JP2019041349A - Mems素子 - Google Patents
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- バックチャンバーを備えた基板と、該基板上に、スペーサーを挟んで固定電極を含む固定電極膜と可動電極を含む可動電極膜とが対向配置しているMEMS素子において、
前記可動電極膜の一部を圧電性材料で構成するとともに、該圧電性材料の少なくとも一部を挟んで第1の電極と第2の電極とを配置し、
前記可動電極膜の変位を、前記固定電極と前記可動電極間の容量変化に基づく第1の信号として出力するとともに、前記第1の電極と前記第2の電極間の前記圧電性材料の起電圧に基づく第2の信号として出力することを特徴とするMEMS素子。 - 請求項1記載のMEMS素子において、前記可動電極膜は、前記基板と前記スペーサーとにより支持され、該支持側の前記可動電極膜の一部を圧電性基板で構成することを特徴とするMEMS素子。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110267185A (zh) * | 2019-06-29 | 2019-09-20 | 瑞声科技(南京)有限公司 | 压电式与电容式相结合的mems麦克风 |
CN112885955A (zh) * | 2021-01-11 | 2021-06-01 | 中国科学院声学研究所 | 一种压电传感器及麦克风 |
JP2021097302A (ja) * | 2019-12-16 | 2021-06-24 | 新日本無線株式会社 | Mems素子 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002095091A (ja) * | 2000-09-14 | 2002-03-29 | Nippon Ceramic Co Ltd | マイクロホン |
JP2002095092A (ja) * | 2000-09-18 | 2002-03-29 | Nippon Ceramic Co Ltd | マイクロホン |
JP2007013509A (ja) * | 2005-06-30 | 2007-01-18 | Sanyo Electric Co Ltd | 音響センサおよびダイアフラム |
US20160142828A1 (en) * | 2014-11-17 | 2016-05-19 | Hyundai Motor Company | Micro phone sensor |
-
2017
- 2017-08-29 JP JP2017163978A patent/JP2019041349A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002095091A (ja) * | 2000-09-14 | 2002-03-29 | Nippon Ceramic Co Ltd | マイクロホン |
JP2002095092A (ja) * | 2000-09-18 | 2002-03-29 | Nippon Ceramic Co Ltd | マイクロホン |
JP2007013509A (ja) * | 2005-06-30 | 2007-01-18 | Sanyo Electric Co Ltd | 音響センサおよびダイアフラム |
US20160142828A1 (en) * | 2014-11-17 | 2016-05-19 | Hyundai Motor Company | Micro phone sensor |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110267185A (zh) * | 2019-06-29 | 2019-09-20 | 瑞声科技(南京)有限公司 | 压电式与电容式相结合的mems麦克风 |
CN110267185B (zh) * | 2019-06-29 | 2021-12-17 | 瑞声科技(南京)有限公司 | 压电式与电容式相结合的mems麦克风 |
JP2021097302A (ja) * | 2019-12-16 | 2021-06-24 | 新日本無線株式会社 | Mems素子 |
JP7499020B2 (ja) | 2019-12-16 | 2024-06-13 | 日清紡マイクロデバイス株式会社 | Mems素子 |
CN112885955A (zh) * | 2021-01-11 | 2021-06-01 | 中国科学院声学研究所 | 一种压电传感器及麦克风 |
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