 의해 서로 고정되어 있다.

또, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 각 지지판 (10, 11, 12) 에는 각각 관통공 (10a, 11a, 12a) 이 형성되어 있다. 이들 관통공 (10a, 11a, 12a) 이 서로 연결되도록 배치됨으로써, 접촉자 (5) 의 제 1 단부 (5c) 가 삽입 통과되는 1 개의 검사 안내공 (13) 이 구성되어 있다.

또한, 지지판 (10) 앞쪽의 표면이, 피검사물 (50) 에 대향하는 대향면 (2a) 으로 되어 있다.

검사 안내공 (13) 은 피검사물 (50) 에 대한 선방을 향하는 접촉자 (5) 의 안내 방향을 가지고 있다. 구체적으로는 검사 안내공 (13) 은 대향면 (2a) 에 직교하는 접촉자 (5) 의 안내 방향을 가지고 있게 된다. 그 때문에, 피검사물 (50) 의 검사점에 대해 거의 직각 방향으로부터 접촉자 (5) 의 선단 (5e) 을 접촉시킬 수 있다.

또, 검사 안내공 (13) 은 검사 지그 (1) 가 갖는 접촉자 (5) 의 수만큼 형성되어 있다.

3 개의 관통공 (10a, 11a, 12a) 은 동심상으로 형성되어 있다. 도 3 에서는, 관통공 (10a) 은 소직경공 (10b) 과 소직경공 (10b) 보다 대직경인 대직경공 (10c) 으로 구성되고, 관통공 (12a) 은 소직경공 (12b) 과 소직경공 (12b) 보다 대직경인 대직경공 (12c) 으로 구성되어 있다.

또, 소직경공 (10b) 과 소직경공 (12b) 은, 도체부 (5a) 의 외경보다 약간 크고, 또한, 절연부 (5b) 부분의 접촉자 (5) 의 외경보다 약간 작은 내경으로 형성되어 있다.

또, 관통공 (11a) 의 내경은 소직경공 (10b) 의 내경 및 소직경공 (12b) 의 내경보다 크게 되어 있다.

접촉자 (5) 의 제 1 단부 (5c) 에 형성되는 도체부 (5a) 와 절연부 (5b) 의 경계인 선단 가장자리 (5g) 는 도 3 에 나타내는 바와 같이, 검사 안내공 (13) 의 소직경공 (12b) 보다 후방에 배치되어 있다.

또, 상기 서술한 바와 같이, 소직경공 (12b) 은 절연부 (5b) 부분의 접촉자 (5) 의 외경보다 약간 작은 내경으로 형성되어 있다. 그 때문에, 절연부 (5b) 의 선단 가장자리 (5g) 는 소직경공 (12b) 의 개구 가장자리 (12d) 에 맞닿게 된다. 즉, 선단 가장자리 (5g) 와 개구 가장자리 (12d) 는, 접촉자 (5) 가 검사 대상측으로 빠져 떨어지는 것을 방지하기 위한 빠짐 방지부로 되어 있다.

전극측 지지체 (3) 는 검사측 지지체 (2) 의 선방으로부터 순서대로 복수 (본 형태에서는 3 장) 의 지지판 (15, 16, 17) 이 적층되어 구성되어 있다. 이들 지지판 (15 ∼ 17) 은 볼트 등의 고정 수단에 의해 서로 고정되어 있다.

도 4 의 (a) 또는 도 4 의 (b) 에 나타내는 바와 같이, 각 지지판 (15 ∼ 17) 에는 각각 관통공 (15a, 16a, 17a) 이 형성되어 있다. 이들 관통공 (15a ∼ 17a) 이 서로 연결되도록 배치됨으로써, 접촉자 (5) 의 제 2 단부 (5d) 가 삽입 통과되는 1 개의 전극 안내공 (20) 이 구성되어 있다. 이 전극 안내공 (20) 은 검사 지그 (1) 가 갖는 접촉자 (5) 의 수만큼 형성된다.

전극 안내공 (20) 은 검사 안내공 (13) 에 형성되는 안내 방향 (즉, 대향면 (2a) 의 직교 방향) 에 대해 경사지는 안내 방향에 형성되어 있다. 즉, 3 개의 관통공 (15a ∼ 17a) 은 각각의 중심이 조금씩 어긋난 상태로 형성되어 있고, 전극 안내공 (20) 의 전체가 대향면 (2a) 의 직교 방향에 대해 경사지는 방향에 형성되어 있다.

예를 들어, 도 4 의 (a) 에 나타내는 바와 같이, 관통공 (15a ∼ 17a) 의 순서로 그 중심이 도면 우측 방향으로 조금씩 어긋난 상태로, 3 개의 관통공 (15a ∼ 17a) 이 형성되어 있다. 즉, 접촉자 (5) 의 후단측을 안내하는 안내 방향은, 전극측 지지체 (3) 의 표면과 직교하는 법선에 대해 경사지는 방향으로 안내하게 된다.

관통공 (15a) 은 소직경공 (15b) 과 소직경공 (15b) 보다 대직경인 대직경공 (15c) 으로 구성되어 있다. 동일하게, 관통공 (16a) 은 소직경공 (16b) 과 대직경공 (16c) 으로 구성되고, 관통공 (17a) 은 소직경공 (17b) 과 대직경공 (17c) 으로 구성되어 있다.

소직경공 (15b, 16b, 17b) 은 절연부 (5b) 가 형성된 부분의 접촉자 (5) 의 외경보다 약간 큰 내경으로 형성되어 있다.

또, 상기 서술한 바와 같이, 소직경공 (17b) 은 절연부 (5b) 부분의 접촉자 (5) 의 외경보다 약간 큰 내경으로 형성되어 있고, 절연부 (5b) 의 후단 가장자리 (5h) 는 소직경공 (17b) 의 내부에 삽입 가능하게 되어 있다. 접촉자 (5) 는 전극측 지지체 (3) 의 표면과 직교하는 법선에 대해 경사져 배치된다. 이 때문에, 접촉자 (5) 는 도 4 의 (b) 에 나타내는 바와 같이, 소직경공 (17b) 에 대해서도 경사져 배치되게 된다. 또한, 이 소직경공 (17b) 은 축 방향이 전극측 지지체 (3) 의 표면에 대해 직교하도록 형성되어 있다.

접촉자 (5) 의 제 2 단부 (5d) 에 형성되는 도체부 (5a) 와 절연부 (5b) 의 경계인 후단 가장자리 (5h) 는 도 4 의 (b) 의 검사시의 검사 지그의 상태에 나타내는 바와 같이, 전극 안내공 (20) 의 대직경공 (17c) 보다 후방에 배치되어 있다.

이 때, 후단 (5f) 의 전극측 지지체 (3) 의 후방 표면에 평행한 방향으로 이동 가능한 양은, 접촉자 (5) 가 소직경공 (17b) 의 내부에서 이동하는 범위로 규제되게 된다. 이 때문에, 접촉자 (5) 가 경사져 삽입되는 경우 (비검사시로부터 검사시로 이행하는 경우 또는 검사시로부터 비검사시로 이행하는 경우) 에, 제 2 단부 (5d) 의 후단 (5f) 의 이동 가능한 양을 매우 적게 할 수 있어, 안정적으로 전극과 접촉하게 된다.

