JP2004235589A - 可変コンデンサ及びこれを用いた圧電体の特性測定装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】装置の小型化に寄与し且つ圧電特性を簡単に求めることに寄与する。
【解決手段】特性測定装置10は、可変コンデンサ18と電気回路部19とを含んで圧電体Pに押圧力を付与する押圧プローブ12と、データ処理手段51とを備えている。可変コンデンサ18は、相対移動可能な第1及び第2の電極26,27を備え、当該各電極26,27の相対移動時に付与される力の大きさに応じた相対領域の面積の変化により、静電容量を変化させる。また、押圧プローブ12の押圧部21は、各電極26,27の相対移動時に付与される力を押圧力として圧電体Pに伝達する。電気回路部19は、可変コンデンサ18の静電容量に対応した変換信号を生成する力測定用回路30と、電荷量に対応した変換信号を生成する電荷測定用回路31とからなる。データ処理手段51は、各変換信号から前記押圧力の大きさ及び電荷量を求めてそれらを対応させる。
【選択図】 図1
【解決手段】特性測定装置10は、可変コンデンサ18と電気回路部19とを含んで圧電体Pに押圧力を付与する押圧プローブ12と、データ処理手段51とを備えている。可変コンデンサ18は、相対移動可能な第1及び第2の電極26,27を備え、当該各電極26,27の相対移動時に付与される力の大きさに応じた相対領域の面積の変化により、静電容量を変化させる。また、押圧プローブ12の押圧部21は、各電極26,27の相対移動時に付与される力を押圧力として圧電体Pに伝達する。電気回路部19は、可変コンデンサ18の静電容量に対応した変換信号を生成する力測定用回路30と、電荷量に対応した変換信号を生成する電荷測定用回路31とからなる。データ処理手段51は、各変換信号から前記押圧力の大きさ及び電荷量を求めてそれらを対応させる。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は可変コンデンサ及びこれを用いた圧電体の特性測定装置に係り、更に詳しくは、圧電定数等の圧電特性を簡単に求めることに寄与する可変コンデンサ及びこれを用いた圧電体の特性測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
圧電体の特性測定装置としては、後記特許文献1の圧電定数測定装置が知られている。この測定装置は、測定対象の圧電薄膜を片持状に保持するホルダーと、モータの駆動によって前記圧電薄膜の自由端側を押圧する荷重針と、圧電薄膜及びホルダーが乗る電子はかりと、荷重針の押圧によって圧電薄膜に生じた電荷量を測定するチャージアンプとを備えて構成されている。この測定装置では、荷重針によって圧電薄膜が押圧されると、その押圧力を電子はかりで読み取れるようになっており、この読み取り値と圧電薄膜に生じた電荷量との関係から圧電薄膜の圧電定数がパソコンで求められる。
【0003】
【特許文献1】
特開2001−264373号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記測定装置にあっては、測定対象となる圧電体を電子はかりにセットしなければならず、測定対象となる圧電体が数多くある場合には、測定対象の圧電体をその都度セットし直さなければならず、測定作業が面倒になるという不都合がある。また、前記測定装置は、荷重針を上下動させるモータ及び荷重を計測する電子はかりが必要となるため、装置全体の大型化を招来することにもなる。
【0005】
【発明の目的】
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、装置の小型化に寄与でき、且つ、圧電特性を簡単に求めることに寄与できる可変コンデンサ及びこれを用いた圧電体の特性測定装置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため、本発明は、相互に非接触となる状態で相対移動可能な第1及び第2の電極を備え、これら電極の相対移動により各電極が相対する領域の面積が変化することで、静電容量を可変にする可変コンデンサにおいて、
前記第1及び第2の電極は、所定の付勢部材を介して相対移動可能に設けられ、この付勢部材は、前記各電極の相対移動時に付与される力の大きさに応じて、前記面積を変化させる、という構成を採っている。
【0007】
また、本発明は、前記可変コンデンサを用い、所定の圧電体への押圧力と、当該押圧力によって前記圧電体に生じた電荷量との関係を検出する圧電体の特性測定装置であって、
前記第1及び第2の電極の相対移動時に付与される力を前記押圧力として前記圧電体に伝達する押圧部と、前記可変コンデンサの静電容量に対応した変換信号を生成する力測定用回路と、前記電荷量に対応した変換信号を生成する電荷測定用回路と、これら各変換信号から、前記押圧力の大きさ及び電荷量を求めてそれらを対応させるデータ処理手段とを備える、という構成を採っている。
【0008】
