JP6296880B2 - 測定装置および測定方法 - Google Patents
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Description
[1]板状の導電体または半導体からなる第1容量電極と、前記第1容量電極の一方の面に配置された第1絶縁膜と、前記第1絶縁膜を挟んで前記第1容量電極の一部と対向するように配置された、導電体または半導体からなる第2容量電極と、前記第1絶縁膜上に配置された可変抵抗素子と、前記第1容量電極の他方の面上に直接または第2絶縁膜を介して配置された反応部と、を含む1または2以上のセンサー素子を有するセンサーチップを用いて、被検出物質の存在または量を検出する測定装置であって、前記センサーチップを保持するためのチップホルダーと、前記チップホルダーに保持された前記センサーチップの前記第1容量電極に接続される押しボタン型の第1機械的接点スイッチと、前記チップホルダーに保持された前記センサーチップの前記第2容量電極に接続される押しボタン型の第2機械的接点スイッチと、前記チップホルダーに保持された前記センサーチップの前記第1容量電極および前記第2容量電極に前記第1機械的接点スイッチおよび前記第2機械的接点スイッチを介して接続される、前記第1容量電極と前記第2容量電極の間に電圧を印加するための電圧印加部と、前記チップホルダーに保持された前記センサーチップの前記可変抵抗素子に接続される、前記可変抵抗素子を流れる電流値を測定するための電流測定部と、前記第1機械的接点スイッチおよび前記第2機械的接点スイッチを押圧して、前記第1容量電極および前記第2容量電極と前記電圧印加部との接続状態を切り替える押圧部と、を有する、測定装置。
[2]前記第1機械的接点スイッチおよび前記第2機械的接点スイッチは、タクタイルスイッチである、[1]に記載の測定装置。
[3]前記センサーチップは、前記測定装置側に、前記第1容量電極に接続された第1接触端子と、前記第2容量電極に接続された第2接触端子と、前記可変抵抗素子に接続された第3接触端子および第4接触端子とを有し、前記チップホルダーは、前記第1接触端子と前記電圧印加部とを前記第1機械的接点スイッチを介して接続し、前記第2接触端子と前記電圧印加部とを前記第2機械的接点スイッチを介して接続し、かつ前記第3接触端子および前記第4接触端子と前記電流測定部とを接続するためのスイッチモジュールを有し、前記スイッチモジュールは、基板と、前記基板の一方の面に配置された、前記第1接触端子に接触するための第1コンタクトプローブ、前記第2接触端子に接触するための第2コンタクトプローブ、前記第3接触端子に接触するための第3コンタクトプローブ、および前記第4接触端子に接触するための第4コンタクトプローブと、前記基板の他方の面に配置された、前記第1コンタクトプローブおよび前記第2コンタクトプローブと前記電圧印加部とを接続し、かつ前記第3コンタクトプローブおよび前記第4コンタクトプローブと前記電流測定部とを接続するためのコネクターと、前記基板に形成された、前記第1コンタクトプローブと前記コネクターとを接続する第1スルーホール配線、前記第2コンタクトプローブと前記コネクターとを接続する第2スルーホール配線、前記第3コンタクトプローブと前記コネクターとを接続する第3スルーホール配線、および前記第4コンタクトプローブと前記コネクターとを接続する第4スルーホール配線と、前記基板の他方の面に配置され、かつ前記第1スルーホール配線と前記コネクターとの間に配置された前記第1機械的接点スイッチ、および前記第2スルーホール配線と前記コネクターとの間に配置された前記第2機械的接点スイッチと、を有する、[1]または[2]に記載の測定装置。
[4]前記スイッチモジュールは、前記基板の他方の面に配置され、前記コネクターと接続された、前記センサーチップの周辺環境の温度を検出するための温度センサーをさらに有する、[3]に記載の測定装置。
[5]前記押圧部は、押圧力を発生させるアクチュエータと、前記アクチュエータから加えられた押圧力を、てこの原理により増大させて前記第1機械的接点スイッチおよび前記第2機械的接点スイッチに伝達する増大機構と、を有する、[1]〜[4]のいずれか一項に記載の測定装置。
[6]前記アクチュエータは、ソレノイドアクチュエータである、[5]に記載の測定装置。
[7]前記増大機構の前記第1機械的接点スイッチまたは前記第2機械的接点スイッチに対する接触面は、円柱面の一部を構成する、[5]または[6]に記載の測定装置。