이로써, 후술하는 전극 (7) 의 접촉면 (7a) 과 후단 (5f) 을 접촉시키는 경우에, 접촉면 (7a) 과 후단 (5f) 의 정밀한 위치 결정을 실시하는 것이 가능해진다. 특히 실제의 검사에 있어서는 접촉자 (5) 및 전극 (7) 은 통상 수천 개 형성되기 때문에, 접촉면 (7a) 과 후단 (5f) 의 위치 결정이 용이한 것은 작업 시간의 단축에 크게 공헌하게 된다.

전극측 지지체 (3) 의 바닥면 (후방 표면) 에는 도 5 에 나타내는 바와 같이, 원 형상의 삽입공 (3a) 이 형성되어 있다. 구체적으로는 지지판 (17) 을 관통하도록, 또한 지지판 (17) 의 4 모퉁이 각각의 근방에 삽입공 (3a) 이 형성되어 있다. 또한, 도 7 에 나타내는 바와 같이, 삽입공 (3a) 에는 슬라이드 기구 (8) 를 구성하는 후술하는 축부 (8a) 가 삽입되어 고정되어 있다.

각 접촉자 (5) 에서는 검사 안내공 (13) 에 삽입 통과된 제 1 단부 (5c) 가 전극 안내공 (20) 에 삽입 통과된 제 2 단부 (5d) 보다 전극 안내공 (20) 의 안내 방향의 경사 방향으로 어긋난 위치에 배치되어 있다. 즉, 접촉자 (5) 의 제 1 단부 (5c) 가 삽입 통과되는 검사 안내공 (13) 의 후단측의 개구 위치 (즉, 지지판 (12) 의 관통공 (12a) 의 개구 위치) 는, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 그 접촉자 (5) 의 제 2 단부 (5d) 가 삽입 통과되는 전극 안내공 (20) 에서 봤을 때, 전극 안내공 (20) 의 안내 방향의 경사측에 배치되어 있다.

전극체 (6) 는 도 1 에 나타내는 바와 같이, 복수의 전극 (7) 이 매립된 사각형의 지지판 (22, 23) 과, 전극 (7) 에 도전 접속되는 배선 (24) 을 유지하는 대략 블록상의 지지 부재 (25) 가 적층되어 구성되어 있다. 본 형태의 전극체 (6) 는 전체로서 대략 직방체상으로 형성되어 있고, 후단면이 고정판 (48) 을 개재하여 베이스판 (41) 의 전방 표면에 고정되어 있다. 또한, 배선 (24) 은 후술하는 검사 장치 (30) 의 제어부 (31) 에 접속된다.

전극 (7) 의 선방의 표면은 도 4 에 나타내는 바와 같이, 접촉자 (5) 의 후단 (5f) 이 접촉하는 접촉면 (7a) 으로 되어 있다. 또한, 접촉자 (5) 의 후단 (5f) 은 상기 서술한 바와 같이 구면상으로 형성되어 있다. 그 때문에, 경사지는 안내 방향을 갖는 전극 안내공 (20) 을 따라 접촉자 (5) 의 제 2 단부 (5d) 가 경사져도, 후단 (5f) 과 접촉면 (7a) 은 바람직한 도전 접촉 상태가 된다.

전극체 (6) 에는 슬라이드 기구 (8) 가 장작되는 것에 더하여, 탄성 지지 수단 (14) 도 장착되어 있다. 구체적으로는 도 6 에 나타내는 바와 같이, 전극체 (6) 의 4 모퉁이 각각의 근방에 슬라이드 기구 (8) 및 탄성 지지 수단 (14) 이 장착되어 있다. 본 형태에서는 탄성 지지 수단 (14) 이 슬라이드 기구 (8) 보다 전극체 (6) 의 4 모퉁이로부터 떨어진 위치에 장착되어 있다.

슬라이드 기구 (8) 는 전극측 지지체 (3) 의 후방 표면으로부터 돌출되는 봉상의 축부 (8a) 와, 전극체 (6) 에 고정되어 축부 (8a) 가 삽입되는 원통 형상의 베어링부 (8b) 를 구비하고 있다 (도 1 참조).

축부 (8a) 는 일단이 전극측 지지체 (3) 의 지지판 (17) 에 후측 방향에 고정되고, 타단은 후술하는 베어링부 (8b) 에 삽입 통과된다. 이 때, 축부 (8a) 는 축 방향이 지지판 (17) 의 후방 표면에 대해 직각이 되도록 고정된다.

베어링부 (8b) 는 전극체 (6) 에 형성된 관통공 (도시 생략) 에 끼워 넣어져 고정된다. 이 베어링부 (8b) 는 예를 들어 축 방향으로 나열한 복수의 볼베어링을 복수 조 내부에 구비하는 리니어 부시 등의 직동 베어링이며, 베어링의 내측의 형상에 따라 단면 형상이나 직경이 바람직하게 조정된 축부 (8a) 가 삽입되게 된다.

베어링부 (8b) 에 축부 (8a) 가 삽입 통과됨으로써, 축부 (8a) 는 양호한 정밀도로 (축 방향에 직각인 방향으로의 이동량이 적게) 축 방향으로 직선 운동 (슬라이딩) 할 수 있는 것이 된다.

슬라이드 기구 (8) 는 전극측 지지체 (3) 의 전극체 (6) 에 대한 선후 방향의 이동을 높은 정밀도로 실시하기 위해서 형성되어 있고, 전극 지지체 (3) 의 후방 표면과 전극체 (6) 의 전방 표면이 맞닿을 때에, 전극 안내공 (20) 내에 삽입 통과된 접촉자 (5) 의 후단 (5f) 과, 전극체 (6) 에 형성되는 전극 (7) 의 접촉면 (7a) 을 양호한 정밀도로 맞닿는 것을 가능하게 하고 있다.

이 때문에, 슬라이드 기구 (8) 를 장착할 때에는 후단 (5d) 과 접촉면 (7a) 이 바람직하게 접촉하도록 슬라이드 기구 (8) 를 장착하는 것이 된다.

상기 서술한 바와 같이 본 형태에서는 슬라이드 기구 (8) 가 전극체 (6) 에 장착되어, 전극측 지지체 (3) 와 전극체 (6) 가 전후 방향으로 양호한 정밀도로 이동하는 것을 가능하게 하고 있다. 이 때문에, 전극측 지지체 (3) 가 외력에 의해 전방으로 이동했을 때, 전극 (7) 의 접촉면 (7a) 과 전극측 지지체 (3) 에 삽입 통과되고 있는 접촉자 (5) 의 후단 (5f) 을 양호한 정밀도로 접촉시킬 수 있다.

탄성 지지 수단 (14) 은 전극체 (6) 의 전방 표면으로부터 돌출되어 전극측 지지체 (3) 에 맞닿는 맞닿음 부재 (43) 와, 맞닿음 부재 (43) 의 후단측이 수납되는 통 부재 (44) 와, 통 부재 (44) 에 대해 맞닿음 부재 (43) 를 앞으로 탄성 지지하는 탄성 지지부 (압축 코일 스프링 (45)) 와, 통 부재 (44) 에 맞닿음 부재 (43) 를 장착하기 위한 E 형 스냅 링 등의 스냅 링 (46) 을 구비하고 있다 (도 1 참조).

