JPS6011077U - 探針装置 - Google Patents

探針装置

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Publication number
JPS6011077U
JPS6011077U JP10370983U JP10370983U JPS6011077U JP S6011077 U JPS6011077 U JP S6011077U JP 10370983 U JP10370983 U JP 10370983U JP 10370983 U JP10370983 U JP 10370983U JP S6011077 U JPS6011077 U JP S6011077U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
probe device
coaxial
wavelength
measurement
electrically connected
Prior art date
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Pending
Application number
JP10370983U
Other languages
English (en)
Inventor
古塚 岐
Original Assignee
日本電気株式会社
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Publication date
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Publication of JPS6011077U publication Critical patent/JPS6011077U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は従来の探針装置の斜視図、第2図は本考案の一
実施例を示す探針装置の斜視図である。 11〜・・・絶縁体基板、121,122・・・・・・
導体パターン、21・・・・・・同軸線路、21a・・
・・・・外導体、311.312,313・・・・・・
金属針、4゛1・・・・・・同軸接栓、51・・・・・
・端子、611・・・・・・接地連結線、612・・・
・・・接地線。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 同軸線路の一端に同軸接栓が、他端の中心導体に金属針
    がそれぞれ装着された同軸型探針を複数個備える高周波
    測定用探針装置において、金属針が接着された側の各同
    軸線路の端部外導体同士を測定高周波の波長の178以
    下の長さの接地連結線で互いに電気的に接続し、被測定
    物の接地端子に接触させる接地用探針と、前記接地連結
    線とを測定高周波の波長の178以下の長さの接地線で
    電気的に接続したことを特徴とする探針装置。
JP10370983U 1983-07-04 1983-07-04 探針装置 Pending JPS6011077U (ja)

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JP10370983U JPS6011077U (ja) 1983-07-04 1983-07-04 探針装置

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JPS6011077U true JPS6011077U (ja) 1985-01-25

Family

ID=30243834

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JP (1) JPS6011077U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03117769U (ja) * 1990-03-19 1991-12-05
JP2006010559A (ja) * 2004-06-28 2006-01-12 Nidec-Read Corp プローブ装置及び基板検査装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03117769U (ja) * 1990-03-19 1991-12-05
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