JPS60118765U - プロ−ブカ−ド - Google Patents

プロ−ブカ−ド

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Publication number
JPS60118765U
JPS60118765U JP690284U JP690284U JPS60118765U JP S60118765 U JPS60118765 U JP S60118765U JP 690284 U JP690284 U JP 690284U JP 690284 U JP690284 U JP 690284U JP S60118765 U JPS60118765 U JP S60118765U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
probe card
core wire
coaxial cable
needle
integrated circuit
Prior art date
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Granted
Application number
JP690284U
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English (en)
Other versions
JPH0217342Y2 (ja
Inventor
昌男 大久保
吉光　康良
Original Assignee
日本電子材料株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 日本電子材料株式会社 filed Critical 日本電子材料株式会社
Priority to JP690284U priority Critical patent/JPS60118765U/ja
Publication of JPS60118765U publication Critical patent/JPS60118765U/ja
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Publication of JPH0217342Y2 publication Critical patent/JPH0217342Y2/ja
Granted legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１３図は従来のプローブカードを示す断面側面図、第
２図は本考案の一実施例をしめず要部断面側面図、第３
図は同軸ケーブルの探針側の断面拡大図である。 １０・・・プローブカード本体、１１・・・中央開口部
、２２・・・同軸ケーブル、２３・・・芯線、２９・・
・探針。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 集積回路と測定装置とを電気的に接続する複数本の同軸
    ケーブルと、プローブカード本体の中央開口部に放射状
    に配設された複数本の探針とを具備するプローブカード
    に於いて、前記探針が同軸ケーブルの芯線でもって形成
    されたことを特徴とするプローブカード。
JP690284U 1984-01-20 1984-01-20 プロ−ブカ−ド Granted JPS60118765U (ja)

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JP690284U JPS60118765U (ja) 1984-01-20 1984-01-20 プロ−ブカ−ド

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JP690284U JPS60118765U (ja) 1984-01-20 1984-01-20 プロ−ブカ−ド

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS60118765U true JPS60118765U (ja) 1985-08-10
JPH0217342Y2 JPH0217342Y2 (ja) 1990-05-15

Family

ID=30484769

Family Applications (1)

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JP690284U Granted JPS60118765U (ja) 1984-01-20 1984-01-20 プロ−ブカ−ド

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JP (1) JPS60118765U (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6439742A (en) * 1987-08-06 1989-02-10 Tokyo Electron Ltd Probe card
JP2014052329A (ja) * 2012-09-10 2014-03-20 Hioki Ee Corp 電圧測定用センサおよび電圧測定装置
JP2014074716A (ja) * 2012-10-03 2014-04-24 Corrado Technology Inc プローブカード用ファインピッチインターフェース

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5853762A (ja) * 1981-09-28 1983-03-30 Seiichiro Sogo テストプロ−ブ組立体

Patent Citations (1)

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JPH0217342Y2 (ja) 1990-05-15

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