통 부재 (44) 는 전단측이 개구되는 바닥이 있는 원통형으로 형성되어 있고, 전극체 (6) 에 고정되어 있다. 또, 맞닿음 부재 (43) 는 원통 형상을 가지고 있고, 전측에 배치되는 원통부 (43a), 후측에 배치되고 원통부 (43a) 보다 직경이 작은 소직경부 (43b) 로 구성되어 있다.

원기둥부 (43a) 는 장축 방향에 직각인 평면을 단면에 갖는 원기둥상으로 형성되어 있다. 그 때문에, 맞닿음 부재 (43) 의 선단측은 지지판 (17) 의 후방 표면에 맞닿는 것이 된다.

소직경부 (43b) 의 외주측에는 압축 코일 스프링 (45) 이 삽입 통과되어 있다. 구체적으로는 원통부 (43a) 의 후단면 및 통 부재 (44) 의 바닥면에 압축 코일 스프링 (45) 의 단부의 각각이 맞닿은 상태에서 소직경부 (43b) 의 외주측에 압축 코일 스프링 (45) 이 삽입 통과되어 있다.

또, 소직경부 (43b) 의 후단측은 통 부재 (44) 의 바닥면에 형성된 관통공에 삽입 통과되어, 통 부재 (44) 의 바닥면보다 후측으로 돌출되어 있다. 소직경부 (43b) 의 후단에는 스냅 링 (46) 이 고정되어 있다.

상기 서술한 바와 같이 본 형태에서는 탄성 지지 수단 (14) 은 전극체 (6) 에 장착되고, 전극측 지지체 (3) 를 앞 방향을 향하여 탄성 지지하고 있다. 즉, 탄성 지지 수단 (14) 은 전극체 (6) 에 고정된 전극 (7) 의 접촉면 (7a) 과, 지주 (4) 를 개재하여 전극측 지지체 (3) 에 고정된 검사측 지지체 (2) 의 전방 표면 (즉, 대향면 (2a)) 이 멀어지는 방향으로, 검사측 지지체 (2), 전극측 지지체 (3) 및 지주 (4) 를 탄성 지지하고 있다.

규제 부재 (42) 는 도 1 에 나타내는 바와 같이, 전극측 지지체 (3) 의 전방 표면에 맞닿는 규제판 (47) 과, 규제판 (47) 이 고정되는 고정판 (48) 을 구비하고 있다.

고정판 (48) 은 지그 본체부 (40) 의 후방에 배치되고, 베이스판 (41) 에 고정되어 있다.

규제판 (47) 은 고정판 (48) 의 전단에 고정되어 있다.

본 형태에서는 비검사시에 있어서, 압축 코일 스프링 (45) 이 약간 휜 상태에서, 맞닿음 부재 (43) 가 전극측 지지체 (3) 의 후방 표면 (지지판 (17) 의 후방 표면) 에 맞닿고, 또, 전극측 지지체 (3) 의 전방 표면이 규제판 (47) 에 맞닿아 있다. 즉, 전극측 지지체 (3) 는 탄성 지지 수단 (14) 에 탄성 지지된 상태에서, 규제판 (47) 에 맞닿아 있다 (도 7 참조).

또, 이 상태에서는 전극측 지지체 (3) 와 전극 유지체 (6) 사이에는 약간의 간극이 형성되어 있다.

또한, 이 상태에서는 검사측 지지체 (2), 전극측 지지체 (3) 및 지주 (4) 는 전방으로 탄성 지지되어 있고, 접촉자 (5) 의 선단 (5e) 은 대향면 (2a) 으로부터 돌출되어 있지 않다 (도 7 참조). 즉, 이 상태에서는 접촉자 (5) 의 선단 (5e) 은 검사 안내공 (13) 내에 수납되어 있게 된다.

[검사 장치의 개요]

도 9 는 도 1 에 나타내는 검사 지그 (1) 를 탑재한 검사 장치 (30) 의 개략 구성도이다.

본 형태의 검사 지그 (1) 는 도 9 에 나타내는 바와 같이, 피검사물 (50) 의 전기적 검사 (구체적으로는 단선이나 단락 등의 검사) 를 실시하는 검사 장치 (30) 에 탑재되어 사용된다.

피검사물 (50) 에는 접촉자 (5) 의 선단 (5e) 이 접촉하는 검사점이 형성되어 있다. 또한, 피검사물 (50) 에는 예를 들어, 검사 후에 IC 등의 전자 부품이 재치된다. 또, 재치된 전자 부품은 예를 들어, 와이어 본딩에 의해 검사에서 이용된 검사점에 접합된다.

검사 장치 (30) 는 피검사물 (50) 의 도통 상태를 판정하는 검사 회로를 포함하는 전기적 검사 수단으로서의 제어부 (31) 와, 제어부 (31) 에 접속되는 구동부 (도시 생략) 와, 구동부에 의해 구동되는 검사 기구 (33) 를 구비하고 있다.

제어부 (31) 에는 검사 지그 (1) 의 전극 (7) 이 배선 (24) 을 통하여 도전 접속되어 있다.

검사 기구 (33) 는 검사 지그 (1) 가 고정되는 제 1 지지반 (34) 과, 제 1 지지반 (34) 에 대향 배치되고, 피검사물 (50) 이 고정되는 제 2 지지반 (35) 과, 제 1 지지반 (34) 을 전후 방향으로 이동시키는 이동 기구 (36) 를 구비하고 있다.

이동 기구 (36) 는 예를 들어, 볼 나사 기구나 유압 기구 등에 의해 구성되고, 구동부에 의해 구동된다.

본 형태에서는 제 2 지지반 (35) 은 피검사물 (50) 을 고정시키는 고정 수단이고, 이동 기구 (36) 는 피검사물 (50) 과 검사 지그 (1) 의 대향면 (2a) 이 가까워지는 방향으로 검사 지그 (1) 를 이동시키는 이동 수단으로 되어 있다.

또한, 이동 기구 (36) 는 제 2 지지반 (35) 을 선후 방향으로 이동시켜도 된다.

또, 제 1 지지반 (34) 은 도시를 생략하는 이동 기구에 의해 도 9 의 지면 수직 방향으로 이동 가능하게 구성되고, 제 2 지지반 (35) 은 도시를 생략하는 이동 기구에 의해 도 9 의 좌우 방향으로 이동 가능하게 구성되어도 된다.

[검사 대상의 검사 순서 및 검사시의 검사 지그의 움직임]

도 7 은 비검사시의 검사 지그의 상태를 나타내는 도면이고, 도 8 은 검사시의 검사 지그의 상태를 나타내는 도면이다. 본 형태의 검사 장치 (30) 는 검사 지그 (1) 의 대향면 (2a) 과 피검사물 (50) 을 맞닿게 하면서, 피검사물 (50) 의 전기적 검사를 실시한다. 구체적으로는 검사 장치 (30) 는 이하와 같이 검사를 실시한다.

