JP5578810B2 - 静電容量型の電気機械変換装置 - Google Patents
静電容量型の電気機械変換装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5578810B2 JP5578810B2 JP2009146936A JP2009146936A JP5578810B2 JP 5578810 B2 JP5578810 B2 JP 5578810B2 JP 2009146936 A JP2009146936 A JP 2009146936A JP 2009146936 A JP2009146936 A JP 2009146936A JP 5578810 B2 JP5578810 B2 JP 5578810B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- voltage
- current
- wiring
- upper electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N1/00—Electrostatic generators or motors using a solid moving electrostatic charge carrier
- H02N1/002—Electrostatic motors
- H02N1/006—Electrostatic motors of the gap-closing type
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/0292—Electrostatic transducers, e.g. electret-type
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
- Micromachines (AREA)
Description
図1に、本実施形態に係る電気機械変換装置の断面の模式図を示す。本実施形態では、第1の電極を上部電極、第2の電極を下部電極として説明を行う。上部電極102が形成された振動膜101は、基板106上に形成された支持部103により支持されており、上部電極102と共に振動するようになっている。振動膜101上の上部電極102と、間隙104を介して対向する位置に、下部電極105が基板106上に形成されている。本発明においては、1つの間隙104を挟んで対向する上部電極と下部電極とを備えた構成をセル107と呼ぶ。エレメント(素子)108は、このセル107を1つ以上有する。具体的には、1つのセル107、又は、複数(少なくとも2つ)のセルが電気的に接続(並列に接続)された構成である。図1においては2つのセルで1つのエレメントを形成しているが、本発明はこれに限られるものではなく、複数のセルを2次元アレイ状に接続しても良い。また、エレメントは複数形成(2つ以上形成)されているものとする。
次に、第2の実施形態を、図3を用いて説明する。第2の実施形態は、上部電極及び下部電極からの配線の構成に関する。それ以外は、第1の実施形態と同じである。
次に、第3の実施形態を、図4を用いて説明する。第3の実施形態は、直流電圧印加手段201に印加する直流電圧を指示する制御信号生成手段を有している点に特徴がある。それ以外は、第1から第2の実施形態の何れかと同じである。
次に、第4の実施形態を、図5を用いて説明する。第4の実施形態は、上部電極に印加する直流電圧に交流電圧を重畳する交流電圧重畳手段403を有している点に特徴がある。それ以外は、第3の実施形態とほぼ同じである。図5に、本実施形態に係る電気機械変換装置の構成図を示す。
次に、第5の実施形態を、図6を用いて説明する。第5の実施形態は、電流検出手段205が、撓み量ばらつき測定時と、超音波の測定時の回路パラメータを切り替える構成になっていることが特徴である。それ以外は、第4の実施形態と同じである。
102 上部電極(第1の電極)
103 支持部
104 間隙
105 下部電極(第2の電極)
106 基板
201 直流電圧印加手段
202 駆動検出手段
203 交流電圧発生手段
204 保護スイッチ
205 電流検出手段
301 下部電極用貫通配線
302 上部電極用貫通配線
303 貫通配線基板
401 振動膜状態検出手段
402 制御信号生成手段
403 交流電圧重畳手段
404 信号切替手段
608 回路素子切替手段
Claims (6)
- 第1の電極と、前記第1の電極との間に間隙を挟んで設けられた第2の電極と、を備えるセルを1つ以上有する素子が複数形成された電気機械変換装置であって、
前記第1の電極及び前記第2の電極は夫々、前記素子毎に電気的に分離されており、
前記第1の電極に接続され、前記素子毎に独立して直流電圧を印加する直流電圧印加手段と、
前記素子毎に前記第1の電極用の貫通配線と前記第2の電極用の貫通配線が夫々1つずつ形成されている基板と、
を有することを特徴とする電気機械変換装置。 - 第1の電極と、前記第1の電極との間に間隙を挟んで設けられた第2の電極と、を備えるセルを1つ以上有する素子が複数形成された電気機械変換装置であって、
前記第1の電極及び前記第2の電極は夫々、前記素子毎に電気的に分離されており、
前記第1の電極に接続され、前記素子毎に独立して直流電圧を印加する直流電圧印加手段と、
前記第2の電極に接続され、前記第2の電極に発生する電流を検出する電流検出手段と、
検出された前記電流をもとにして前記直流電圧印加手段に印加する直流電圧を指示する制御信号生成手段と、
を有することを特徴とする電気機械変換装置。 - 前記複数の素子の夫々は、複数の前記セルを有し、
1つの素子内において前記複数のセルは互いに電気的に接続され、
素子間においてセル同士は電気的に分離されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の電気機械変換装置。 - 前記素子内の、前記第1の電極と前記第2の電極の数は同数であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の電気機械変換装置。