以上のような構成によれば、各電極の相対移動時に付与される力が圧電体の押圧力となり、当該押圧力の大きさに応じて前記可変コンデンサの静電容量が変わることになるため、この静電容量を検出することで、前記押圧力を簡単に求めることができる。従って、当該押圧力の測定を行う際に、電子はかりのような大掛かりな計測装置が必要なく、コンパクトな装置構成で押圧力の測定が可能となる。また、各電極の相対移動を手で行うようにすることもでき、この場合には、圧電体に押圧力を付与するモータ等を不要にすることができる。以上により、装置全体の小型化に寄与できることになる。また、圧電体が乗る電子はかり等が不要になることから、圧電体の設置場所や設置姿勢を問わず圧電性能の検出が可能となり、圧電特性を簡単に求めることに寄与できる。例えば、測定対象の圧電体が多数ある場合、当該圧電体を任意の設置台に並べ、各圧電体を順番に押圧することで、各圧電体の圧電特性を簡単且つ迅速に求めることができる他、各圧電体の圧電定数等の比較も非常に簡単に行うことができる。
【0009】
なお、本明細書において「圧電体」とは、圧電性を有する部材、材料、素子、結晶等の各種物質を包括した概念として用いる。
【0010】
なお、本明細書において、「上」、「下」、「左」、「右」等の位置若しくは方向を示す用語は、特に明示しない限り、図1を正面側から見た場合における位置若しくは方向を意味する。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【0012】
図1には、本実施形態に係る圧電体の特性測定装置の概略構成図が示されている。この図において、特性測定装置10は、測定対象となる試料状の圧電体Pに押圧力を付与するための押圧プローブ12と、この押圧プローブ12に電気的に接続された信号処理表示装置14と、この信号処理表示装置14に接続されたパーソナルコンピュータ15とにより構成されている。
【0013】
前記押圧プローブ12は、略スティック状の外観形状をなし、筆記具のように手で把持可能となっている。この押圧プローブ12は、上下方向に延びる略中実円柱状の軸状部材17と、当該軸状部材17の上部寄りに設けられた可変コンデンサ18と、軸状部材17の下端側となる先端側に設けられた電気回路部19とを備えて構成されている。
【0014】
前記軸状部材17の先端側には、前記圧電体Pに接触して当該圧電体Pを押圧する押圧部21が設けられ、この押圧部21は、導電性材料によって形成されている。
【0015】
前記可変コンデンサ18は、図1及び図2に示されるように、所定の絶縁材料によって形成された筒状の操作部23と、この操作部23を軸状部材17に連結する付勢部材としてのコイルばね25と、操作部23の外周面に沿って配置された第1の電極26と、この第1の電極26の下方に位置する第2の電極27とを備えている。
【0016】
前記操作部23は、軸状部材17が隙間S1(図2参照)を介して挿通されており、当該軸状部材17の延出方向(上下方向)に沿って相対移動可能となっている。
【0017】
前記コイルばね25は、軸状部材17の外周側に巻回されており、一端側が操作部23の下端側に固定される一方、その下方に位置する他端側が軸状部材17の外周面に固定されている。これにより、押圧部21を圧電体Pに接触させた図1の状態で、コイルばね25が縮む方向(下方)に操作部23を移動すると、コイルばね25の付勢に抗して操作部23に付与された力が、押圧部21から圧電体Pに伝達され、その力が当該圧電体Pへの押圧力となる。このため、当該押圧力の大きさは、操作部23の下方への移動量に略比例することになる。なお、本実施形態では、コイルばね25を用いたが、前述と同様の作用を奏する限りにおいて、他のばね、ゴム等の他の付勢部材を代替適用することも可能である。
【0018】
前記第1の電極26は、両端が開放する薄肉の円筒状に設けられ、操作部23の下部外周面に固定されることで、当該操作部23と一体的に上下移動可能となっている。
【0019】
前記第2の電極27は、両端が開放する薄肉の円筒状に設けられ、軸状部材17が挿通された状態で、図示しない支持手段により、当該軸状部材17に固定的に支持されている。第2の電極27の内径は、図1の状態から下方に移動した操作部23及び第1の電極26を受容可能な寸法に設定されている。また、第2の電極27の内周面には、第1の電極26との電気的な接触を阻止する絶縁体29(図2参照)が被覆されている。この絶縁体29は、その内側に第1の電極26が受容された状態で、当該第1の電極26との間に僅かな隙間S2(図2参照)を形成可能に配置されている。これによって、第1の電極26は、第2の電極27に対し、相互に非接触となる状態で挿抜方向に移動可能となる。ここで、操作部23が操作されていない図1の初期状態では、第2の電極27の内部に第1の電極26の下端側が僅かに受容された状態となっており、コイルばね25を縮める方向すなわち圧電体Pを押圧する方向に操作部23を移動操作すると、第1の電極26の外周面と第2の電極27の内周面との相対領域の面積が増大し、各電極26,27における静電容量が増大することになる。つまり、第1及び第2の電極26,27は、コイルばね25を介して相対移動可能となっており、このコイルばね25は、操作部23の移動操作時の力すなわち圧電体Pへの押圧力の大きさに応じて、各電極26,27の相対領域の面積を変化させるように作用する。これら相対領域の面積が変化すると、可変コンデンサ18の静電容量が略比例的に変化することになる。