먼저, 제 1 지지반 (34) 에 검사 지그 (1) 를 고정시키고, 제 2 지지반 (35) 에 피검사물 (50) 을 고정시킨다. 이 상태에서는 도 7 에 나타내는 바와 같이, 압축 코일 스프링 (45) 이 약간 휜 상태에서, 맞닿음 부재 (43) 가 전극측 지지체 (3) 의 후방 표면에 맞닿음과 함께, 규제판 (47) 에 전극측 지지체 (3) 의 전방 표면이 맞닿아 있다.

또, 전극측 지지체 (3) 의 후방 표면과 전극체 (6) 의 전방 표면 사이에는 약간의 간극이 형성되어 있다. 또한, 이 상태에서는 접촉자 (5) 의 선단 (5e) 은 대향면 (2a) 으로부터 돌출되어 있지 않고, 검사 안내공 (13) 내에 수납되어 있다.

또, 이 상태에서는 접촉자 (5) 의 후단 (5f) 은 전극 (7) 의 접촉면 (7a) 에 접촉되어 있다. 또한, 이 상태에서, 접촉자 (5) 의 후단 (5f) 이 접촉면 (7a) 으로부터 약간 떨어져 있어도 된다.

그 후, 제어부 (31) 의 제어 신호로 구동부가 이동 기구 (36) 를 구동시키면, 제 1 지지반 (34) 이 제 2 지지반 (35) 을 향하여 접근하고, 이윽고, 대향면 (2a) 이 피검사물 (50) 에 맞닿는다.

대향면 (2a) 이 피검사물 (50) 에 맞닿으면, 도 8 에 나타내는 바와 같이, 탄성 지지 수단 (14) 의 탄성 지지력에 저항하여, 검사측 지지체 (2), 전극측 지지체 (3) 및 지주 (4) 가 전극체 (6) 를 향하여 상대 이동한다. 즉, 접촉면 (7a) 과 대향면 (2a) 이 가까워지는 방향으로, 검사측 지지체 (2), 전극측 지지체 (3) 및 지주 (4) 가 전극체 (6) 에 대해 상대 이동한다. 또한, 이 때에는 전극측 지지체 (3) 의 전방 표면은 규제판 (47) 으로부터 떨어진 상태가 된다.

그러면, 접촉자 (5) 의 후단 (5f) 은 전극 (7) 에 의해 전방을 향하여 눌린다. 이 때 접촉자 (5) 의 선단 (5e) 은 피검사물 (50) 의 검사점에 맞닿아 있기 때문에, 검사측 지지체 (2) 와 전극측 지지체 (3) 사이에서 경사 자세에 있던 접촉자 (5) 의 중간 부분은 휜다 (굴곡된다).

전극측 지지체 (3) 의 후방 표면이 전극체 (6) 의 전방 표면에 맞닿을 때까지, 검사측 지지체 (2) 등이 전극체 (6) 에 대해 상대 이동하여, 접촉자 (5) 의 중간 부분의 휨량이 소정량이 되면, 검사 안내공 (13) 내에 수납되어 있던 접촉자 (5) 의 선단 (5e) 은 검사점에 대해 소정의 접촉압으로 접촉하게 된다.

이 때, 대향면과 검사점이 형성되는 면이 간극 없이 맞닿는 경우에는, 선단 (5e) 은 대향면으로부터 돌출되지 않지만, 약간의 간극이 있는 경우에는 간극분만큼 선단 (5e) 이 대향면으로부터 돌출하게 된다.

또한, 굴곡되는 접촉자 (5) 의 중간 부분의 휨 방향은 접촉자 (5) 의 경사 방향을 따른 방향으로 되어 있다.

또한 이 때, 슬라이드 기구 (8) 의 축부 (8a) 는 일단에 장착된 전극측 지지체 (3) 가 후방으로 이동하기 때문에, 베어링부 (3b) 로부터 후방으로 돌출되는 길이가, 전극측 지지체 (3) 의 이동량만큼 길어지게 된다.

그러면, 접촉자 (5) 의 선단 (5e) 이 피검사물 (50) 의 검사점에 소정의 접촉압으로 접촉했을 때, 접촉자 (5) 는 검사점에 도통한다. 이 상태에서, 제어부 (31) 가 검사 지그 (1) 에 대해 소정의 신호를 공급하거나 검사 지그 (1) 로 검출한 전위 등을 받거나 함으로써, 피검사물 (50) 의 전기적 시험을 실시한다.

또한, 도 8 에 나타내는 상태로부터, 제 1 지지반 (34) 이 제 2 지지반 (35) 으로부터 멀어지는 방향으로 이동해 가면 (즉, 피검사물 (50) 로부터 멀어지는 방향으로 대향면 (2a) 이 이동해 가면), 접촉자 (5) 의 중간 부분의 휨이 점차 해소되어, 검사 지그 (1) 는 도 7 에 나타내는 상태로 되돌아간다.

즉, 압축 코일 스프링 (45) 이 약간 휜 상태에서, 규제판 (47) 에 전극측 지지체 (3) 의 전방 표면이 맞닿고, 접촉자 (5) 의 선단 (5e) 은 검사 안내공 (13) 내에 수납된다. 또, 이 때에는 접촉자 (5) 의 후단 (5f) 은 전극 (7) 의 접촉면 (7a) 에 접촉하고 있다.

[본 형태의 효과]

이상 설명한 바와 같이, 본 형태에서는 접촉자 (5) 의 제 2 단부 (5d) 가 전극측 지지체 (3) 의 가장 후측의 지지판 (17) 에 형성되는 소직경공 (17b) 의 축 방향 길이보다 짧게 형성되어 있다.

이 때문에, 전극측 지지체 (3) 로 접촉자 (5) 의 후단측을 안정적으로 유지할 수 있기 때문에, 검사 지그를 조립할 때에는, 각 부재 (전극측 지지체 (3), 전극체 (6), 슬라이드 기구 (8) 등) 의 위치 결정이 용이해져, 후단 (5f) 이 양호한 정밀도로 전극 (7) 의 접촉면 (7a) 에 접촉하도록 할 수 있다.

또, 전극측 지지체 (3) 의 후방 표면과 전극체 (6) 의 전방 표면이 근접해 있는 검사시에는, 접촉자 (5) 의 후단 (5d) 은 전극 (7) 의 접촉면 (7a) 에 맞닿음과 함께 가압되고 있다. 이 때, 상기 서술한 바와 같이 접촉자 (5) 의 후단측은 전극측 지지체 (3) 에 의해 안정적으로 유지되고 있으므로, 검사를 실시할 때마다 후단 (5d) 과 접촉면 (7a) 이 접촉하는 위치가 변화하지 않기 때문에, 접촉자 (5) 의 접촉 저항값을 일정하게 유지할 수 있다. 이 때문에, 정확한 검사 결과를 얻을 수 있다.