[8]前記センサーチップは、前記測定装置側に、前記第1容量電極に接続された第1接触端子と、前記第2容量電極に接続された第2接触端子と、前記可変抵抗素子に接続された第3接触端子および第4接触端子とを有し、前記チップホルダーは、前記第1接触端子と前記電圧印加部とを前記第1機械的接点スイッチを介して接続し、前記第2接触端子と前記電圧印加部とを前記第2機械的接点スイッチを介して接続し、かつ前記第3接触端子および前記第4接触端子と前記電流測定部とを接続するためのスイッチモジュールと、その一方の面に配置された、前記センサーチップを嵌め込むための第1凹部と、その他方の面の前記第1凹部に対応する位置に配置された、前記スイッチモジュールを嵌め込むための第2凹部と、前記第1凹部の底部および前記第2凹部の底部に開口する貫通孔とを有するホルダー本体と、を有し、前記スイッチモジュールは、基板と、前記基板の一方の面に配置された、前記第1接触端子に接触するための第1コンタクトプローブ、前記第2接触端子に接触するための第2コンタクトプローブ、前記第3接触端子に接触するための第3コンタクトプローブ、および前記第4接触端子に接触するための第4コンタクトプローブと、前記基板の他方の面に配置された、前記第1コンタクトプローブおよび前記第2コンタクトプローブと前記電圧印加部とを接続し、かつ前記第3コンタクトプローブおよび前記第4コンタクトプローブと前記電流測定部とを接続するためのコネクターと、前記基板に形成された、前記第1コンタクトプローブと前記コネクターとを接続する第1スルーホール配線、前記第2コンタクトプローブと前記コネクターとを接続する第2スルーホール配線、前記第3コンタクトプローブと前記コネクターとを接続する第3スルーホール配線、および前記第4コンタクトプローブと前記コネクターとを接続する第4スルーホール配線と、前記基板の他方の面に配置され、かつ前記第1スルーホール配線と前記コネクターとの間に配置された前記第1機械的接点スイッチ、および前記第2スルーホール配線と前記コネクターとの間に配置された前記第2機械的接点スイッチと、を有し、前記スイッチモジュールは、前記第1コンタクトプローブ、前記第2コンタクトプローブ、前記第3コンタクトプローブおよび前記第4コンタクトプローブが前記貫通孔に露出するように前記第2凹部に固定されており、前記押圧部は、押圧力を発生させるソレノイドアクチュエータと、前記ソレノイドアクチュエータから加えられた押圧力を、てこの原理により増大させて、前記第2凹部に固定された前記スイッチモジュールの前記第1機械的接点スイッチおよび前記第2機械的接点スイッチに伝達する増大機構と、を有し、前記増大機構における、てこの原理の支点は、前記ホルダー本体により支持されている、[1]または[2]に記載の測定装置。
[9][1]〜[8]のいずれか一項に記載の測定装置を用いて検体中の被検出物質の存在またはその量を検出する測定方法であって、前記センサーチップを前記チップホルダーに保持させる第1工程と、前記押圧部が前記第1機械的接点スイッチおよび前記第2機械的接点スイッチを押圧し、前記センサーチップの前記第1容量電極および前記第2容量電極と前記電圧印加部とを接続して、前記第1容量電極と前記第2容量電極の間に電圧を印加する第2工程と、前記第2工程の後に、前記押圧部が前記第1機械的接点スイッチおよび前記第2機械的接点スイッチへの押圧を止めて、前記第1容量電極および前記第2容量電極を前記電圧印加部から切り離す第3工程と、前記第3工程の後に、前記反応部に検体を提供する第4工程と、前記第4工程の後に、前記電流測定部が前記センサーチップの前記可変抵抗素子を流れる電流値を測定する第5工程と、を含む、測定方法。
図3A〜Cは、本発明の一実施の形態に係るセンサーチップ200の構成を示す図である。図3Aは、センサーチップ200の平面図であり、図3Bは、センサーチップ200の正面図であり、図3Cは、センサーチップ200の底面図である。図3A〜Cに示されるように、センサーチップ200は、2つのセンサー素子210、センサーチップ基板220、2つの第1接触端子230、2つの第2接触端子240、2つの第3接触端子250および2つの第4接触端子260を有する。センサー素子210の天面は、被検出物質を検出するための反応部218(反応場)として機能する。