【0020】
前記電気回路部19は、可変コンデンサ19の静電容量に対応した変換信号を生成する力測定用回路30と、押圧部21による圧電体Pの押圧により発生した電荷量に対応した変換信号を生成する電荷測定用回路31とを備えている。
【0021】
前記力測定用回路30は、図3に示されるように、その一部に前記可変コンデンサ18が電気的に接続されるようになっており、その他、パルス発振器33、ショットキバリアダイオード34、抵抗35及びコンデンサ36が接続されている。前記パルス発振器33は、前記信号処理表示装置14に設けられたバッテリ38を電源として、所定のパルス信号(本実施形態では1MHzの信号)を回路に供給できるようになっている。この力測定用回路30は、パルス発振器33からのパルス信号を可変コンデンサ18に与えることで、回路の出力端子39,39で、可変コンデンサ18の静電容量の大きさに応じて変換された電圧信号(直流電圧)が得られるようになっている。ここで、可変コンデンサ17の静電容量は、前述したように、圧電体Pへの押圧力の変化に伴って変化するため、出力端子39では、圧電体Pへの押圧力に対応する電圧信号が得られることになる。
【0022】
前記電荷測定用回路31は、図4に示されるように、強誘電体D−Eヒステリシスの測定に用いられるソーヤ・タワー回路と実質的同一な回路構成となっている。すなわち、電荷測定用回路31は、圧電体Pの上下両面に配置された電極面42,43に対して電気的に接続される基準コンデンサ45と、この基準コンデンサ45の両端間の電圧を増幅する増幅部48と、増幅部48で増幅された電圧信号(直流電圧)を出力する出力端子49とを備えている。
【0023】
前記基準コンデンサ45は、前記押圧部21(図1参照)及び下側の電極面43が接触する0Vレベルの圧電体Pの設置台T(図1参照)に接続され、押圧部21が上側の電極面42に接触したときに、圧電体Pと電気的に並列接続されるようになっている。ここで、基準コンデンサ45の静電容量は、圧電体P側の静電容量よりも遥かに大きく設定されており(本実施形態では100倍以上)、押圧部21が圧電体Pに接触して押圧することで当該圧電体Pに生じた電荷は、殆ど基準コンデンサ45に蓄積されることになる。また、圧電体Pよりも静電容量が遥かに大きい基準コンデンサ45と圧電体Pとが並列接続されることで、圧電体Pの静電容量の変化を無視でき、圧電体Pの両端の電圧を低く抑えることが可能となる。これによって、圧電体Pに電場が生じることを抑制したり、圧電体Pのコンダクタンスにより電荷が減少するのを防止可能となる。
【0024】
前記増幅部48は、前記バッテリ38を電源として作動するようになっている。なお、増幅部48の入力部分の絶縁性を考慮して、余分なものが付かないように、押圧部21及び基準コンデンサ45は、押圧プローブ12の先端側に取り付けられている。
【0025】
前記信号処理表示装置14は、図1に示されるように、前記バッテリ38と、前記力測定用回路30及び電荷測定用回路31で得られた電圧信号から、圧電体Pへの押圧力の大きさ及びその際に発生した圧電体Pの電荷量を求め、それらを対応させる処理を行うデータ処理手段51と、このデータ処理手段51で求められた押圧力の大きさ及び圧電体Pの電荷量を表示する表示部52とを備えている。
【0026】
前記データ処理手段51は、力測定用回路30及び電荷測定用回路31の各出力端子39,49(図3,図4参照)間の電圧信号をデジタル信号に変換するADコンバータ等からなる変換部54と、変換部54からのデジタル信号から、予め記憶された変換データを用いて押圧力の大きさ及び圧電体Pの電荷量を求めるワンチップマイコン(CPU)等からなる処理部55とを備えて構成されている。
【0027】
前記パーソナルコンピュータ15は、データ処理手段51によって求められた押圧力の大きさ及び圧電体Pの電荷量の関係をグラフ化し、それらデータを保存できるようになっている。また、前記グラフを用いて、圧電定数d=ΔQ/ΔFが演算されるようになっている。
【0028】
次に、前記特性測定装置10による圧電体Pの特性の測定手順につき説明する。
【0029】
先ず、試料とする圧電体Pを電極面42,43の間に挟んだ状態で設置台Tに載せる。そして、前記信号処理表示装置14に接続された押圧プローブ12の操作部23を手で持って、その押圧部21を圧電体Pの上側の電極面42に接触させる。このとき、圧電体Pに対して押圧プローブ12が略直立姿勢となるように、当該押圧プローブ12を保持する。そして、操作部23を図1の初期状態から指で下方に押し下げる。このとき、操作部23がコイルばね25の付勢力に抗した操作力で移動操作されることになり、当該操作力が圧電体Pの押圧力となる。このとき、力測定用回路30により、可変コンデンサ18にパルス信号が与えられ、圧電体Pの押圧力に応じて変化した静電容量の大きさに対応する電圧信号が出力端子39から取り出され、前記データ処理手段51により、圧電体Pに対する押圧力の大きさが求められる。