또한, 검사 지그 (1) 및 검사 장치 (30) 의 검사시의 동작은 상기 서술한 바와 같지만, 실제 사용시에는 예를 들어, 피검사물 (50) 을 자동적으로 공급·반출하는 장치 (모두 도시 생략) 를 검사 장치 (30) 에 구비함으로써, 연속하여 피검사물의 검사를 실시하는 경우가 있다. 이 경우, 검사 지그 (1) 는 연속하여 상기 검사시의 동작을 실시하게 된다. 이 때, 상기 서술한 바와 같이 접촉자 (5) 의 후단측은 전극측 지지체 (3) 에 의해 안정적으로 유지되고 있으므로, 연속하여 검사가 실시되는 경우라도, 후단 (5f) 과 접촉면 (7a) 의 위치가 검사 동작마다 상대적으로 변화하지 않기 때문에, 후단 (5f) 이 접촉면 (7a) 을 스치는 것에 의한 접촉면 (7a) 의 마모를 방지할 수 있다.

또, 탄성 지지 기구 (14) 에 의해, 전극 (7) 에 형성되는 접촉면 (7a) 과 검사측 지지체 (2) 에 형성되는 대향면 (2a) 이 멀어지는 방향으로, 검사측 지지체 (2), 전극측 지지체 (3) 및 지주 (4) 가 탄성 지지되고 있다.

그 때문에, 피검사물 (50) 과 맞닿음면 (2a) 이 맞닿아 있지 않고, 검사 지그 (1) 에 외력이 작용하지 않을 때에는, 탄성 지지 수단 (14) 의 탄성 지지력에 의해, 검사측 지지체 (2), 전극측 지지체 (3) 및 지주 (4) 를 탄성 지지하여, 대향면 (2a) 으로부터 접촉자 (5) 의 선단 (5e) 이 돌출되지 않는 상태 (즉, 접촉자 (5) 의 선단 (5e) 이 검사 안내공 (13) 내에 배치되는 상태) 로 할 수 있다.

한편, 피검사물 (50) 의 검사시에는 대향면 (2a) 과 피검사물 (50) 을 맞닿게 함으로써, 탄성 지지 수단 (14) 의 탄성 지지력에 저항하여 접촉면 (7a) 과 대향면 (2a) 을 근접시킬 수 있다.

그 때문에, 검사시에는 검사 안내공 (13) 에 삽입 통과된 접촉자 (5) 의 선단 (5e) 을 대향면 (2a) 으로부터 약간 돌출시켜 피검사물 (50) 에 소정의 접촉압으로 접촉시킬 수 있다.

이와 같이, 본 형태에서는 피검사물 (50) 의 검사시에, 대향면 (2a) 을 피검사물 (50) 에 맞닿게 한 상태에서, 접촉자 (5) 의 선단 (5e) 을 피검사물 (50) 의 검사점에 소정의 접촉압으로 접촉시킬 수 있다.

그 때문에, 피검사물 (50) 의 검사점에 선단 (5e) 이 접촉한 상태에 있어서의 접촉자 (5) 의 선단 (5e) 의 어긋남량을 접촉자 (5) 의 제 1 단부 (5c) 와 검사 안내공 (13) 사이의 간극 정도로 억제할 수 있다. 즉, 검사점에 접촉한 상태에서의 접촉자 (5) 의 선단 (5e) 의 어긋남량을 미소하게 할 수 있고, 그 결과, 피검사물 (50) 의 검사점의 표면의 흠집 발생을 억제할 수 있다.

특히, 본 형태에서는 검사 안내공 (13) 은 피검사물 (50) 을 향하는 안내 방향을 갖고, 전극 안내공 (20) 은 선단측 삽입 통과공 (20) 의 프로브 안내 방향에 대해 경사지는 안내 방향을 갖고, 접촉자 (5) 의 제 1 단부 (5c) 는 접촉자 (5) 의 제 2 단부 (5d) 에 대해 전극 안내공 (20) 의 안내 방향으로 경사지는 측으로 어긋난 위치에 배치되어 있다.

따라서, 피검사물 (50) 의 검사시에, 검사측 지지체 (2) 와 전극측 지지체 (3) 의 간극에 배치되는 접촉자 (5) 의 중간 부분이 굴곡되기 때문에, 피검사물 (50) 의 검사점에 접촉한 상태에서 접촉자 (5) 의 선단 (5e) 이 어긋나기 쉬워지지만, 본 형태의 구성을 채용함으로써, 검사점에 접촉한 상태에서의 접촉자 (5) 의 선단 (5e) 의 어긋남량을 미소하게 할 수 있다.

본 형태에서는, 탄성 지지 수단 (14) 은 전극체 (6) 에 장착되어 전극측 지지체 (3) 를 탄성 지지하고 있다. 그 때문에, 대향면 (2a) 이 피검사물 (50) 에 맞닿았을 때 (즉, 검사시) 에는, 서로 고정된 검사측 지지체 (2), 전극측 지지체 (3) 및 연결체 (4) 를 일체로 전극체 (6) 에 대해 상대 이동시킬 수 있어, 복수의 접촉자 (5) 의 선단 (5e) 을 확실하게 피검사물 (50) 의 검사점에 접촉시키는 것이 가능하게 된다.

즉, 서로 고정된 검사측 지지체 (2), 전극측 지지체 (3) 및 연결체 (4) 는 비교적 강성이 높아, 전극체 (6) 에 대해 상대 이동해도 변형되기 어렵기 때문에, 대향면 (2a) 으로부터의 복수의 접촉자 (5) 의 선단 (5e) 의 돌출량을 거의 균등하게 하는 것이 가능하게 되어, 복수의 접촉자 (5) 의 선단 (5e) 을 확실하게 피검사물 (50) 의 검사점에 접촉시키는 것이 가능하게 된다.

본 형태에서는, 탄성 지지 수단 (14) 은 전극측 지지체 (3) 의 후방 표면에 선단이 맞닿는 맞닿음 부재 (43) 를 갖고, 맞닿음 부재 (43) 의 원기둥부 (43a) 선단은 전극측 지지체 (3) 의 후방 표면과 평행한 평면을 갖도록 형성되어 있다. 그 때문에, 맞닿음 부재 (43) 가 맞닿는 전극측 지지체 (3) 의 후방 표면의 지점은 마모되는 경우가 없고, 탄성 지지 수단 (14) 에 의한 탄성 지지력의 변화도 없기 때문에, 복수 있는 탄성 지지 수단 (14) 은 균일한 탄성 지지력을 유지한 채로 검사를 실시할 수 있다.

본 형태에서는, 검사 지그 (1) 는 전극측 지지체 (3) 의 전방 표면에 맞닿아, 전방을 향하는 전극측 지지체 (3) 의 움직임을 규제하는 규제 부재 (42) 를 구비하고 있다.

그 때문에, 전후 방향에 있어서, 검사 지그 (1) 에 외력이 작용하지 않을 때의 검사측 지지체 (2), 전극측 지지체 (3) 및 연결체 (4) 의 위치 결정을 실시할 수 있다.

[다른 실시형태]

상기 서술한 형태는 본 발명의 바람직한 형태의 일례이지만, 이것에 한정되는 것은 아니고 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에 있어서 여러 가지로 변형 가능하다.

상기 서술한 형태에서는 접촉자 (5) 의 후단 (5f) 이 접촉하는 전극 (7) 의 접촉면 (7a) 은 평면상으로 형성되어 있는데, 이 형상에 한정되지 않는다. 예를 들어 접촉면 (7a) 을 평면상으로 형성한 후 접촉면 (7a) 상에 도금 등을 실시하여 볼록한 형상으로 형성해도 된다.