図4A,Bおよび図5A,Bは、センサー素子210の構成を示す図である。図4Aは、センサー素子210の平面図であり、図4Bは、センサー素子210の底面図である。図5Aは、図4Bに示されるA−A線の断面図であり、図5Bは、図4Bに示されるB−B線の断面図である。図4A,Bおよび図5A,Bに示されるように、センサー素子210は、第1容量電極211、第1端子212、第1絶縁膜213、第2絶縁膜214、第2容量電極215、第2端子216、可変抵抗素子217および反応部218を含む。
センサーチップ基板220は、絶縁性の板である。本実施の形態では、センサーチップ基板220の表側の面には、2つのセンサー素子210が配置される。センサーチップ基板220の裏側(測定装置100側)の面には、2つの第1接触端子230、2つの第2接触端子240、2つの第3接触端子250および2つの第4接触端子260が配置される。センサーチップ基板220は、例えばガラスコンポジット基板やガラスエポキシ基板などである。
第1接触端子230、第2接触端子240、第3接触端子250および第4接触端子260は、センサーチップ基板220の裏側(測定装置100側)の面に配置されている。これらは、例えば金属または合金からなる膜であり、測定装置100との接触端子として機能する。第1接触端子230は、第1スルーホール配線221を介してセンサー素子210の第1端子212に電気的に接続されている。第2接触端子240は、第2スルーホール配線222を介してセンサー素子210の第2端子216に電気的に接続されている。第3接触端子250は、第3スルーホール配線223を介してセンサー素子210の第3端子217bに電気的に接続されている。第4接触端子260は、第4スルーホール配線224を介してセンサー素子210の第4端子217cに電気的に接続されている。
次に、センサーチップ200に含まれるセンサー素子210を用いた被検出物質の検出手順の一例と、推察される検出メカニズムについて説明する。図6A〜Cは、センサー素子210の動作原理を説明するためのセンサー素子210の断面模式図である。理解の促進のため、これらの図では、各構成要素の位置および形状を変えている。また、認識物質219が省略されている。可変抵抗素子217の第3端子217bおよび第4端子217cは、予め電流計(測定装置100の電流測定部180)に接続されている。
次に、測定装置100について説明する。前述のとおり、測定装置100は、チップホルダー110、押圧部140、電圧印加部170、電流測定部180および制御部190を有する(図2参照)。
チップホルダー110は、センサーチップ200を保持する。
押圧部140は、第1機械的接点スイッチ135および第2機械的接点スイッチ136を押圧して、第1容量電極211および第2容量電極215と電圧印加部170との接続状態を切り替える。図2に示されるように、本実施の形態では、測定装置100は2つの押圧部140を有し、各押圧部140は、1つの第1機械的接点スイッチ135および1つの第2機械的接点スイッチ136を同時に押圧する。
電圧印加部170は、スイッチモジュール130のコネクター134を介して第1機械的接点スイッチ135および第2機械的接点スイッチ136に接続されている。第1機械的接点スイッチ135および第2機械的接点スイッチ136がオンのとき、電圧印加部170は、センサーチップ200のセンサー素子210の第1容量電極211および第2容量電極215に接続される。電圧印加部170は、第1機械的接点スイッチ135および第2機械的接点スイッチ136がオンのとき、第1容量電極211と第2容量電極215の間に電圧を印加する。
次に、図2に示される測定装置100を用いた被検出物質の検出手順の一例について説明する。
11 シリコン基板
12 第1絶縁膜
13 第2絶縁膜
14 チャネル
15 ソース電極
16 ドレイン電極
17 反応部
18 ゲート電極
19 認識物質
100 測定装置
110 チップホルダー
120 ホルダー部
121 ホルダー本体
122 第1凹部
123 第2凹部
124 第1貫通孔
125 第1マグネット
126 支点用貫通孔
127 蓋部
128 第2貫通孔
129 第2マグネット
130 スイッチモジュール
131 スイッチモジュール基板
132a 第5スルーホール配線
132b 第6スルーホール配線
132c 第7スルーホール配線
132d 第8スルーホール配線
133a 第1コンタクトプローブ
133b 第2コンタクトプローブ
133c 第3コンタクトプローブ
133d 第4コンタクトプローブ
134 コネクター
135 第1機械的接点スイッチ
136 第2機械的接点スイッチ
137 温度センサー
140 押圧部
