JP6405276B2 - Mems素子およびその製造方法 - Google Patents
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Description
10:基板、11:熱酸化膜、12:第1の可動電極部、13:スリット、14:ステッキング防止用突起、15:犠牲層、16:開口部、17:第2の可動電極部、18:補強部材、19:犠牲層、20:固定電極、21:バックプレート、22:貫通孔、23:バックチャンバー、24:スペーサー
Claims (3)
- バックチャンバーを備えた基板と、該基板上に、スペーサーを挟んで固定電極を含む固定電極板と可動電極を含む可動電極板とを対向配置したMEMS素子において、
前記可動電極板は、前記基板に固定された第1の可動電極部と、外周部が自由端となり前記第1の可動電極部に連結部を介して固着され、前記固定電極に対向する前記可動電極を含む第2の可動電極部とを備え、
前記連結部は、前記第1の可動電極部および前記第2の可動電極部それぞれの中央部に配置し、前記第2の可動電極部の導電経路となる導電性部材が貫通し、補強部材を備えており、
前記第1の可動電極部が振動するとともに前記第2の可動電極部が振動し、前記固定電極と前記可動電極との間の容量値の変化に基づく信号を出力することを特徴とするMEMS素子。 - 基板上に可動電極を含む可動電極板を形成し、該可動電極板上に犠牲層を形成し、該犠牲層上に固定電極を含む固定電極板を形成した後、前記犠牲層を除去することにより、前記可動電極板と前記固定電極板との間にエアーギャップを形成する工程を含むMEMS素子の製造方法において、
前記可動電極板の一部を構成する第1の可動電極部を形成する工程と、
該第1の可動電極部上に第1の犠牲層を形成する工程と、
連結部形成予定領域の前記第1の犠牲層の一部を除去した後、前記第1の犠牲層上に連結部で前記第1の可動電極部に連通する、前記可動電極を含み前記可動電極板の一部を構成する第2の可動電極部を形成する工程と、
該第2の可動電極部上に第2の犠牲層を形成する工程と、
該第2の犠牲層上に前記固定電極板を形成する工程と、
少なくとも前記第2の可動電極部の外周部が自由端となり前記エアーギャップが形成されるように、前記第1の犠牲層と前記第2の犠牲層の一部を除去する工程とを含むことを特徴とするMEMS素子の製造方法。 - 請求項2記載のMEMS素子の製造方法において、前記第連結部の前記第2の可動電極部上に補強部材を形成する工程を含むことを特徴とするMEMS素子の製造方法。
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