【0030】
一方、押圧部21が圧電体Pの上側の電極面42に接触していると、圧電体Pと電荷測定用回路31とが電気的に接続され、当該電荷測定用回路31で、圧電体Pの押圧により発生した電荷量に対応する電圧信号が生成される。そして、前記データ処理手段51では、電荷測定用回路31で生成された電圧信号から圧電体Pに発生した電荷量が求められる。この電荷量は、力測定用回路30からの電圧信号に基づいて求められた押圧力に対応付けられる。そして、これら押圧力や電荷量が表示部55で表示され、パーソナルコンピュータ15では、押圧力と電荷量との関係がグラフ化されて表示される他、圧電定数が求められ表示される。なお、この圧電定数は信号処理表示装置14側で求めてもよい。
【0031】
なお、前記図示例では、圧電体Pを上方から押圧したときの押圧力と電荷量との関係を求めたが、前記特性測定装置10では、図5に示されるように、圧電体Pを同図中側方から押圧したときの押圧力と電荷量との関係を求めることもできる。この場合は、押圧部21に、所定の絶縁材料からなる押し棒57を連結し、当該押し棒57の先端側(図5中左端側)を圧電体Pの側方に接触させる。そして、圧電体Pの上面の電極面42に、導電性を有する電極棒59を接触させ、当該電極棒59と押圧部21とを電気的に接続すれば、前述した場合と同様にして横からの押圧力と電荷量との関係を求めることができる。
【0032】
従って、このような実施形態によれば、押圧プローブ12を手で持ちながら圧電体Pの特性を簡単に測定することができ、押圧プローブ12が筆記具程度の大きさであることから、装置構成を大幅に小型化できるという効果を得る。また、圧電体Pの設置場所や設置姿勢が拘束されず、自由な場所及び姿勢で圧電体Pの特性を測定することができる他、圧電体Pに対し側方(横方向)から押圧したときの特性も簡単に測定することができる。
【0033】
なお、前記実施形態では、第1の電極26が第2の電極27に対して上下方向に移動可能としたが、本発明はこれに限らず、第2の電極27を第1の電極26に対して移動させてもよいし、また、各電極26,27がそれぞれ移動するようにしてもよい。
【0034】
また、各電極26,27は、前記実施形態の形状に限定されず、これら電極26,27の相対移動によるそれら相対領域の面積の変化に応じて、可変コンデンサ18の静電容量を可変とする限りにおいて、平板状等の他の形状を採用することも可能である。
【0035】
更に、押圧プローブ12による圧電体Pの押圧は、モータやシリンダ等のアクチュエータの動力を用いて行うこともできる。但し、前記実施形態のように、人間の手を用いて行う方が、特性測定装置10の小型化、簡素化を促進できる他、圧電体Pに付与される押圧力を変更する際に迅速な対応が可能になる。
【0036】
また、前記実施形態では、信号処理表示装置14を押圧プローブ12やパーソナルコンピュータ15と別途独立して設けたが、信号処理表示装置14の一部機能若しくは全機能を押圧プローブ12やパーソナルコンピュータ15に設けることも可能である。
【0037】
更に、前記実施形態では、可変コンデンサ18を圧電体Pの特性測定装置10に適用した例について説明したが、本発明はこれに限らず、所定部材の荷重を自動計測する計測装置等の他の装置、機器に対し、前記可変コンデンサ18を適用することもできる。
【0038】
その他、本発明における装置各部の構成は図示構成例に限定されるものではなく、実質的に同様の作用を奏する限りにおいて、種々の変更が可能である。
【0039】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、可変コンデンサの静電容量を、各電極の相対移動時に付与される力の大きさに応じて可変にし、また、当該力を押圧力として圧電体に伝達するようにしたから、特性測定装置の小型化に寄与でき、且つ、圧電特性を簡単に求めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施形態に係る圧電体の特性測定装置の概略構成図。
【図2】図1のA―A線に沿う押圧プローブの拡大断面図。
【図3】力測定用回路の回路図。
【図4】電荷測定用回路の回路図。
【図5】前記特性測定装置を用いて、圧電体を側方から押圧したときの当該圧電体の特性を測定する方法の説明図。
【符号の説明】
10 特性測定装置
18 可変コンデンサ
21 押圧部
25 コイルばね(付勢部材)
26 第1の電極
27 第2の電極
30 力測定用回路
31 電荷測定用回路
51 データ処理手段
P 圧電体
【発明の属する技術分野】
本発明は可変コンデンサ及びこれを用いた圧電体の特性測定装置に係り、更に詳しくは、圧電定数等の圧電特性を簡単に求めることに寄与する可変コンデンサ及びこれを用いた圧電体の特性測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