- 前記第1の電極に接続され、前記直流電圧に交流電圧を重畳させる交流電圧重畳手段を有し、
前記電流検出手段は、前記交流電圧により発生する電流を検出し、
前記制御信号生成手段は、前記交流電圧により発生する前記電流をもとにして前記直流電圧を指示することを特徴とする請求項2に記載の電気機械変換装置。 - 前記交流電圧により発生する電流を検出する場合は前記電流検出手段からの出力信号を前記制御信号生成手段に接続し、前記第1の電極又は第2の電極が形成される振動膜の振動により発生する電流を検出する場合は前記電流検出手段からの出力信号を前記制御信号生成手段に接続しないように切り替える信号切替手段を有することを特徴とする請求項5に記載の電気機械変換装置。
Priority Applications (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009146936A JP5578810B2 (ja) | 2009-06-19 | 2009-06-19 | 静電容量型の電気機械変換装置 |
CN201080026305.XA CN102458692B (zh) | 2009-06-19 | 2010-06-15 | 电容型电气机械变换器 |
PCT/JP2010/003974 WO2010146838A2 (en) | 2009-06-19 | 2010-06-15 | Capacitive electromechanical transducer |
US13/377,925 US8928203B2 (en) | 2009-06-19 | 2010-06-15 | Capacitive electromechanical transducer |
EP10731610.1A EP2442918B1 (en) | 2009-06-19 | 2010-06-15 | Capacitive electromechanical transducer |
CN201510213503.1A CN104923467B (zh) | 2009-06-19 | 2010-06-15 | 电容型电气机械变换器 |
US14/562,464 US9774276B2 (en) | 2009-06-19 | 2014-12-05 | Capacitive electromechanical transducer |
US15/680,061 US20170366104A1 (en) | 2009-06-19 | 2017-08-17 | Capacitive electromechanical transducer |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009146936A JP5578810B2 (ja) | 2009-06-19 | 2009-06-19 | 静電容量型の電気機械変換装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014086613A Division JP5859056B2 (ja) | 2014-04-18 | 2014-04-18 | 静電容量型の電気機械変換装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011004280A JP2011004280A (ja) | 2011-01-06 |
JP5578810B2 true JP5578810B2 (ja) | 2014-08-27 |
Family
ID=43087151
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009146936A Active JP5578810B2 (ja) | 2009-06-19 | 2009-06-19 | 静電容量型の電気機械変換装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US8928203B2 (ja) |
EP (1) | EP2442918B1 (ja) |
JP (1) | JP5578810B2 (ja) |
CN (2) | CN104923467B (ja) |
WO (1) | WO2010146838A2 (ja) |
Families Citing this family (44)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5578810B2 (ja) * | 2009-06-19 | 2014-08-27 | キヤノン株式会社 | 静電容量型の電気機械変換装置 |
JP5409138B2 (ja) * | 2009-06-19 | 2014-02-05 | キヤノン株式会社 | 電気機械変換装置、電気機械変換装置の感度ばらつき検出方法、及び補正方法 |
JP5338825B2 (ja) * | 2011-02-23 | 2013-11-13 | オムロン株式会社 | 音響センサ及びマイクロフォン |
US20130331705A1 (en) * | 2011-03-22 | 2013-12-12 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Ultrasonic cmut with suppressed acoustic coupling to the substrate |
JP5875244B2 (ja) | 2011-04-06 | 2016-03-02 | キヤノン株式会社 | 電気機械変換装置及びその作製方法 |
JP5812660B2 (ja) * | 2011-04-19 | 2015-11-17 | キヤノン株式会社 | 電気機械変換装置及びその製造方法 |
US9557857B2 (en) | 2011-04-26 | 2017-01-31 | Synaptics Incorporated | Input device with force sensing and haptic response |
JP5472204B2 (ja) * | 2011-05-27 | 2014-04-16 | 株式会社日本自動車部品総合研究所 | インジェクタ状態検出装置 |
