JPH0217342Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 (イ) 産業上の利用分野 本考案は、半導体ウエハに形成された多数の集
積回路の電気的特性を測定するために使用される
プローブカードに関する。

(ロ) 従来技術 一般に半導体ウエハに形成された多数の集積回
路の電気的特性をそれぞれ測定する場合、集積回
路の１単位に相当する半導体ウエハ面上の１個の
ます目、即ちチツプ内の電極に対応して配置され
る探針を有するプローブカードが用いられてい
る。例えば、第１図に示すように、矩形又は円形
のプリント配線基板１には中央に開口部２が開設
されると共に、開口部２の裏面側には嵌合部３が
形成され、この嵌合部３にリング状のベース部材
４が嵌着されている。そして、ベース部材４の傾
斜面には複数本の探針５が放射状に配置され、絶
縁性合成樹脂６にて固着されている。さらに、プ
リント配線基板１の表裏面には、ベース部材４近
傍から外方向にプリント配線７が放射状に配設さ
れ、かつこのプリント配線７のベース部材４側の
一端に前記探針５が半田付けにて接続されて、プ
ローブカードが構成されている。なお、図例では
表面側に配設されたプリント配線７は省略した。

そして、図外のプローバとよばれる測定装置に
このプローブカードを接続し、前記探針５を半導
体チツプの所定電極上に接触させた状態で測定に
供せられる。従来、この種のプローブカードは、
10MHz以下の信号測定に用いられている。

ところが、近時、例えば10MHz以上の超高周波
電流で作動する半導体装置の出現により、超高周
波電流による測定を行う必要があるが、この場
合、探針５とプリント配線７との接続部８がある
ためにインピーダンスの均等性が悪い。そのため
信号の反射が起こり、測定値の信頼性が低下する
という問題があつた。

(ハ) 目的 本考案はこのような問題点を解決し、インピー
ダンス均等性の確保が可能で、信頼性の高い超高
周波特性の測定が行い得るプローブカードを提供
することを目的とする。

(ニ) 構成 本願考案は集積回路と測定装置とを電気的に接
続する複数本の同軸ケーブルと、プローブカード
本体の中央開口部に放射状に配設された複数本の
探針とを具備するプローブカードにおいて、前記
プローブカード本体は上下２枚の銅張積層板と、
銅張積層板の開口内周部及び外周部の上下を相互
に連結固定した側板とによつて中空部を形成した
ものであり、前記探針が同軸ケーブルの芯線でも
つて形成されるとともに、同軸ケーブルは前記中
空部に絶縁性充填材により埋設固定されており、
且つ同軸ケーブルの探針の反対側は同軸ケーブル
用のターミナルに接続されていることを特徴とし
ている。

(ホ) 実施例 第２図は本考案に係るプローブカードの一実施
例を示す要部断面側面図、第３図は同軸ケーブル
の探針側の断面拡大図である。第２図に於いて、
１０はドーナツ状又は角形をした偏平箱体のプロ
ーブカード本体であり、中央に開口部１１が開設
されている。このプローブカード本体１０は、例
えばガラスエポキシ基板１２に銅箔１３を積層形
成した中央開口部を有する上下２枚の銅張積層板
１４，１４と、この銅張積層板１４，１４の開口
内周部及び外周部の上下を相互に連結固着した側
板１５及び１６とによつて形成される。角形のプ
ローブカード本体の場合には図示省略した前記以
外の側板がさらに加えられて形成される。これら
側板にも前記同様の銅張積層板が用いられる。

１７は前記プローブカード本体１０の下面内周
縁部に沿つて嵌着されたリング状のベース部材１
７であり、このベース部材１７近傍の円周上には
所定間隔をもつて複数のスルーホール１８が穿設
されると共に、外周縁部近傍にもこのスルーホー
ル１８に対応してスルーホール１９が穿設されて
いる。また、外周部側の側板１６にも複数のスル
ーホール２０及び２１が穿設される。

