JP2002095092A - マイクロホン - Google Patents

マイクロホン

Info

Publication number
JP2002095092A
JP2002095092A JP2000282141A JP2000282141A JP2002095092A JP 2002095092 A JP2002095092 A JP 2002095092A JP 2000282141 A JP2000282141 A JP 2000282141A JP 2000282141 A JP2000282141 A JP 2000282141A JP 2002095092 A JP2002095092 A JP 2002095092A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
piezoelectric
plate
electrode
output
piezoelectric film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000282141A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshiharu Taniguchi
義晴 谷口
Takumi Matsushima
巧 松島
Masahiko Moriguchi
雅彦 森口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Ceramic Co Ltd
Original Assignee
Nippon Ceramic Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Ceramic Co Ltd filed Critical Nippon Ceramic Co Ltd
Priority to JP2000282141A priority Critical patent/JP2002095092A/ja
Publication of JP2002095092A publication Critical patent/JP2002095092A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
  • Electrostatic, Electromagnetic, Magneto- Strictive, And Variable-Resistance Transducers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】圧電性を有する薄い膜（板）から生じる圧電性
出力と、その圧電性膜（板）に施された電極と対向する
電極間に於いて発生する容量変化の二つの信号を発する
マイクロホンに於いて、圧電性出力及び容量変化出力を
取り出しの電線配線が複雑になりマイクロホン自体が大
型化するという問題があった。 【解決手段】圧電性の膜（板）に施された電極と対向す
る電極を２ヶ以上に電気的に分割し、少なくとも１ヶの
電極と圧電性の膜（板）に施された電極とを電気伝導ス
ペーサーで接続し、圧電性出力を取り出す。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、一つのマイクロホ
ンから二つの性質を有する出力を得るマイクロホンに関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】圧電性を有する薄い膜（板）からの圧電
性出力とその圧電性膜（板）に施された電極と対向する
電極間において発生する容量変化出力を外部取り出しす
る際は、圧電性出力、容量変化出力、共通グランドの少
なくとも３ヶの出力端子が必要となる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】圧電性を有する薄い膜
（板）からの圧電性出力とその圧電性膜（板）に施され
た電極と対向する電極間において発生する容量変化出力
を外部取り出しする際は、圧電性出力、容量変化出力、
共通グランドの少なくとも３ヶの出力端子が必要とな
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】圧電性の膜（板）に施さ
れた電極と対向する電極を２ヶ以上に電気的に分割し、
少なくとも１ヶの電極と圧電性の膜（板）に施された電
極とを電気伝導材質スペーサーで接続し、圧電性出力を
取り出す。
【０００５】
【発明の実施の形態】図１に示す様に、圧電性の膜
（板）に施された電極と対向する電極をガラエポ等の基
板上にアルミ等の金属で形成する。このとき、電極は、
電気的に分割された電極１、電極２を形成する。電極１
上にステンレス箔等の電気伝導材料のスペーサーを設置
する。このスペーサーは、空気粘性抵抗による圧電性の
膜（板）の振動振幅減衰を減じる目的も有す。圧電性の
膜（板）の電極寸法をスペーサーと接触する寸法にあら
かじめ設定しておくと、圧電性出力Ｓ１は容量に外部に
取り出すことができる。なお、容量変化出力Ｓ２は、電
極２より容易に外部に取り出される。また、図２に示す
様に電極２がダイヤフラム形状の場合も、ダイヤフラム
フレーム及びダイヤフラム材を電気伝導材料にすること
により、圧電性出力Ｓ１・容量変化出力Ｓ２は、外部に
容易に取り出される。
【０００６】
【発明の効果】本発明により、マイクロホンの小型化が
図られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の構成概念図を示したものである。
【図２】容量変化検出用電極をダイヤフラム形状とした
場合の本発明の構成概念図を示したものである。
【符号の説明】
Ｓ１圧電性膜より生じる信号 Ｓ２容量変化より生じる信号 ０１、０３圧電性の膜（板）に設けられた電極 ０２圧電性の膜（板） １ 電極１ ２ 電極２ ３ 基板 ４ スペーサー ５ ダイヤフラムフレーム ６ ダイヤフラム