US9748952B2 (en) | 2011-09-21 | 2017-08-29 | Synaptics Incorporated | Input device with integrated deformable electrode structure for force sensing |
JP5842533B2 (ja) * | 2011-10-26 | 2016-01-13 | コニカミノルタ株式会社 | 超音波プローブおよび超音波検査装置 |
JP5893352B2 (ja) | 2011-11-14 | 2016-03-23 | キヤノン株式会社 | 電気機械変換装置 |
US9454954B2 (en) * | 2012-05-01 | 2016-09-27 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Ultra wide bandwidth transducer with dual electrode |
US8767512B2 (en) | 2012-05-01 | 2014-07-01 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Multi-frequency ultra wide bandwidth transducer |
JP6057571B2 (ja) * | 2012-07-06 | 2017-01-11 | キヤノン株式会社 | 静電容量型トランスデューサ |
US20140104184A1 (en) * | 2012-10-11 | 2014-04-17 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Backplate electrode sensor |
US9660170B2 (en) | 2012-10-26 | 2017-05-23 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Micromachined ultrasonic transducer arrays with multiple harmonic modes |
KR101407489B1 (ko) * | 2012-11-29 | 2014-06-13 | 서울대학교산학협력단 | 액체를 이용한 에너지 전환 장치 |
CN103368458B (zh) * | 2012-11-30 | 2016-01-20 | 北京纳米能源与系统研究所 | 脉冲发电机和发电机组 |
US9375850B2 (en) * | 2013-02-07 | 2016-06-28 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Micromachined ultrasonic transducer devices with metal-semiconductor contact for reduced capacitive cross-talk |
EP2796210B1 (en) * | 2013-04-25 | 2016-11-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Capacitive transducer and method of manufacturing the same |
JP6238556B2 (ja) | 2013-04-25 | 2017-11-29 | キヤノン株式会社 | 被検体情報取得装置およびその制御方法、ならびに探触子 |
EP2796209B1 (en) | 2013-04-25 | 2020-06-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Capacitive transducer and method of manufacturing the same |
JP6234073B2 (ja) * | 2013-06-07 | 2017-11-22 | キヤノン株式会社 | 静電容量型トランスデューサの駆動装置、及び被検体情報取得装置 |
JP5855050B2 (ja) * | 2013-07-10 | 2016-02-09 | キヤノン株式会社 | トランスデューサ、被検体情報取得装置 |
JP6189167B2 (ja) * | 2013-10-10 | 2017-08-30 | 株式会社日立製作所 | 超音波探触子およびそれを用いた超音波診断装置 |
JP5952850B2 (ja) | 2014-03-31 | 2016-07-13 | 株式会社豊田中央研究所 | Memsデバイス |
JP6702658B2 (ja) * | 2014-06-12 | 2020-06-03 | キヤノン株式会社 | トランスデューサ、及び測定装置 |
JP6553174B2 (ja) * | 2014-09-11 | 2019-07-31 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェKoninklijke Philips N.V. | 広帯域の体内通過超音波通信システム |
JP6552177B2 (ja) * | 2014-10-10 | 2019-07-31 | キヤノン株式会社 | 静電容量型トランスデューサ及びその駆動方法 |
LU92654B1 (de) * | 2015-02-13 | 2016-08-16 | Beckmann Günter | Elektrostatischer mikrogenerator und verfahren zur erzeugung elektrischer energie mittels eines elektrostatischen mikrogenerators |
KR20170128535A (ko) | 2015-03-16 | 2017-11-22 | 더 리젠츠 오브 더 유니버시티 오브 캘리포니아 | 초음파 마이크로폰 및 초음파 음향 라디오 |