상기 서술한 형태에서는 접촉자 (5) 는 도시한 바와 같이 구면상으로 형성되어 있는 선단 (5e) 이나 후단 (5f) 을 가지고 있다.

이 밖에도 예를 들어, 선단 (5e) 이나 후단 (5f) 은 선단을 향하여 경사면을 갖도록 원추상으로 형성되어 있어도 되고, 접촉자 (5) 의 장축 방향에 대해 직각인 평면상으로 형성되어 있어도 된다.

상기 서술한 형태에서는 접촉자 (5) 는 검사측 지지체 (2) 와 전극측 지지체 (3) 사이의 중간 부분이 경사지도록, 검사측 지지체 (2) 및 전극측 지지체 (3) 에 삽입 통과되고 있지만, 접촉자 (5) 는 중간 부분이 경사지지 않게 검사측 지지체 (2) 및 전극측 지지체 (3) 에 삽입 통과되어도 된다.

상기 서술한 형태에서는 탄성 지지 수단 (14) 은 맞닿음 부재 (43a) 의 선단이, 전극측 지지체 (3) 후방 표면과 평행한 평면을 갖도록 형성되어 있다.

그 밖에도 예를 들어, 맞닿음 부재 (43a) 의 선단 형상은 평면보다 약간 둥그스름한 부분을 띤 형상으로 형성해도 된다.

상기 서술한 형태에서는 탄성 지지 수단 (14) 은 탄성 지지 부재로서의 압축 코일 스프링 (45) 에 의해 탄성 지지력을 발생시키고 있다.

이 밖에도 예를 들어, 탄성 지지 수단 (14) 은 인장 코일 스프링 혹은 판 스프링 등의 다른 스프링 부재나, 고무 등의 탄성 부재 등을 탄성 지지 부재로 하여 탄성 지지력을 발생시켜도 된다.

상기 서술한 형태에서는 검사 지그 (1) 는 전극측 지지체 (3) 의 전방 표면에 맞닿아 전극측 지지체 (3) 등의 앞으로의 움직임을 규제하는 규제 부재 (42) 를 구비하고 있다.

이 밖에도 예를 들어, 검사 지그 (1) 는 검사측 지지체 (2) 의 대향면 (2a) 에 맞닿아 검사측 지지체 (2) 의 앞으로의 움직임을 규제하는 규제 부재를 구비하고 있어도 된다.

또, 검사 지그 (1) 는 전극측 지지체 (3) 등의 앞으로의 움직임을 규제하는 규제 부재를 구비하고 있지 않아도 된다. 이 경우에는 전극측 지지체 (3) 등의 앞으로의 빠짐을 방지하는 빠짐 방지 부재가 형성되어 있는 것이 바람직하다.

상기 서술한 형태에서는 3 장의 지지판 (10 ∼ 12) 에 의해 검사측 지지체 (2) 가 구성되어 있다.

이 밖에도 예를 들어, 2 장 이하 혹은 4 장 이상의 지지판으로 검사측 지지체 (2) 가 구성되어도 된다.

동일하게, 상기 서술한 형태에서는 3 장의 지지판 (15 ∼ 17) 에 의해 전극측 지지체 (3) 가 구성되어 있는데, 2 장 이하 혹은 4 장 이상의 지지판으로 전극측 지지체 (3) 가 구성되어도 된다.

또, 상기 서술한 형태에서는 전극측 지지체 (3) 의 지지판 (17) 으로부터 후방으로 연장 돌출되는 가이드 기구의 축부 (8a) 가 지지판 (17) 에 고정되어 있는데, 축부 (8a) 를 지지판 (17) 으로부터 자유롭게 분리하도록 구성해도 된다.

다음으로, 도 10a, 10b, 10c, 11 및 12 에 기초하여, 다른 실시형태에 관련된 검사 지그에 대해 설명한다.

도 1 내지 도 9 에 나타내는 실시형태에서는 슬라이드 기구 (8) 의 축부 (8a) 의 선방의 단부가, 전극측 지지체 (3) 의 지지판 (17) 에 고정되고, 또한 탄성 지지 수단 (14) 의 원통부 (43a) 가 전극체 (6) 의 관통공을 관통하여 전극측 지지체 (3) 의 지지판 (17) 의 후방의 면을 검사측 지지체 (2) 를 향하여 탄성 지지하고 있었다. 도 10a, 10b, 10c, 11 및 12 에 나타내는 실시형태에서는, 상세하게는 후술하는 바와 같이, 슬라이드 기구 (8) 의 축부 (8a) 의 선방의 단부는 전극체 (6) 의 지지판 (22) 의 일부의 가동 플레이트 (22b) 에 고정되고, 탄성 지지 수단 (14) 의 원통부 (43a) 는 전극체 (6) 의 지지판 (22) 의 일부의 가동 플레이트 (22b) 의 후방의 면을 검사측 지지체 (2) 를 향하여 탄성 지지한다.

도 10a 는 제 2 실시형태에 관련된 전극체 (6) 의 평면도이고, 도 10b 및 도 10c 는 도 10a 에 나타내는 전극체 (6) 의 정면도이다. 제 1 실시형태와 마찬가지로, 제 2 실시형태에서도, 전극체 (6) 는 지지판 (22, 23) 과 지지 부재 (25) 로 이루어진다. 단, 제 2 실시형태에서는 지지판 (22) 에 상당하는 것을, 전극 (7) 의 접촉면 (7a) 이 고정된 중앙의 전극 플레이트 (22a) 와 그 주위에 배치된 가동 플레이트 (22b) 로 구성한다. 전극 플레이트 (22a) 는 지지판 (23) 에 고정되어 있지만, 가동 플레이트 (22b) 는 지지판 (23) 으로부터 떨어지도록 탄성 지지된다. 요컨대, 도 10b 및 도 10c 에 나타내는 바와 같이, 가동 플레이트 (22b) 는 검사 지그의 전후 방향으로 이동할 수 있다.

또, 도 10a 에 나타내는 바와 같이, 가동 플레이트 (22b) 의 선방의 면 상의 4 모퉁이 가까이에는 소돌기부 (52a) 가 형성되어 있고, 또 도 10a 를 향하여 우측 종 방향의 2 개의 소돌기 사이에 대돌기 (52b) 가 형성되어 있다. 이들 돌기는 가동 플레이트 (22b) 가 지지판 (17) 에 맞닿은 상태에서 지지판 (17) 에 형성된 오목부 (도시 생략) 에 비집고 들어가 있고, 가동 플레이트 (22b) 와 지지판 (17) 의 위치 결정을 실시한다.