圧電体の特性測定装置としては、後記特許文献1の圧電定数測定装置が知られている。この測定装置は、測定対象の圧電薄膜を片持状に保持するホルダーと、モータの駆動によって前記圧電薄膜の自由端側を押圧する荷重針と、圧電薄膜及びホルダーが乗る電子はかりと、荷重針の押圧によって圧電薄膜に生じた電荷量を測定するチャージアンプとを備えて構成されている。この測定装置では、荷重針によって圧電薄膜が押圧されると、その押圧力を電子はかりで読み取れるようになっており、この読み取り値と圧電薄膜に生じた電荷量との関係から圧電薄膜の圧電定数がパソコンで求められる。
【0003】
【特許文献1】
特開2001−264373号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記測定装置にあっては、測定対象となる圧電体を電子はかりにセットしなければならず、測定対象となる圧電体が数多くある場合には、測定対象の圧電体をその都度セットし直さなければならず、測定作業が面倒になるという不都合がある。また、前記測定装置は、荷重針を上下動させるモータ及び荷重を計測する電子はかりが必要となるため、装置全体の大型化を招来することにもなる。
【0005】
【発明の目的】
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、装置の小型化に寄与でき、且つ、圧電特性を簡単に求めることに寄与できる可変コンデンサ及びこれを用いた圧電体の特性測定装置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため、本発明は、相互に非接触となる状態で相対移動可能な第1及び第2の電極を備え、これら電極の相対移動により各電極が相対する領域の面積が変化することで、静電容量を可変にする可変コンデンサにおいて、
前記第1及び第2の電極は、所定の付勢部材を介して相対移動可能に設けられ、この付勢部材は、前記各電極の相対移動時に付与される力の大きさに応じて、前記面積を変化させる、という構成を採っている。
【0007】
また、本発明は、前記可変コンデンサを用い、所定の圧電体への押圧力と、当該押圧力によって前記圧電体に生じた電荷量との関係を検出する圧電体の特性測定装置であって、
前記第1及び第2の電極の相対移動時に付与される力を前記押圧力として前記圧電体に伝達する押圧部と、前記可変コンデンサの静電容量に対応した変換信号を生成する力測定用回路と、前記電荷量に対応した変換信号を生成する電荷測定用回路と、これら各変換信号から、前記押圧力の大きさ及び電荷量を求めてそれらを対応させるデータ処理手段とを備える、という構成を採っている。
【0008】
以上のような構成によれば、各電極の相対移動時に付与される力が圧電体の押圧力となり、当該押圧力の大きさに応じて前記可変コンデンサの静電容量が変わることになるため、この静電容量を検出することで、前記押圧力を簡単に求めることができる。従って、当該押圧力の測定を行う際に、電子はかりのような大掛かりな計測装置が必要なく、コンパクトな装置構成で押圧力の測定が可能となる。また、各電極の相対移動を手で行うようにすることもでき、この場合には、圧電体に押圧力を付与するモータ等を不要にすることができる。以上により、装置全体の小型化に寄与できることになる。また、圧電体が乗る電子はかり等が不要になることから、圧電体の設置場所や設置姿勢を問わず圧電性能の検出が可能となり、圧電特性を簡単に求めることに寄与できる。例えば、測定対象の圧電体が多数ある場合、当該圧電体を任意の設置台に並べ、各圧電体を順番に押圧することで、各圧電体の圧電特性を簡単且つ迅速に求めることができる他、各圧電体の圧電定数等の比較も非常に簡単に行うことができる。
【0009】
なお、本明細書において「圧電体」とは、圧電性を有する部材、材料、素子、結晶等の各種物質を包括した概念として用いる。
【0010】
なお、本明細書において、「上」、「下」、「左」、「右」等の位置若しくは方向を示す用語は、特に明示しない限り、図1を正面側から見た場合における位置若しくは方向を意味する。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【0012】
図1には、本実施形態に係る圧電体の特性測定装置の概略構成図が示されている。この図において、特性測定装置10は、測定対象となる試料状の圧電体Pに押圧力を付与するための押圧プローブ12と、この押圧プローブ12に電気的に接続された信号処理表示装置14と、この信号処理表示装置14に接続されたパーソナルコンピュータ15とにより構成されている。
【0013】
前記押圧プローブ12は、略スティック状の外観形状をなし、筆記具のように手で把持可能となっている。この押圧プローブ12は、上下方向に延びる略中実円柱状の軸状部材17と、当該軸状部材17の上部寄りに設けられた可変コンデンサ18と、軸状部材17の下端側となる先端側に設けられた電気回路部19とを備えて構成されている。
【0014】
前記軸状部材17の先端側には、前記圧電体Pに接触して当該圧電体Pを押圧する押圧部21が設けられ、この押圧部21は、導電性材料によって形成されている。
【0015】