US10427188B2 (en) * | 2015-07-30 | 2019-10-01 | North Carolina State University | Anodically bonded vacuum-sealed capacitive micromachined ultrasonic transducer (CMUT) |
US9987661B2 (en) * | 2015-12-02 | 2018-06-05 | Butterfly Network, Inc. | Biasing of capacitive micromachined ultrasonic transducers (CMUTs) and related apparatus and methods |
JP6309034B2 (ja) * | 2016-01-18 | 2018-04-11 | キヤノン株式会社 | 電気機械変換装置及びその作製方法 |
JP6708457B2 (ja) * | 2016-03-29 | 2020-06-10 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド及び液体の循環方法 |
US11529120B2 (en) * | 2016-04-26 | 2022-12-20 | Koninklijke Philips N.V. | Ultrasound device contacting |
JP6707000B2 (ja) * | 2016-08-31 | 2020-06-10 | 国立大学法人 東京大学 | 超音波発生デバイス |
EP3482835A1 (en) * | 2017-11-14 | 2019-05-15 | Koninklijke Philips N.V. | Capacitive micro-machined ultrasound transducer (cmut) devices and control methods |
JP6942670B2 (ja) * | 2018-04-19 | 2021-09-29 | 株式会社日立製作所 | 超音波検査装置および超音波プローブ |
CN108616794B (zh) * | 2018-04-25 | 2020-07-24 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种发音装置及其制作方法 |
KR102196437B1 (ko) * | 2019-01-29 | 2020-12-30 | 한국과학기술연구원 | 정전용량형 미세가공 초음파 트랜스듀서 |
JP7516009B2 (ja) * | 2019-02-20 | 2024-07-16 | キヤノン株式会社 | 発振器、撮像装置 |
US11173520B2 (en) | 2020-01-20 | 2021-11-16 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Pulse train excitation for capacative micromachined ultrasonic transducer |
FR3110834B1 (fr) * | 2020-05-28 | 2022-04-22 | Moduleus | Dispositif d'imagerie ultrasonore à adressage ligne-colonne |
Family Cites Families (38)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6605043B1 (en) * | 1998-11-19 | 2003-08-12 | Acuson Corp. | Diagnostic medical ultrasound systems and transducers utilizing micro-mechanical components |
US6430109B1 (en) | 1999-09-30 | 2002-08-06 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Array of capacitive micromachined ultrasonic transducer elements with through wafer via connections |
US6443901B1 (en) * | 2000-06-15 | 2002-09-03 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Capacitive micromachined ultrasonic transducers |
US20020115198A1 (en) | 2000-09-20 | 2002-08-22 | Nerenberg Michael I. | Microfabricated ultrasound array for use as resonant sensors |
US6795374B2 (en) | 2001-09-07 | 2004-09-21 | Siemens Medical Solutions Usa, Inc. | Bias control of electrostatic transducers |
US6831394B2 (en) * | 2002-12-11 | 2004-12-14 | General Electric Company | Backing material for micromachined ultrasonic transducer devices |
US6865140B2 (en) | 2003-03-06 | 2005-03-08 | General Electric Company | Mosaic arrays using micromachined ultrasound transducers |
WO2004102203A1 (ja) * | 2003-05-16 | 2004-11-25 | Olympus Corporation | 超音波プラットフォーム型マイクロチップ及びアレイ状超音波トランスデューサの駆動方法 |
JP2007505543A (ja) * | 2003-09-10 | 2007-03-08 | コニンクリユケ フィリップス エレクトロニクス エヌ.ブイ. | 電気機械的トランスデューサおよび電気装置 |