또, 도 10a 에 나타내는 바와 같이, 전극 플레이트 (22a) 상의 4 모퉁이 가까이에는 4 개의 탄성 지지 수단 (26) 이 형성되어 있다. 이들 탄성 지지 수단은, 도시하지 않지만, 탄성 지지 수단 (14) 과 마찬가지로, 원통부와 원기둥부를 구비하고 있고, 원통부가 지지 부재 (25) 내에 고정되고 있으며, 원기둥부가 지지판 (17) 의 후방의 면에 맞닿는다. 탄성 지지 수단 (43a) 은 가동 플레이트 (22b) 와 함께 지지판 (17) 에 탄성 지지력을 부여하기 때문에, 그에 따른 탄성 지지력은 전극 플레이트 (22a) 의 영역에 면하는 지지판 (17) 에는 작용하지 않는다. 이 결과, 탄성 지지 수단 (43a) 의 탄성 지지력만으로는 지지판이 휠 가능성이 있다. 이 때문에, 탄성 지지 수단 (26) 에 의해, 전극이 형성되어 있는 전극 플레이트 (22a) 의 영역에 면하는 지지판 (17) 에 탄성 지지력을 부여하도록 하고, 이로써, 지지판에 비교적 분산하여 균일한 탄성 지지력을 가할 수 있도록 하였다.

도 11 은 제 2 실시형태에 관련된 전극체를 구비하는 검사 지그의 일부 확대 단면도이며, 비검사시의 검사 지그의 상태를 나타낸다. 이 도면에 나타내는 바와 같이, 가동 플레이트 (22b) 는 지지판 (23) 으로부터 떨어진 위치에 유지되어 있다.

도 11 에 나타내는 바와 같이, 슬라이드 기구 (8) 의 베어링부 (8b) 가, 전극체 (6) 의 지지판 (23) 및 지지 부재 (25) 에 형성한 관통공에 끼워 넣어져 고정되고, 슬라이드 기구 (8) 의 축부 (8a) 의 선단부가, 가동 플레이트 (22b) 에 형성된 관통공 (22b) 에 끼워 넣어져 고정되어 있다. 이로써, 가동 플레이트 (22b) 가 축부 (8a) 의 축선 방향을 따라 평행 이동을 할 수 있다.

또, 탄성 지지 수단 (14) 의 통 부재 (44) 가, 지지 부재 (25) 에 형성한 관통공에 끼워 넣어져 고정되어 있고, 또, 탄성 지지 수단 (14) 의 원통부 (43a) 의 선방의 단부가 지지판 (23) 의 관통공을 관통하고, 그 선단면이 가동 플레이트 (22b) 의 후방면에 맞닿아 가동 플레이트 (22b) 를 선방으로 탄성 지지하고 있다.

도 10a 에 나타내는 바와 같이, 가동 플레이트 (22b) 의 관통공 (22bh) 에 슬라이드 기구 (8) 의 축부 (8a) 가 고정되고, 또한 가동 플레이트 (22b) 의 후방면의 부호 43a 로 나타내는 위치에 탄성 지지 수단 (14) 의 원기둥부 (43a) 의 선단부가 맞닿는다. 즉, 슬라이드 기구 (8) 및 탄성 지지 수단 (14) 가 가동 플레이트 (22b) 에 작용하도록 배치되어 있다. 이들 위치는 제 1 실시예에 있어서 전극체 (6) 의 지지판 (22) 을 관통하고 있는 슬라이드 기구 (8) 의 축부 (8a) 및 탄성 지지 수단 (14) 의 원기둥부 (43a) 의 위치와 동일하다.

다시 도 11 을 참조하면, 이 도면에 나타내는 상태에서는, 전극체 (6) 의 지지판 (22b) 의 후방면에 탄성 지지 수단 (14) 의 원기둥부 (43a) 의 선단면이 맞닿아, 가동 플레이트 (22b) 및 전극측 지지체 (3) 가 규제판 (47) 을 향하여 탄성 지지되어 있다. 가동 플레이트 (22b) 와 지지판 (23) 사이에는 약간의 간극이 형성되어 있다.

다음으로, 검사시에, 검사 지그 (1) (도 1) 가 피검사물 (50) 을 향하여 움직여, 검사측 지지체 (2) 의 대향면 (2a) 이 피검사물 (50) 에 맞닿으면 전극측 지지체 (3) 가 후방으로 되밀려 규제판 (47) 으로부터 멀어진다. 그에 따라, 가동 플레이트 (22b) 가, 탄성 지지 수단 (14) 의 압축 코일 스프링 (45) 의 탄성 지지력에 저항하여 원기둥부 (43a) 를 지지 부재 (25) 의 원통부 (44) 내로 압하하고, 그것과 함께 슬라이드 기구 (8) 의 축부 (8a) 의 축선 방향을 따라 가동 플레이트 (22b) 가 하강한다. 도 12 에 나타내는 바와 같이, 가동 플레이트 (22b) 가 정지했을 때에는 가동 플레이트 (22b) 와 지지판 (23) 사이에는 간극이 있다. 이로써, 접촉자의 후단부와 전극의 접촉이 확실해지기 전에 가동 플레이트 (22b) 가 지지판 (23) 에 맞닿아 하강이 정지하는 것을 방지할 수 있다. 또, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 전극측 지지체 (3) 의 지지판 (17) 의 표면은 가동 플레이트 (22b) 및 전극 플레이트 (22a) 를 합친 면과 동일한 형상이 되므로, 지지판 (17) 에 의해 가동 플레이트 (22b) 및 전극 플레이트 (22a) 의 전체면을 누르게 된다. 요컨대, 가동 플레이트 (22b) 가 정지했을 때에는 가동 플레이트 (22b) 의 선방의 면과 전극 플레이트 (22a) 의 선방의 면은, 동일 평면에 배치되어 있게 된다. 이로써도, 접촉자의 후단부와 전극의 접촉이 확실해지는 것을 보증할 수 있다. 또한, 이 경우에는 규제판 (47) 의 후방면과 전극측 지지체 (3) 의 지지판 (15) 의 선방면 사이에 간극이 형성되어 있다.

검사시의 프로브의 작용은 제 1 실시형태와 동일하다.

접촉자를 교환할 때에는 검사 지그 (1) 로부터 지그 본체부 (40) 를 떼어내고, 전극측 지지체 (3) 의 지지판 (17) 의 후방면으로부터 접촉자의 분리 및 장착을 실시한다. 그 때, 제 1 실시형태에서는 4 개의 슬라이드 기구 (8) 의 축부 (8a) 가 전극측 지지체 (3) 의 지지판 (17) 의 후방면에 고정되어 있고, 또, 그들의 4 개의 축부 (8a) 가, 접촉자의 제 2 단부 (5d) 가 장착된 전극 안내공 (20) 이 형성되어 있는 부분의 4 모퉁이를 둘러싸고 있다. 특히, 최근의 검사 대상의 미세화에 수반하여 검사 지그의 지그 본체부 (40) 가 소형화되고, 그 결과, 지지판 (17) 상에 고정된 4 개의 축부 (8a) 의 간격이 협소화되어 있는 경우에는, 접촉자로 액세스하는 것이 곤란해진다. 또, 미세화가 진행됨으로써, 지그 본체부 (40) 에 사용되는 지지판도 얇은 것이 사용되는 것이 된다. 이 때문에, 이와 같은 얇은 지지판이면, 가공이 어려워지거나, 복수의 구멍을 형성함으로써 지지판 자체의 강도가 저하되거나 하는 문제를 가지고 있다.