前記可変コンデンサ18は、図1及び図2に示されるように、所定の絶縁材料によって形成された筒状の操作部23と、この操作部23を軸状部材17に連結する付勢部材としてのコイルばね25と、操作部23の外周面に沿って配置された第1の電極26と、この第1の電極26の下方に位置する第2の電極27とを備えている。
【0016】
前記操作部23は、軸状部材17が隙間S1(図2参照)を介して挿通されており、当該軸状部材17の延出方向(上下方向)に沿って相対移動可能となっている。
【0017】
前記コイルばね25は、軸状部材17の外周側に巻回されており、一端側が操作部23の下端側に固定される一方、その下方に位置する他端側が軸状部材17の外周面に固定されている。これにより、押圧部21を圧電体Pに接触させた図1の状態で、コイルばね25が縮む方向(下方)に操作部23を移動すると、コイルばね25の付勢に抗して操作部23に付与された力が、押圧部21から圧電体Pに伝達され、その力が当該圧電体Pへの押圧力となる。このため、当該押圧力の大きさは、操作部23の下方への移動量に略比例することになる。なお、本実施形態では、コイルばね25を用いたが、前述と同様の作用を奏する限りにおいて、他のばね、ゴム等の他の付勢部材を代替適用することも可能である。
【0018】
前記第1の電極26は、両端が開放する薄肉の円筒状に設けられ、操作部23の下部外周面に固定されることで、当該操作部23と一体的に上下移動可能となっている。
【0019】
前記第2の電極27は、両端が開放する薄肉の円筒状に設けられ、軸状部材17が挿通された状態で、図示しない支持手段により、当該軸状部材17に固定的に支持されている。第2の電極27の内径は、図1の状態から下方に移動した操作部23及び第1の電極26を受容可能な寸法に設定されている。また、第2の電極27の内周面には、第1の電極26との電気的な接触を阻止する絶縁体29(図2参照)が被覆されている。この絶縁体29は、その内側に第1の電極26が受容された状態で、当該第1の電極26との間に僅かな隙間S2(図2参照)を形成可能に配置されている。これによって、第1の電極26は、第2の電極27に対し、相互に非接触となる状態で挿抜方向に移動可能となる。ここで、操作部23が操作されていない図1の初期状態では、第2の電極27の内部に第1の電極26の下端側が僅かに受容された状態となっており、コイルばね25を縮める方向すなわち圧電体Pを押圧する方向に操作部23を移動操作すると、第1の電極26の外周面と第2の電極27の内周面との相対領域の面積が増大し、各電極26,27における静電容量が増大することになる。つまり、第1及び第2の電極26,27は、コイルばね25を介して相対移動可能となっており、このコイルばね25は、操作部23の移動操作時の力すなわち圧電体Pへの押圧力の大きさに応じて、各電極26,27の相対領域の面積を変化させるように作用する。これら相対領域の面積が変化すると、可変コンデンサ18の静電容量が略比例的に変化することになる。
【0020】
前記電気回路部19は、可変コンデンサ19の静電容量に対応した変換信号を生成する力測定用回路30と、押圧部21による圧電体Pの押圧により発生した電荷量に対応した変換信号を生成する電荷測定用回路31とを備えている。
【0021】
前記力測定用回路30は、図3に示されるように、その一部に前記可変コンデンサ18が電気的に接続されるようになっており、その他、パルス発振器33、ショットキバリアダイオード34、抵抗35及びコンデンサ36が接続されている。前記パルス発振器33は、前記信号処理表示装置14に設けられたバッテリ38を電源として、所定のパルス信号(本実施形態では1MHzの信号)を回路に供給できるようになっている。この力測定用回路30は、パルス発振器33からのパルス信号を可変コンデンサ18に与えることで、回路の出力端子39,39で、可変コンデンサ18の静電容量の大きさに応じて変換された電圧信号(直流電圧)が得られるようになっている。ここで、可変コンデンサ17の静電容量は、前述したように、圧電体Pへの押圧力の変化に伴って変化するため、出力端子39では、圧電体Pへの押圧力に対応する電圧信号が得られることになる。
【0022】
前記電荷測定用回路31は、図4に示されるように、強誘電体D−Eヒステリシスの測定に用いられるソーヤ・タワー回路と実質的同一な回路構成となっている。すなわち、電荷測定用回路31は、圧電体Pの上下両面に配置された電極面42,43に対して電気的に接続される基準コンデンサ45と、この基準コンデンサ45の両端間の電圧を増幅する増幅部48と、増幅部48で増幅された電圧信号(直流電圧)を出力する出力端子49とを備えている。
【0023】
前記基準コンデンサ45は、前記押圧部21(図1参照)及び下側の電極面43が接触する0Vレベルの圧電体Pの設置台T(図1参照)に接続され、押圧部21が上側の電極面42に接触したときに、圧電体Pと電気的に並列接続されるようになっている。ここで、基準コンデンサ45の静電容量は、圧電体P側の静電容量よりも遥かに大きく設定されており(本実施形態では100倍以上)、押圧部21が圧電体Pに接触して押圧することで当該圧電体Pに生じた電荷は、殆ど基準コンデンサ45に蓄積されることになる。また、圧電体Pよりも静電容量が遥かに大きい基準コンデンサ45と圧電体Pとが並列接続されることで、圧電体Pの静電容量の変化を無視でき、圧電体Pの両端の電圧を低く抑えることが可能となる。これによって、圧電体Pに電場が生じることを抑制したり、圧電体Pのコンダクタンスにより電荷が減少するのを防止可能となる。