150 アクチュエータ
160 増大機構
161 伝達部
162 第3凹部
163 押圧面
166 増大部
167 入力面
168 プッシュロッド
169 軸部
170 電圧印加部
180 電流測定部
190 制御部
200 センサーチップ
210 センサー素子
211 第1容量電極
212 第1端子
213 第1絶縁膜
214 第2絶縁膜
215 第2容量電極
216 第2端子
217 可変抵抗素子
217a 基体
217b 第3端子
217c 第4端子
218 反応部
219 認識物質
220 センサーチップ基板
221 第1スルーホール配線
222 第2スルーホール配線
223 第3スルーホール配線
224 第4スルーホール配線
230 第1接触端子
240 第2接触端子
250 第3接触端子
260 第4接触端子
Claims (9)
- 板状の導電体または半導体からなる第1容量電極と、
前記第1容量電極の一方の面に配置された第1絶縁膜と、
前記第1絶縁膜を挟んで前記第1容量電極の一部と対向するように配置された、導電体または半導体からなる第2容量電極と、
前記第1絶縁膜上に配置された可変抵抗素子と、
前記第1容量電極の他方の面上に直接または第2絶縁膜を介して配置された反応部と、
を含む1または2以上のセンサー素子を有するセンサーチップを用いて、被検出物質の存在または量を検出する測定装置であって、
前記センサーチップを保持するためのチップホルダーと、
前記チップホルダーに保持された前記センサーチップの前記第1容量電極に接続される押しボタン型の第1機械的接点スイッチと、
前記チップホルダーに保持された前記センサーチップの前記第2容量電極に接続される押しボタン型の第2機械的接点スイッチと、
前記チップホルダーに保持された前記センサーチップの前記第1容量電極および前記第2容量電極に前記第1機械的接点スイッチおよび前記第2機械的接点スイッチを介して接続される、前記第1容量電極と前記第2容量電極の間に電圧を印加するための電圧印加部と、
前記チップホルダーに保持された前記センサーチップの前記可変抵抗素子に接続される、前記可変抵抗素子を流れる電流値を測定するための電流測定部と、
前記第1機械的接点スイッチおよび前記第2機械的接点スイッチを押圧して、前記第1容量電極および前記第2容量電極と前記電圧印加部との接続状態を切り替える押圧部と、
を有する、測定装置。 - 前記第1機械的接点スイッチおよび前記第2機械的接点スイッチは、タクタイルスイッチである、請求項1に記載の測定装置。
- 前記センサーチップは、前記測定装置側に、前記第1容量電極に接続された第1接触端子と、前記第2容量電極に接続された第2接触端子と、前記可変抵抗素子に接続された第3接触端子および第4接触端子とを有し、
前記チップホルダーは、前記第1接触端子と前記電圧印加部とを前記第1機械的接点スイッチを介して接続し、前記第2接触端子と前記電圧印加部とを前記第2機械的接点スイッチを介して接続し、かつ前記第3接触端子および前記第4接触端子と前記電流測定部とを接続するためのスイッチモジュールを有し、
前記スイッチモジュールは、
基板と、
前記基板の一方の面に配置された、前記第1接触端子に接触するための第1コンタクトプローブ、前記第2接触端子に接触するための第2コンタクトプローブ、前記第3接触端子に接触するための第3コンタクトプローブ、および前記第4接触端子に接触するための第4コンタクトプローブと、
前記基板の他方の面に配置された、前記第1コンタクトプローブおよび前記第2コンタクトプローブと前記電圧印加部とを接続し、かつ前記第3コンタクトプローブおよび前記第4コンタクトプローブと前記電流測定部とを接続するためのコネクターと、
前記基板に形成された、前記第1コンタクトプローブと前記コネクターとを接続する第1スルーホール配線、前記第2コンタクトプローブと前記コネクターとを接続する第2スルーホール配線、前記第3コンタクトプローブと前記コネクターとを接続する第3スルーホール配線、および前記第4コンタクトプローブと前記コネクターとを接続する第4スルーホール配線と、
前記基板の他方の面に配置され、かつ前記第1スルーホール配線と前記コネクターとの間に配置された前記第1機械的接点スイッチ、および前記第2スルーホール配線と前記コネクターとの間に配置された前記第2機械的接点スイッチと、
を有する、
請求項1または請求項2に記載の測定装置。 - 前記スイッチモジュールは、前記基板の他方の面に配置され、前記コネクターと接続された、前記センサーチップの周辺環境の温度を検出するための温度センサーをさらに有する、請求項3に記載の測定装置。