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 圧電性を有する薄い膜（板）から生じる
    圧電性出力と、その圧電性膜（板）に施された電極と対
    向する電極間に於いて発生する容量変化の二つの信号を
    発するマイクロホンに於いて、圧電性膜（板）に施され
    た電極と対向する電極を２ヶ以上に電気的に分割し、少
    なくとも１ヶの電極と圧電性膜（板）に施された電極と
    を電気伝導スペーサーで接続し、圧電性出力を取り出す
    ことを特徴とするマイクロホン
  2. 【請求項２】 容量変化検出用電極を電気伝導性材料ダ
    イヤフラム及びダイヤフラムフレームで形成したことを
    特徴とする請求項１のマイクロホン
JP2000282141A 2000-09-18 2000-09-18 マイクロホン Pending JP2002095092A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000282141A JP2002095092A (ja) 2000-09-18 2000-09-18 マイクロホン

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000282141A JP2002095092A (ja) 2000-09-18 2000-09-18 マイクロホン

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2002095092A true JP2002095092A (ja) 2002-03-29

Family

ID=18766701

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000282141A Pending JP2002095092A (ja) 2000-09-18 2000-09-18 マイクロホン

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2002095092A (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012034019A (ja) * 2010-07-28 2012-02-16 Nippon Ceramic Co Ltd 超音波送受信器
KR101601229B1 (ko) * 2014-11-17 2016-03-08 현대자동차주식회사 마이크로폰
KR101703608B1 (ko) * 2015-08-28 2017-02-07 현대자동차 주식회사 탈착형 마이크로폰 및 그 제조 방법
WO2018035486A1 (en) * 2016-08-18 2018-02-22 Vesper Technologies Inc. Plate coupling structure
JP2019041349A (ja) * 2017-08-29 2019-03-14 新日本無線株式会社 Ｍｅｍｓ素子
DE102014225010B4 (de) 2014-09-23 2023-06-22 Hyundai Motor Company Mikrofon und Verfahren zur Herstellung desselben

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012034019A (ja) * 2010-07-28 2012-02-16 Nippon Ceramic Co Ltd 超音波送受信器
DE102014225010B4 (de) 2014-09-23 2023-06-22 Hyundai Motor Company Mikrofon und Verfahren zur Herstellung desselben
KR101601229B1 (ko) * 2014-11-17 2016-03-08 현대자동차주식회사 마이크로폰
US9693150B2 (en) 2014-11-17 2017-06-27 Hyundai Motor Company Microphone sensor
KR101703608B1 (ko) * 2015-08-28 2017-02-07 현대자동차 주식회사 탈착형 마이크로폰 및 그 제조 방법
US10057690B2 (en) 2015-08-28 2018-08-21 Hyundai Motor Company Detachable microphone and method of manufacturing the same
WO2018035486A1 (en) * 2016-08-18 2018-02-22 Vesper Technologies Inc. Plate coupling structure
JP2019041349A (ja) * 2017-08-29 2019-03-14 新日本無線株式会社 Ｍｅｍｓ素子

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6744896B2 (en) Electret microphone
US11310606B2 (en) MEMS microphone
US20130028459A1 (en) Monolithic Silicon Microphone
WO2021000069A1 (zh) 压电式与电容式相结合的mems麦克风
CN108419189A (zh) 压电传感器
CN108702576B (zh) 电容式mems麦克风及电子装置
CN217445523U (zh) 双振膜mems声音感测芯片
JP2002095092A (ja) マイクロホン
JP2001054196A (ja) エレクトレットコンデンサマイクロホン
CN104720784A (zh) 振动传感器及其制备方法
JP2004128957A (ja) 音響検出機構
CN110987159B (zh) 声压传感器
WO2023142866A1 (zh) 机械振动式驻极体骨声纹传感器
US20110075863A1 (en) Condenser Microphone
JP2011176534A (ja) 音響センサ
US11197079B2 (en) MEMS microphone with hybrid packaging structure
JP2011176532A (ja) 音響センサ
JP3389536B2 (ja) エレクトレットコンデンサマイクロホン
KR840001425A (ko) 분극된 고체유전 캐패시터 전자-음향 변환기
KR20040079776A (ko) 일렉트릿 콘덴서 마이크로폰
JPS6147620A (ja) エレクトレツト構体
TW201515474A (zh) 收音裝置及其製造方法
JP2006033215A (ja) コンデンサマイクロホンとその製造方法
JPH06205493A (ja) スピーカユニットの振動変位抽出装置
CN107124683A (zh) 扬声器单体及电子设备