【0024】
前記増幅部48は、前記バッテリ38を電源として作動するようになっている。なお、増幅部48の入力部分の絶縁性を考慮して、余分なものが付かないように、押圧部21及び基準コンデンサ45は、押圧プローブ12の先端側に取り付けられている。
【0025】
前記信号処理表示装置14は、図1に示されるように、前記バッテリ38と、前記力測定用回路30及び電荷測定用回路31で得られた電圧信号から、圧電体Pへの押圧力の大きさ及びその際に発生した圧電体Pの電荷量を求め、それらを対応させる処理を行うデータ処理手段51と、このデータ処理手段51で求められた押圧力の大きさ及び圧電体Pの電荷量を表示する表示部52とを備えている。
【0026】
前記データ処理手段51は、力測定用回路30及び電荷測定用回路31の各出力端子39,49(図3,図4参照)間の電圧信号をデジタル信号に変換するADコンバータ等からなる変換部54と、変換部54からのデジタル信号から、予め記憶された変換データを用いて押圧力の大きさ及び圧電体Pの電荷量を求めるワンチップマイコン(CPU)等からなる処理部55とを備えて構成されている。
【0027】
前記パーソナルコンピュータ15は、データ処理手段51によって求められた押圧力の大きさ及び圧電体Pの電荷量の関係をグラフ化し、それらデータを保存できるようになっている。また、前記グラフを用いて、圧電定数d=ΔQ/ΔFが演算されるようになっている。
【0028】
次に、前記特性測定装置10による圧電体Pの特性の測定手順につき説明する。
【0029】
先ず、試料とする圧電体Pを電極面42,43の間に挟んだ状態で設置台Tに載せる。そして、前記信号処理表示装置14に接続された押圧プローブ12の操作部23を手で持って、その押圧部21を圧電体Pの上側の電極面42に接触させる。このとき、圧電体Pに対して押圧プローブ12が略直立姿勢となるように、当該押圧プローブ12を保持する。そして、操作部23を図1の初期状態から指で下方に押し下げる。このとき、操作部23がコイルばね25の付勢力に抗した操作力で移動操作されることになり、当該操作力が圧電体Pの押圧力となる。このとき、力測定用回路30により、可変コンデンサ18にパルス信号が与えられ、圧電体Pの押圧力に応じて変化した静電容量の大きさに対応する電圧信号が出力端子39から取り出され、前記データ処理手段51により、圧電体Pに対する押圧力の大きさが求められる。
【0030】
一方、押圧部21が圧電体Pの上側の電極面42に接触していると、圧電体Pと電荷測定用回路31とが電気的に接続され、当該電荷測定用回路31で、圧電体Pの押圧により発生した電荷量に対応する電圧信号が生成される。そして、前記データ処理手段51では、電荷測定用回路31で生成された電圧信号から圧電体Pに発生した電荷量が求められる。この電荷量は、力測定用回路30からの電圧信号に基づいて求められた押圧力に対応付けられる。そして、これら押圧力や電荷量が表示部55で表示され、パーソナルコンピュータ15では、押圧力と電荷量との関係がグラフ化されて表示される他、圧電定数が求められ表示される。なお、この圧電定数は信号処理表示装置14側で求めてもよい。
【0031】
なお、前記図示例では、圧電体Pを上方から押圧したときの押圧力と電荷量との関係を求めたが、前記特性測定装置10では、図5に示されるように、圧電体Pを同図中側方から押圧したときの押圧力と電荷量との関係を求めることもできる。この場合は、押圧部21に、所定の絶縁材料からなる押し棒57を連結し、当該押し棒57の先端側(図5中左端側)を圧電体Pの側方に接触させる。そして、圧電体Pの上面の電極面42に、導電性を有する電極棒59を接触させ、当該電極棒59と押圧部21とを電気的に接続すれば、前述した場合と同様にして横からの押圧力と電荷量との関係を求めることができる。
【0032】
従って、このような実施形態によれば、押圧プローブ12を手で持ちながら圧電体Pの特性を簡単に測定することができ、押圧プローブ12が筆記具程度の大きさであることから、装置構成を大幅に小型化できるという効果を得る。また、圧電体Pの設置場所や設置姿勢が拘束されず、自由な場所及び姿勢で圧電体Pの特性を測定することができる他、圧電体Pに対し側方(横方向)から押圧したときの特性も簡単に測定することができる。
【0033】
なお、前記実施形態では、第1の電極26が第2の電極27に対して上下方向に移動可能としたが、本発明はこれに限らず、第2の電極27を第1の電極26に対して移動させてもよいし、また、各電極26,27がそれぞれ移動するようにしてもよい。
【0034】
また、各電極26,27は、前記実施形態の形状に限定されず、これら電極26,27の相対移動によるそれら相対領域の面積の変化に応じて、可変コンデンサ18の静電容量を可変とする限りにおいて、平板状等の他の形状を採用することも可能である。