- 前記押圧部は、
押圧力を発生させるアクチュエータと、
前記アクチュエータから加えられた押圧力を、てこの原理により増大させて前記第1機械的接点スイッチおよび前記第2機械的接点スイッチに伝達する増大機構と、
を有する、
請求項1〜4のいずれか一項に記載の測定装置。 - 前記アクチュエータは、ソレノイドアクチュエータである、請求項5に記載の測定装置。
- 前記増大機構の前記第1機械的接点スイッチまたは前記第2機械的接点スイッチに対する接触面は、円柱面の一部を構成する、請求項5または請求項6に記載の測定装置。
- 前記センサーチップは、前記測定装置側に、前記第1容量電極に接続された第1接触端子と、前記第2容量電極に接続された第2接触端子と、前記可変抵抗素子に接続された第3接触端子および第4接触端子とを有し、
前記チップホルダーは、
前記第1接触端子と前記電圧印加部とを前記第1機械的接点スイッチを介して接続し、前記第2接触端子と前記電圧印加部とを前記第2機械的接点スイッチを介して接続し、かつ前記第3接触端子および前記第4接触端子と前記電流測定部とを接続するためのスイッチモジュールと、
その一方の面に配置された、前記センサーチップを嵌め込むための第1凹部と、その他方の面の前記第1凹部に対応する位置に配置された、前記スイッチモジュールを嵌め込むための第2凹部と、前記第1凹部の底部および前記第2凹部の底部に開口する貫通孔とを有するホルダー本体と、
を有し、
前記スイッチモジュールは、
基板と、
前記基板の一方の面に配置された、前記第1接触端子に接触するための第1コンタクトプローブ、前記第2接触端子に接触するための第2コンタクトプローブ、前記第3接触端子に接触するための第3コンタクトプローブ、および前記第4接触端子に接触するための第4コンタクトプローブと、
前記基板の他方の面に配置された、前記第1コンタクトプローブおよび前記第2コンタクトプローブと前記電圧印加部とを接続し、かつ前記第3コンタクトプローブおよび前記第4コンタクトプローブと前記電流測定部とを接続するためのコネクターと、
前記基板に形成された、前記第1コンタクトプローブと前記コネクターとを接続する第1スルーホール配線、前記第2コンタクトプローブと前記コネクターとを接続する第2スルーホール配線、前記第3コンタクトプローブと前記コネクターとを接続する第3スルーホール配線、および前記第4コンタクトプローブと前記コネクターとを接続する第4スルーホール配線と、
前記基板の他方の面に配置され、かつ前記第1スルーホール配線と前記コネクターとの間に配置された前記第1機械的接点スイッチ、および前記第2スルーホール配線と前記コネクターとの間に配置された前記第2機械的接点スイッチと、
を有し、
前記スイッチモジュールは、前記第1コンタクトプローブ、前記第2コンタクトプローブ、前記第3コンタクトプローブおよび前記第4コンタクトプローブが前記貫通孔に露出するように前記第2凹部に固定されており、
前記押圧部は、
押圧力を発生させるソレノイドアクチュエータと、
前記ソレノイドアクチュエータから加えられた押圧力を、てこの原理により増大させて、前記第2凹部に固定された前記スイッチモジュールの前記第1機械的接点スイッチおよび前記第2機械的接点スイッチに伝達する増大機構と、
を有し、
前記増大機構における、てこの原理の支点は、前記ホルダー本体により支持されている、
請求項1または請求項2に記載の測定装置。 - 請求項1〜8のいずれか一項に記載の測定装置を用いて検体中の被検出物質の存在またはその量を検出する測定方法であって、
前記センサーチップを前記チップホルダーに保持させる第1工程と、
前記押圧部が前記第1機械的接点スイッチおよび前記第2機械的接点スイッチを押圧し、前記センサーチップの前記第1容量電極および前記第2容量電極と前記電圧印加部とを接続して、前記第1容量電極と前記第2容量電極の間に電圧を印加する第2工程と、
前記第2工程の後に、前記押圧部が前記第1機械的接点スイッチおよび前記第2機械的接点スイッチへの押圧を止めて、前記第1容量電極および前記第2容量電極を前記電圧印加部から切り離す第3工程と、
前記第3工程の後に、前記反応部に検体を提供する第4工程と、
前記第4工程の後に、前記電流測定部が前記センサーチップの前記可変抵抗素子を流れる電流値を測定する第5工程と、
を含む、測定方法。
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