しかして、２２は複数本の同軸ケーブルであ
り、半導体ウエハに形成された多数の集積回路、
詳しくは集積回路の電極と、図外のプローバと呼
ばれる測定装置とに電気的に接続される。この同
軸ケーブル２２は第３図に拡大して示すように、
タングステン、パラジウム合金等の弾性及び耐熱
性の優れた金属からなる芯線２３と、この芯線２
３を被覆する四ふつ化エチレン樹脂（商品名 テ
フロン）またはポリエチレン等を材質とした絶縁
層２４と、銅線を編成した金属網体あるいは金属
箔テープでもつて絶縁層２４を被覆したシールド
層２５と、シールド層２５を被覆するポリエチレ
ン樹脂からなる外被層２６とから重層形成され
る。そして、同軸ケーブル２２の一端側はシール
ド層２５が露呈され、この露呈部の大半を前記ス
ルーホール１８から絶縁スリーブ３１を介して外
部に突出するように、同軸ケーブル２２をプロー
ブカード本体１０に収納し、露呈部を前記ベース
部材１７の傾斜面に所定間隔をもつて放射状に配
置し、かつ、同軸ケーブル２２の一端が中央開口
部１１に突出するように絶縁性合成樹脂２７にて
固定している。

また、中央開口部１１に突出した前記同軸ケー
ブル２２の端部は芯線２３が露呈され、下方に折
曲されたコンタクト部２８を有する探針２９がこ
の芯線２３でもつて形成され、プローブカード本
体１０の中央開口部１１に放射状に複数本の探針
２９が配設される。この芯線２３の露呈寸法Ｌは
５mm以内に設定するのがノイズ防止およびプロー
ブカード作動上の観点から好ましい。

そして、前記同軸ケーブル２２の他端は、芯線
２３にターミナルピン３０が半田付けにより固着
され、スルーホール２１に嵌着された絶縁スリー
ブ３１にこのターミナルピン３０が挿着されて、
側板１６から外部にその一端が突出している。な
お、同軸ケーブル２２のシールド層２５は接地線
３２によりスルーホール１９及び２０で銅箔に半
田付けされる。このようにして、同軸ケーブル２
２が収納されたプローブカード本体１０の中空部
に、シリコンゴム或いはエポキシ樹脂等の常温又
は加熱硬化型の絶縁性充填材３３が充填されて超
高周波用プローブカードが構成される。

なお、本考案は図示の実施例に限定されず、そ
の要旨を変更しない範囲で設計変更自由であり、
例えばターミナルピン３０に同軸ケーブル用のコ
ネクタを使用するも好ましい。また、ターミナル
ピン３０を省略して同軸ケーブル２２を延長しそ
の一端を直接測定装置に接続するも望ましい。

そして、前記同軸ケーブル用のコネクタあるい
は延長した同軸ケーブルを用いる場合は、ケーブ
ルのシールド層の接地は測定装置側で取ることが
できるので、実施例で示したように、シールド層
２５を接続するためにガラスエポキシ基板１２の
表面に銅箔１３を設ける必要はない。

また、プローブカード本体１０の中空部に充填
される充填材に導電性樹脂を用い、この充填樹脂
を介してシールド層２５を接地すれば、前記銅箔
１３は必要とされない。その他形状構造は同一機
能を有する限り変更可能である。

(ヘ) 効果 本考案は以上詳述した構成にて所期の目的を有
効に達成した。特に、探針が同軸ケーブルの芯線
でもつて形成されたから、従来のように探針とプ
リント配線との接続部で超高周波信号の反射が起
こる虞がなく、インピーダンス均等性が確保され
て、高周波電流で作動する半導体装置を測定する
場合であつても信頼性の高い測定結果が得られ
る。なお、測定装置に同軸ケーブルを直接接続す
れば、第２図の実施例に於けるターミナルピンと
の接続部での信号の反射を防止出来、より正確な
測定精度が保持可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のプローブカードを示す断面側面
図、第２図は本考案の一実施例をしめす要部断面
側面図、第３図は同軸ケーブルの探針側の断面拡
大図である。 １０……プローブカード本体、１１……中央開
口部、２２……同軸ケーブル、２３……芯線、２
９……探針。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 集積回路と測定装置とを電気的に接続する複数
   本の同軸ケーブルと、プローブカード本体の中央
   開口部に放射状に配設された複数本の探針とを具
   備するプローブカードにおいて、前記プローブカ
   ード本体は上下２枚の銅張積層板と、銅張積層板
   の開口内周部及び外周部の上下を相互に連結固定
   した側板とによつて中空部を形成したものであ
   り、前記探針が同軸ケーブルの芯線でもつて形成
   されるとともに、同軸ケーブルは前記中空部に絶
   縁性充填材により埋設固定されており、且つ同軸
   ケーブルの探針の反対側は同軸ケーブル用のター
   ミナルに接続されていることを特徴とするプロー
   ブカード。