【0035】
更に、押圧プローブ12による圧電体Pの押圧は、モータやシリンダ等のアクチュエータの動力を用いて行うこともできる。但し、前記実施形態のように、人間の手を用いて行う方が、特性測定装置10の小型化、簡素化を促進できる他、圧電体Pに付与される押圧力を変更する際に迅速な対応が可能になる。
【0036】
また、前記実施形態では、信号処理表示装置14を押圧プローブ12やパーソナルコンピュータ15と別途独立して設けたが、信号処理表示装置14の一部機能若しくは全機能を押圧プローブ12やパーソナルコンピュータ15に設けることも可能である。
【0037】
更に、前記実施形態では、可変コンデンサ18を圧電体Pの特性測定装置10に適用した例について説明したが、本発明はこれに限らず、所定部材の荷重を自動計測する計測装置等の他の装置、機器に対し、前記可変コンデンサ18を適用することもできる。
【0038】
その他、本発明における装置各部の構成は図示構成例に限定されるものではなく、実質的に同様の作用を奏する限りにおいて、種々の変更が可能である。
【0039】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、可変コンデンサの静電容量を、各電極の相対移動時に付与される力の大きさに応じて可変にし、また、当該力を押圧力として圧電体に伝達するようにしたから、特性測定装置の小型化に寄与でき、且つ、圧電特性を簡単に求めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施形態に係る圧電体の特性測定装置の概略構成図。
【図2】図1のA―A線に沿う押圧プローブの拡大断面図。
【図3】力測定用回路の回路図。
【図4】電荷測定用回路の回路図。
【図5】前記特性測定装置を用いて、圧電体を側方から押圧したときの当該圧電体の特性を測定する方法の説明図。
【符号の説明】
10 特性測定装置
18 可変コンデンサ
21 押圧部
25 コイルばね(付勢部材)
26 第1の電極
27 第2の電極
30 力測定用回路
31 電荷測定用回路
51 データ処理手段
P 圧電体
Claims (2)
- 相互に非接触となる状態で相対移動可能な第1及び第2の電極を備え、これら電極の相対移動により各電極が相対する領域の面積が変化することで、静電容量を可変にする可変コンデンサにおいて、
前記第1及び第2の電極は、所定の付勢部材を介して相対移動可能に設けられ、この付勢部材は、前記各電極の相対移動時に付与される力の大きさに応じて、前記面積を変化させることを特徴とする可変コンデンサ。 - 請求項1記載の可変コンデンサを用い、所定の圧電体への押圧力と、当該押圧力によって前記圧電体に生じた電荷量との関係を検出する圧電体の特性測定装置であって、
前記第1及び第2の電極の相対移動時に付与される力を前記押圧力として前記圧電体に伝達する押圧部と、前記可変コンデンサの静電容量に対応した変換信号を生成する力測定用回路と、前記電荷量に対応した変換信号を生成する電荷測定用回路と、これら各変換信号から、前記押圧力の大きさ及び電荷量を求めてそれらを対応させるデータ処理手段とを備えたことを特徴とする圧電体の特性測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003025362A JP2004235589A (ja) | 2003-02-03 | 2003-02-03 | 可変コンデンサ及びこれを用いた圧電体の特性測定装置 |
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JP2003025362A JP2004235589A (ja) | 2003-02-03 | 2003-02-03 | 可変コンデンサ及びこれを用いた圧電体の特性測定装置 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012098099A (ja) * | 2010-10-30 | 2012-05-24 | Kyocera Corp | 圧電特性計測システムおよび圧電特性計測方法 |
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KR20160083517A (ko) * | 2014-12-31 | 2016-07-12 | 한국기계연구원 | 압전 나노 소재의 압전 특성 측정 장치, 시스템 및 방법 |
-
2003
- 2003-02-03 JP JP2003025362A patent/JP2004235589A/ja active Pending
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KR101642716B1 (ko) * | 2014-12-31 | 2016-07-28 | 한국기계연구원 | 압전 나노 소재의 압전 특성 측정 장치, 시스템 및 방법 |
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