그러나, 제 2 실시형태에서는 슬라이드 기구 (8) 의 축부 (8a) 는 가동 플레이트 (22b) 에 고정되어 있고, 전극측 지지체 (3) 의 지지판 (17) 에 고정되어 있지 않기 때문에, 축부 (8a) 가 작업을 저해하는 경우가 없고, 또, 지지체 (17) 자체의 강도가 저하되어 만곡되거나 하는 경우가 없기 때문에, 소형화된 지그 본체부 (40) 라도, 접촉자의 교환 등의 메인터넌스를 용이하게 실시할 수 있다.

상기의 제 2 실시형태에서는 전극체 (6) 를 전극 플레이트 (22a) 및 가동 플레이트 (22b) 로 구성하였다. 그것 대신에, 전극체 (6) 는 제 1 실시형태의 경우와 마찬가지로 일체의 것을 사용하고, 전극측 지지체 (3) 의 지지판 (17) 과 전극체 (6) 의 지지판 (22) 사이에, 별도로 자유롭게 이동할 수 있는 사각형의 플레이트를 개재 장착하여, 그 플레이트에 슬라이드 기구 (8) 의 축부 (8a) 의 선단을 고정시킴과 함께, 탄성 지지 수단 (14) 의 원기둥부 (43a) 의 선단면을 그 플레이트의 후방면에 맞닿게 하여 플레이트를 전극측 지지체 (3) 의 지지판 (17) 에 탄성 지지하도록 구성해도 된다. 단, 플레이트에는 전극측 지지체 (3) 로부터 돌출되는 접촉자의 단부가 전극체 (6) 의 전극과 접촉할 수 있는 구성으로 형성되어 있을 필요가 있다. 예를 들어, 그러한 접촉 위치에 대응하는 플레이트의 부분에 노치를 형성하거나, 그 부분에 도전 가능한 구성을 형성하거나 하는 경우가 있다. 이 실시형태의 경우도, 제 2 실시형태와 마찬가지로, 슬라이드 기구 (8) 의 축부 (8a) 는 가동 플레이트 (22b) 에 고정되고 있고, 전극측 지지체 (3) 의 지지판 (17) 에 고정되어 있지 않기 때문에, 전극측 지지체 (3) 의 접촉자가 형성되어 있는 영역에 있어서의 접촉자의 교환 등의 메인터넌스를 용이하게 실시할 수 있다.

가동 플레이트는 비검사시에 전극측 지지체 (3) 를 검사측 지지체 (2) 측을 향하여 탄성 지지할 수 있고, 검사시에 전극측 지지체 (3) 및 검사측 지지체 (2) 를 평행하게 유지한 상태에서 후퇴할 수 있는 것이면 어떠한 것이어도 되는데, 전극측 지지체 (3) 의 접촉자의 후단부가 배치되어 있는 영역의 주변에는 전극측 지지체 (3) 를 이동시키기 위한 부재는 고정시키지 않는다.

이상, 본 발명에 관련된 몇 개의 실시형태에 관련된 검사 지그에 대해 설명했는데, 본 발명은 그들의 실시형태에 구속되는 것은 아니고, 당업자가 용이하게 할 수 있는 추가, 삭제, 개변 등은 본 발명에 포함되는 것이고, 또한 본 발명의 기술적 범위는 첨부하는 특허 청구의 범위의 기재에 의해 결정되는 것을 알기 바란다.

1 : 검사 지그
2 : 검사측 지지체
2a : 대향면
3 : 전극측 지지체
3a : 삽입공
4 : 지주
5 : 접촉자
5a : 도체부
5b : 절연부
5c : 제 1 단부
5d : 제 2 단부
5e : 선단
5f : 후단
5g : 선단 가장자리
5h : 후단 가장자리
7 : 전극
7a : 접촉면
8 : 슬라이드 기구
8a : 축부
13 : 검사 안내공
14 : 탄성 지지 수단
20 : 전극 안내공
22a : 전극 플레이트
22b : 가동 플레이트
30 : 검사 장치
31 : 제어부 (전기적 검사 수단)
35 : 제 2 지지반 (고정 수단)
36 : 이동 기구 (이동 수단)
42 : 규제 부재
43 : 맞닿음 부재
43a : 원기둥부
45 : 압축 코일 스프링 (탄성 지지 부재)
50 : 검사 대상

Claims (6)

1. 검사 기판에 형성되는 배선의 검사를 실시하기 위해서, 상기 검사 기판에 형성되는 검사점과 상기 검사 기판을 검사하는 검사 장치를 전기적으로 접속하기 위한 검사 지그로서,
   일단이 상기 검사점과 도통 접촉함과 함께, 타단이 상기 검사 장치와 전기적으로 접속되는 전극부와 도통 접촉하는 가요성 또한 도전성의 접촉자와,
   상기 접촉자의 일단을 상기 검사점으로 안내하는 검사 안내공을 갖는 검사측 지지체와,
   상기 접촉자의 타단을 상기 전극으로 안내하는 전극 안내공을 갖는 전극측 지지체와,
   상기 검사측 지지체와 상기 전극측 지지체를, 소정 간격을 갖고 배치하여 유지하는 지주와,
   상기 전극이 복수 배치됨과 함께, 비검사시에 있어서, 상기 전극측 지지체를 소정 거리 이간시켜 유지하는 탄성 지지 수단을 갖는 전극체를 갖고,
   상기 접촉자는,
   상기 검사점과 접촉하는 제 1 단부와 상기 전극부와 접촉하는 제 2 단부를 가짐과 함께 가요성을 갖는 봉상의 도전성의 도체부와,
   상기 제 1 단부와 제 2 단부를 제외한 상기 도체부의 외주에 절연 피막되는 절연부를 갖고,
   상기 제 2 단부의 길이는 상기 전극체에 맞닿는 상기 전극 안내공의 깊이보다 짧게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 검사 지그.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 전극측 지지체는 상기 전극체를 향하여 연장 돌출되는 축부를 갖고,
   상기 전극체는 상기 축부를 슬라이딩 가능하게 삽입 유지하는 베어링부를 갖는 것을 특징으로 하는 검사 지그.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
   상기 탄성 지지 수단은,
   상기 전극측 지지체의 표면에 맞닿는 맞닿음면을 갖는 맞닿음 부재와,
   상기 맞닿음 부재를 상기 전극측 지지체에 탄성 지지하는 탄성 지지부를 갖는 것을 특징으로 하는 검사 지그.
4. 제 1 항에 있어서,
   상기 검사 지그에 형성되는 상기 탄성 지지 수단의 가압력은, 상기 검사 지그에 형성되는 상기 접촉자의 가압력보다 큰 것을 특징으로 하는 검사 지그.
5. 제 1 항에 있어서,
   추가로 상기 전극측 지지체와 상기 전극체 사이에 가동 플레이트를 갖고, 상기 탄성 지지 수단이, 상기 가동 플레이트와 함께 상기 전극측 지지체를 상기 검사측 지지체 측에 탄성 지지하는 탄성 지지부를 갖는 것을 특징으로 하는 검사 지그.
6. 제 1 항에 있어서,
   추가로 상기 전극체의 주위에 가동 플레이트를 갖고, 상기 탄성 지지 수단이, 상기 가동 플레이트와 함께 상기 전극측 지지체를 상기 검사측 지지체 측에 탄성 지지하는 탄성 지지부를 갖는 것을 특징으로 하는 검사 지그.

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