EP1671589A4 (en) | 2003-10-02 | 2009-07-15 | Hitachi Medical Corp | ULTRASONIC PROBE, ULTRASONOGRAPHIC DEVICE, AND ULTRASONOGRAPHIC PROCESS |
EP1762182B1 (en) * | 2004-06-10 | 2011-08-03 | Olympus Corporation | Electrostatic capacity type ultrasonic probe device |
US7451650B2 (en) | 2004-08-27 | 2008-11-18 | General Electric Company | Systems and methods for adjusting gain within an ultrasound probe |
US8333703B2 (en) | 2004-10-15 | 2012-12-18 | Hitachi Medical Corporation | Ultrasonic diagnostic apparatus |
JP5179058B2 (ja) * | 2004-10-15 | 2013-04-10 | 株式会社日立メディコ | 超音波診断装置 |
JP4523879B2 (ja) * | 2005-06-20 | 2010-08-11 | 株式会社日立製作所 | 電気・音響変換素子、アレイ型超音波トランスデューサおよび超音波診断装置 |
WO2007015219A2 (en) * | 2005-08-03 | 2007-02-08 | Kolo Technologies, Inc. | Micro-electro-mechanical transducer having a surface plate |
CN101304691B (zh) * | 2005-11-11 | 2011-10-26 | 株式会社日立医药 | 超声波探头及超声波诊断装置 |
JP4839099B2 (ja) * | 2006-03-03 | 2011-12-14 | オリンパスメディカルシステムズ株式会社 | マイクロマシンプロセスにより製造された超音波振動子、超音波振動子装置、その体腔内超音波診断装置、及びその制御方法 |
JP4756642B2 (ja) * | 2006-03-16 | 2011-08-24 | オリンパス株式会社 | 可変形状鏡 |
JP4285537B2 (ja) * | 2006-12-20 | 2009-06-24 | セイコーエプソン株式会社 | 静電型超音波トランスデューサ |
EP2145505A1 (de) * | 2007-05-07 | 2010-01-20 | Baumer Electric AG | Akustischer wandler |
US20080315331A1 (en) * | 2007-06-25 | 2008-12-25 | Robert Gideon Wodnicki | Ultrasound system with through via interconnect structure |
US20090001846A1 (en) * | 2007-06-27 | 2009-01-01 | Seagate Technology Llc | Electrostatic Surface Drive With Multiple Operating Voltages |
EP2207484B1 (en) * | 2007-09-17 | 2016-11-09 | Koninklijke Philips N.V. | Production of pre-collapsed capacitive micro-machined ultrasonic transducers and applications thereof |
JP5578810B2 (ja) * | 2009-06-19 | 2014-08-27 | キヤノン株式会社 | 静電容量型の電気機械変換装置 |
JP5414546B2 (ja) * | 2010-01-12 | 2014-02-12 | キヤノン株式会社 | 容量検出型の電気機械変換素子 |
JP5734620B2 (ja) * | 2010-10-27 | 2015-06-17 | オリンパス株式会社 | 超音波プローブ装置及びその制御方法 |
JP5603739B2 (ja) * | 2010-11-02 | 2014-10-08 | キヤノン株式会社 | 静電容量型電気機械変換装置 |
KR20120047599A (ko) * | 2010-11-04 | 2012-05-14 | 삼성전자주식회사 | 초음파 트랜스듀서의 셀, 채널 및 상기 채널을 포함하는 초음파 트랜스듀서 |
JP5947511B2 (ja) * | 2011-09-08 | 2016-07-06 | キヤノン株式会社 | 電気機械変換装置 |
JP5893352B2 (ja) * | 2011-11-14 | 2016-03-23 | キヤノン株式会社 | 電気機械変換装置 |
CN104066520A (zh) * | 2012-01-27 | 2014-09-24 | 皇家飞利浦有限公司 | 电容式微机械换能器及其制造方法 |
US20160296207A1 (en) * | 2013-11-18 | 2016-10-13 | Koninklijke Philips N.V. | Ultrasound transducer assembly |
KR102155695B1 (ko) * | 2014-02-12 | 2020-09-21 | 삼성전자주식회사 | 전기 음향 변환기 |
JP6562667B2 (ja) * | 2014-04-12 | 2019-08-21 | キヤノン株式会社 | 静電容量型トランスデューサ、その製造方法、及び被検体情報取得装置 |
JP2016039512A (ja) * | 2014-08-08 | 2016-03-22 | キヤノン株式会社 | 電極が貫通配線と繋がったデバイス、及びその製造方法 |
