JPH0334907Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、半導体試験用探針器を装着したプロ
ーバーにおいて使用されるパーソナリテイ・ボー
ドに関する。

従来から、半導体ウエーハの特性を試験するた
めに、第１図に示す様な装置が使用されている。

第１図において、測定器本体１０１は、内部に
スイツチングマトリクス、外部に測定用端子であ
るスプリングピン１０２を有している。１０５は
探針器用基板で、表面に信号用プリントパターン
が設けられており、前記信号用プリントパターン
は探針１０６と接続されている。

スプリングピン１０２の針圧が直接探針器用基
板１０５に加えられることによつて探針器用基板
１０５が破壊することを防止するために又、探針
器用基板１０５への結線に自由度を持たせるため
にパーソナリテイ・ボード１０３が設けられてい
る。パーソナリテイ・ボード１０３は表面に信号
用プリントパターンを有しており、リード線１０
４を介して探針器用基板１０５に接続されてい
る。１０７は半導体ウエーハである。

一般に、パーソナリテイ・ボード１０３および
探針器用基板１０５はドーナツ状円板である。

従来のパーソナリテイ・ボード１０３において
は、隣接する信号用パターン間の絶縁を図るの
に、ボード表面において単に信号用パターンをガ
ード用パターンで囲つているだけなので、信号用
パターン間でボードの中を流れる漏れ電流のため
に完全な絶縁が得られず、数pAオーダーの電流
を測定することは困難であつた。

本考案は上記欠点に鑑みなされたもので、信号
用パターン間にスリツトを設け、さらに信号用パ
ターンをガード用パターンで囲うことにより信号
用パターン間でのボードの表面あるいは内部を流
れる漏れ電流を減らし、信号用パターン間の絶縁
性を高めたパーソナリテイ・ボードを提供するこ
とを目的とする。

以下、本考案の一実施例を用いて詳説する。

第２図は本考案のドーナツ状パーソナリテイ・
ボードの部分分解図である。

第３図は本考案のパーソナリテイ・ボードの部
分平面図および断面図であり、第２図と同一部分
には同一番号を付す。

第２図および第３図において、上部基板２０１
および下部基板２０５はガラスエポキシ材等の絶
縁体で形成されている。

上部基板２０１の表面には導体箔の信号用パタ
ーン２０２および導体箔のガード用パターン２０
３が設けられており又、スリツト２０４を設ける
ことによつて突出部２１２が形成されている。信
号用パターン２０２およびガード用パターン２０
３のそれぞれのパツド部２３０，２３１，２３２
には各スプリングピン１０２が接触し、測定器本
体１０１との間で信号の入出力が行なわれる。

パツド部２３２にはパツド部２３０及び２３１
に接続される信号を他の信号からガードするため
のガード用信号が接続される。下部基板２０５の
表面には導体箔のガード用パターン２０６が設け
られている。

上部基板２０１と下部基板２０５はスルーホー
ル２０８およびスルーホール２１０に挿入された
リベツト３０２によつて圧着され、それぞれのガ
ード用パターン２０３，２０６は共に電気的に結
合される。ガード用パターン２０３内のガード用
パターン３０１はスルーホール部をスリツト２０
４によつて分割したもので、ガード用パターン２
０３とガード用パターン２０６とはスルーホール
の内壁及びランドを介し、ここでも接触によつて
電気的に連結している。ガード用パターン２０６
は、ガード用パターン３０１，２０３によつて囲
まれた突出部２１２の面積よりも大きく（第３図
のスリツト２０４において、ガード用パターン２
０６の一部が見えている）又、ガード電位との接
続点であるスルーホール２０９を有する。スルー
ホール２０７は信号取出用に設けられ、普通、リ
ード線１０４が接続される。逃げ穴２１１はスル
ーホール２０７とガード用パターン２０６との接
触を防止するための孔である。

上記の如く構成されたパーソナリテイ・ボード
において、隣接する信号用パターン間の最短距離
はスリツト２０４によつて分離されており、信号
用パターン２０２間でのボード内部を流れる漏れ
電流は、スリツト２０４を迂回する経路をとるの
で経路長が長くなり、この間での絶縁抵抗は高く
なつて漏れ電流は減る。さらに使用時にはスプリ
ングピン１０２の圧力により、上部基板２０１の
裏面はガード用パターン２０６に接触し、信号用
パターンはガード用パターン２０３，２０６，３
０１によつて囲まれているので、信号用パターン
２０２間でのボード表面を流れる漏れ電流も減
る。またスリツト２０４の端面における上部基板
２０１の厚さ分だけ信号用パターン２０２とガー
ド用パターン２０６間の沿面距離も長くなり、こ
の間での絶縁抵抗は高くなつて漏れ電流は減る。
したがつて、各信号用パターンは高絶縁化され、
信号用パターン間の漏れ電流は極めて微少とな
る。さらに、上部基板２０１と下部基板２０５と
を重ね合わせた構成なので強度が大である。

【図面の簡単な説明】

第１図は半導体ウエーハ測定装置の正面図。第
２図は本考案のパーソナリテイ・ボードの部分分
解図。第３図は本考案のパーソナリテイ・ボード
の部分平面図および断面図。 ２０１……上部基板、２０２……信号用パター
ン、２０３，２０６……ガード用パターン、２１
２……突出部、２０５……下部基板、２０４……
スリツト。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 基板縁部とスリツトと基板上の導電パターンと
   で囲まれた領域があり、隣接する回路パターンと
   の間に前記スリツトが延在するように前記領域内
   に設けられた、信号の入出力の接点となる回路パ
   ターンを有する第１の基板と、前記領域の裏面を
   覆う導電パターンを有する第２の基板と、前記第
   １及び第２の基板を、それぞれの前記導電パター
   ンが電気的に接触するようにして接続する接続手
   段とを設けて成る、半導体試験用パーソナリテ
   イ・ボード。