WO2016140632A1 (en) | 2015-03-02 | 2016-09-09 | Solmaz Alüminyum Doğrama Sanayi̇ Ve Ti̇caret Li̇mi̇ted Şi̇rketi | Functional reflector |
JP6548566B2 (ja) * | 2015-12-15 | 2019-07-24 | キヤノン株式会社 | 貫通配線基板の作製方法、及び電子デバイスの作製方法 |
-
2009
- 2009-06-19 JP JP2009146936A patent/JP5578810B2/ja active Active
-
2010
- 2010-06-15 US US13/377,925 patent/US8928203B2/en active Active
- 2010-06-15 CN CN201510213503.1A patent/CN104923467B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2010-06-15 EP EP10731610.1A patent/EP2442918B1/en active Active
- 2010-06-15 CN CN201080026305.XA patent/CN102458692B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2010-06-15 WO PCT/JP2010/003974 patent/WO2010146838A2/en active Application Filing
-
2014
- 2014-12-05 US US14/562,464 patent/US9774276B2/en active Active
-
2017
- 2017-08-17 US US15/680,061 patent/US20170366104A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011004280A (ja) | 2011-01-06 |
WO2010146838A3 (en) | 2011-11-24 |
US20150091477A1 (en) | 2015-04-02 |
EP2442918B1 (en) | 2019-10-23 |
US9774276B2 (en) | 2017-09-26 |
CN102458692A (zh) | 2012-05-16 |
WO2010146838A2 (en) | 2010-12-23 |
CN102458692B (zh) | 2015-05-20 |
EP2442918A2 (en) | 2012-04-25 |
CN104923467A (zh) | 2015-09-23 |
US20120086307A1 (en) | 2012-04-12 |
US20170366104A1 (en) | 2017-12-21 |
US8928203B2 (en) | 2015-01-06 |
CN104923467B (zh) | 2017-09-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5578810B2 (ja) | 静電容量型の電気機械変換装置 | |
JP5473579B2 (ja) | 静電容量型電気機械変換装置の制御装置、及び静電容量型電気機械変換装置の制御方法 | |
JP5511260B2 (ja) | 容量型電気機械変換装置、及びその感度調整方法 | |
EP2269746B1 (en) | Collapsed mode capacitive sensor | |
JP5947511B2 (ja) | 電気機械変換装置 | |
JP5424847B2 (ja) | 電気機械変換装置 | |
JP5859056B2 (ja) | 静電容量型の電気機械変換装置 | |
JP6234073B2 (ja) | 静電容量型トランスデューサの駆動装置、及び被検体情報取得装置 | |
US8256302B2 (en) | Capacitive electro-mechanical transducer | |
EP2442919B1 (en) | Electromechanical transducer and method for detecting sensitivity variation of electromechanical transducer | |
WO2013132842A1 (ja) | 荷重センサ | |
JP2019041349A (ja) | Mems素子 | |
JP5855142B2 (ja) | 静電容量型トランスデューサの制御装置、及び静電容量型トランスデューサの制御方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120619 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130611 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130809 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140121 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140418 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20140428 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140610 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140708 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5578810 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |