KR101253334B1

KR101253334B1 - 안압 센서 및 그 제조 방법

Info

Publication number: KR101253334B1
Application number: KR1020110102571A
Authority: KR
Inventors: 강병주; 조지성; 박창근
Original assignee: 숭실대학교산학협력단
Priority date: 2011-10-07
Filing date: 2011-10-07
Publication date: 2013-04-11
Also published as: US9717411B2; JP2014533983A; WO2013051755A1; JP5908097B2; US20140243646A1

Abstract

본 발명은 안압의 측정 범위와 측정 효율을 보다 향상 시킬 수 있는 안압 센서 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 본 발명의 제1 측면에 따르면, 환자의 안구에 이식되어 환자의 안압을 측정하는 안압 센서를 제작하는 방법으로서, 제1 기판을 준비하는 단계; 상기 제1 기판의 하부면에 베이스 필름을 증착 형성하는 단계; 상기 제1 기판에 대하여 에칭을 수행하여 상기 베이스 필름의 상부면이 노출되도록 하는 단계; 노출된 상기 베이스 필름의 중앙에 에폭시를 도포하는 단계; 상기 베이스 필름의 에폭시 도포 부위에 제1 전극을 배치하는 단계; 제2 기판을 준비하는 단계; 상기 제2 기판 상에 지지 필름을 증착 형성하는 단계; 상기 지지 필름 상에 제2 전극을 형성하는 단계; 상기 제2 기판에 대하여 에칭을 수행하여 상기 지지 필름의 하부면이 노출되도록 하는 단계; 및 상기 제1 기판 상에 상기 제2 기판을 배치하는 단계를 포함하는 안압센서 제조 방법을 제공한다.

Description

안압 센서 및 그 제조 방법{IOP SENSOR AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}

본 발명은 안압 센서 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 안압의 측정 범위와 측정 효율을 보다 향상 시킬 수 있는 안압 센서 및 그 제조 방법에 관한 것이다.

안압 센서는 사람의 신체 중 안구의 압력, 즉 안압을 측정한다.

안압 센서는 안구에 관련된 질병의 진단과 치료를 위해 환자의 안압을 정확히 측정하기 위해 사용된다. 특히, 녹내장은 눈 속의 안압(眼壓, Intraocular Pressure)이 올라감으로 인해 높아진 압력을 시신경이 견디지 못해 시신경 손상이 발생하는 병으로서, 녹내장의 진단과 치료에 있어서는 환자의 안압을 정확히 측정할 필요가 있다.

따라서, 안구의 안압 변화에 대응하여 안압의 측정 범위와 측정 효율을 보다 향상시킬 필요가 있다.
[선행기술]
대한민국 공개특허 2011-54584
미국공개특허 2011/0071505

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 환자의 안구의 안압 측정 범위와 측정 효율을 보다 향상 시킬 수 있는 안압 센서 및 그 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

안압 센서의 베이스 필름과 제1 전극의 접착 면적을 감소시켜 안압 변화에 따른 제1 전극의 이동을 보다 용이하게 하는 안압 센서 및 그 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 제1 측면에 따른 안압 센서 제조 방법은, 환자의 안구에 이식되어 환자의 안압을 측정하는 안압 센서를 제작하는 방법으로서, 제1 기판을 준비하는 단계; 상기 제1 기판의 하부면에 베이스 필름을 증착 형성하는 단계; 상기 제1 기판에 대하여 에칭을 수행하여 상기 베이스 필름의 상부면이 노출되도록 하는 단계; 노출된 상기 베이스 필름의 중앙에 에폭시를 도포하는 단계; 상기 베이스 필름의 에폭시 도포 부위에 제1 전극을 배치하는 단계; 제2 기판을 준비하는 단계; 상기 제2 기판 상에 지지 필름을 증착 형성하는 단계; 상기 지지 필름 상에 제2 전극을 형성하는 단계; 상기 제2 기판에 대하여 에칭을 수행하여 상기 지지 필름의 하부면이 노출되도록 하는 단계; 및 상기 제1 기판 상에 상기 제2 기판을 배치하는 단계를 포함하는 안압센서 제조 방법을 제공한다.

본 발명의 제2 측면에 따른 안압 센서 제조 방법은, 환자의 안구에 이식되어 환자의 안압을 측정하는 안압 센서를 제작하는 방법으로서, 제1 기판을 준비하는 단계; 상기 제1 기판의 하부면에 베이스 필름을 증착 형성하는 단계; 상기 제1 기판에 대하여 에칭을 수행하여 전극 고정부를 형성하고 상기 베이스 필름의 상부가 노출되도록 하는 단계; 상기 전극 고정부 상에 에폭시를 도포하는 단계; 상기 전극 고정부 상에 상기 제1 전극을 배치하는 단계; 제2 기판을 준비하는 단계; 상기 제2 기판 상에 지지 필름을 증착 형성하는 단계; 상기 지지 필름 상에 제2 전극을 형성하는 단계; 상기 제2 기판에 대하여 에칭을 수행하여 상기 지지 필름의 하부가 노출되도록 하는 단계; 및 상기 제1 기판 상에 상기 제2 기판을 배치하는 단계를 포함하는 안압센서 제조 방법을 제공한다.

상기 제1 기판과 상기 제2 기판은 면적이 동일할 수 있다.

상기 제1 기판과 상기 베이스 필름은 면적이 동일할 수 있다.

상기 제2 기판과 상기 지지 필름은 면적이 동일할 수 있다.

상기 제1 기판과 상기 제2 기판에 대한 에칭 면적은 서로 동일할 수 있다.

상기 제1 전극은 상기 베이스 필름과 접착되는 접착부가 돌출 형성될 수 있다.

상기 제1 전극은 상기 베이스 필름과 접착되는 부위에 접착홀이 형성될 수 있다.

상기 제1 기판에 대한 에칭 단계는 상기 제1 기판에 마스킹을 수행하는 제1 마스킹 단계, 상기 제1 기판에 에칭을 수행하되 상기 제1 기판의 전체 두께 중 일부분을 잔류시키는 제1 에칭 단계, 상기 제1 기판의 에칭 부위의 중앙에 마스킹을 수행하는 제2 마스킹 단계, 상기 제1 기판에 에칭을 수행하여 상기 전극 고정부가 형성되도록 하고 상기 베이스 필름이 노출되도록 하는 제2 에칭 단계를 포함할 수 있다.

상기 제1 기판 상에 상기 제2 기판을 배치하되 상기 에칭 부위가 서로 일치하도록 정렬하여 배치하는 단계를 포함할 수 있다.

본 발명의 제1 측면에 따른 안압 센서는, 환자의 안구에 이식되어 환자의 안압을 측정하는 센서로서, 안구의 상기 안압 측정의 기준면으로 작용하고 중앙부에 에폭시가 도포되는 베이스 필름; 상기 베이스 필름의 상부 외주를 따라 배치되는 본체; 판 형태이고 상기 베이스 필름 상에 배치되고 상기 에폭시에 대응하는 접착홀이 형성되는 제1 전극; 상기 본체의 상부에 배치되는 지지 필름; 및 상기 지지 필름 상에 배치되는 제2 전극; 을 포함하는 안압센서를 제공한다.

본 발명의 제2 측면에 따른 안압 센서는, 안구의 상기 안압 측정의 기준면으로 작용하는 베이스 필름, 상기 베이스 필름의 상부 외주를 따라 배치되는 본체; 상기 본체의 하부에 배치되는 베이스 필름; 상기 베이스 필름 상에 배치되는 전극 고정부; 판 형태이고 상기 전극 고정부에 에폭시에 의해 접착되는 제1 전극; 상기 본체의 상부에 배치되는 지지 필름; 및 상기 지지 필름 상에 배치되는 제2 전극; 을 포함하는 안압센서를 제공한다.

본 발명의 제3 측면에 따른 안압 센서는, 안구의 상기 안압 측정의 기준면으로 작용하는 베이스 필름, 상기 베이스 필름의 상부 외주를 따라 배치되는 본체; 상기 베이스 필름 상에 배치되는 전극 고정부; 판 형태이고 상기 전극 고정부에 에폭시 의해 접착되는 제1 전극; 상기 본체의 상부에 배치되는 지지 필름; 및 상기 지지 필름 상에 배치되는 제2 전극; 을 포함하는 안압센서를 제공한다.

상기 본체의 내부 공간에 맴돌이 전류가 생성되며, 상기 맴돌이 전류는 상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이의 거리에 대응하여 크기가 변화될 수 있다.

상기 제1 전극은 페라이트, 알루미늄(Al), 구리(Cu)를 포함할 수 있다.

상기 제2 전극은 알루미늄(Al), 구리(Cu)를 포함할 수 있다.

상기와 같은 본 발명은, 안압 센서의 하부에 위치하는 베이스 필름과 제1 전극의 접착면을 최소화하여 환자의 안구의 측정 범위와 측정 효율을 보다 향상시키는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 안압 센서 제조 방법의 구성을 나타내는 흐름도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 안압 센서 제조 방법에서 사용하는 제1 기판의 처리 과정을 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 안압 센서 제조 방법에서 사용하는 제2 기판의 처리 과정을 나타내는 도면이다.
도 4는 도 3에 도시된 제2 전극의 구성의 일 예를 나타내는 사시도이다.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 안압 센서 제조 방법에 의해 완성된 안압 센서의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 6은 본 발명의 제1 실시예에 따른 안압 센서 제조 방법에 따라 완성된 안압 센서의 동작 상태를 나타내는 도면이다.
도 8은 본 발명의 제1 실시예에 따른 안압 센서 제조 방법에서 접착홀이 형성된 제1 전극의 부착 상태를 나타내는 단면도이다.
도 9는 도 8에 도시된 제1 기판을 사용하는 안압 센서(100A)의 구성을 나타내는 도면이다.
도 10은 도 9에 도시된 안압 센서의 동작 상태를 나타내는 도면이다.
도 11은 본 발명의 제2 실시예에 따른 안압 센서 제조 방법을 나타내는 흐름도이다.
도 12는 본 발명의 제2 실시예에서 사용하는 제1 기판의 처리 과정을 나타내는 도면이다.
도 13은 본 발명의 제2 실시예에 의한 안압 센서 제조 방법에서 제1 기판에 대한 에칭 단계의 구성을 나타내는 흐름도이다.
도 14는 전극 고정부 상에 제1 전극을 배치된 안압 센서의 구성을 나타내는 단면이다.
도 15는 본 발명의 제2 실시예에 따른 안압 센서 제조 방법에 의해 제작된 안압 센서의 동작 상태를 나타내는 도면이다.

이하 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 안압 센서 제조 방법의 구성을 나타내는 흐름도이다.

도면을 참조하여, 본 발명의 제1 실시예에 따른 안압 센서 제조 방법의 각 단계를 설명하기로 한다.

도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 안압 센서 제조 방법에서 사용하는 제1 기판의 처리 과정을 나타내는 도면이다.

도 2의 (A)를 참조하면, 제1 기판을 준비하는 단계(S110)는 후술하는 제2 기판과 함께 안압 센서(100)의 기본적인 형태인 본체를 이루는 제1 기판(110)을 준비하는 단계이다. 제1 기판(110)은 하드(hard)한 재질로서, 소정의 면적과 두께로 이루어진다.

도 2의 (B)를 참조하면, 베이스 필름 형성 단계(S120)는 제1 기판(110)의 하부면에 베이스 필름(120)을 형성하는 단계로서, 베이스 필름(120)은 제1 기판(110)의 하부면에 증착 공정에 의해 형성된다.

베이스 필름(120)은 안압 측정의 기준면으로 사용된다. 이때, 베이스 필름(120)의 면적은 제1 기판(110)의 면적과 동일한 것이 바람직하다.

베이스 필름(120)은 플렉시블(flexible)한 특성을 갖는 필름으로서, 안압 측정을 위해 사용되므로 환자의 신체 또는 안구에 대하여 무해한 물질인 것이 바람직하다.

도 2의 (C)와 (D)를 참조하면, 에칭을 수행하는 단계(S130)는 베이스 필름(120)이 부착되어 있는 제1 기판(110)의 상부면에 대하여 에칭을 수행하여, 베이스 필름(120)이 노출되도록 한다.

여기서, 제1 기판(110)에 대한 에칭은 다음과 같이 수행될 수 있다. 즉, 도 2의 (C)에 도시되어 있는 바와 같이, 제1 기판(110)의 상부면 외주측 부위에 부분적으로 마스크(mask)(112)를 덮어 배치한다. 여기서 마스크(112)는 제1 기판(110)의 상부면의 10~20%에 대하여 수행될 수 있으나, 사용자의 필요에 따라 변경될 수 있다.

마스크(112)가 배치되면, 에칭을 수행하여, 도 2의 (D)에 도시되어 있는 바와 같이 에칭 부위를 통해 베이스 필름(120)이 노출되도록 한다. 에칭이 완료되면, 마스크(112)를 제거한다.

에칭 단계(S130)가 완료되면, 에폭시 도포 단계(S140)를 수행한다.

도 2의 (E)를 참조하면, 에폭시 도포 단계(S140)는 후술하는 제1 전극(140)이 부착될 수 있도록 베이스 필름(120) 상에 에폭시(epoxy)(130)를 도포한다.

에폭시 도포 단계(S140)에서 에폭시는 베이스 필름(120)의 중앙 부위에 대하여 수행된다. 에폭시(130) 도포 면적은 후술하는 제1 전극(140)이 부착되는 범위에서 최소한의 면적인 것이 바람직하다.

여기서, 에폭시(130)는 도포 작업의 수행을 용이하게 하기 위해 젤 상태 또는 액체 상태일 수 있다.

에폭시 도포 단계(S140)가 완료되면, 제1 전극(140)을 배치한다.

도 2의 (F)를 참조하면, 제1 전극 배치 단계(S150)는 제1 전극(140)을 베이스 필름(120) 상의 에폭시(130) 도포 부위에 배치한다.

제1 전극(140)은 후술하는 제2 전극(174)과의 이격 공간에 맴돌이 전류가 형성되도록 한다. 제1 전극(140)은 플레이트 형태로서, 그 면적은 제1 기판(110)의 에칭 부위를 통해 베이스 필름(120) 상에 배치된 후 상하 이동이 가능한 상태에서 가능한 넓게 형성되는 것이 바람직하다.

제1 전극(140)은 페라이트(ferrite), 알루미늄(Al), 구리(Cu)를 포함할 수 있다.

제1 전극(140)은 베이스 필름(120) 상에 도포된 에폭시에 의해 베이스 필름(120) 상에 부착된다. 여기서, 제1 전극(140)의 베이스 필름(120)과의 접착면에 직사각형 형태의 단면 형태로 형성된 접착부(141)가 돌출 형성된다.

제1 전극(140)의 배치 시, 제1 전극(140)의 접착부(141)가 베이스 필름(120) 상의 에폭시(130) 도포 부위에 위치된 후 에폭시가 경화되면, 제1 전극(140)의 고정이 이루어진다.

제1 전극(140)과 베이스 필름(120)의 접착면적은 제1 전극(140)의 전체 면적에 대비하였을 때, 일 부분이므로 안구의 안압 변화에 따른 베이스 필름(120)의 상승과 하강이 이루어질 때, 제1 전극(140)의 이동이 보다 용이하게 이루어진다.

도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 안압 센서 제조 방법에서 사용하는 제2 기판의 처리 과정을 나타내는 도면이다.

도 3의 (A)를 참조하면, 제2 기판을 준비하는 단계(S160)는 제1 기판(110)과 함께 안압 센서(100)의 전체적인 형태를 구성하는 제2 기판(150)을 준비하는 단계이다.

제2 기판(150)의 면적과 두께는 제1 기판(110)의 면적과 두께와 동일하고, 제2 기판(150)의 재질은 제1 기판(110)의 재질과 동일한 것이 바람직하다.

도 3의 (B)를 참조하면, 제2 기판 상에 지지 필름 및 제2 전극을 형성하는 단계(S170)는 제2 기판(150)의 상부면에 지지 필름(160)을 증착 공정에 의해 형성한다. 지지 필름(160)은 안압 센서의 사용 시 후술하는 제2 전극을 지지한다.

도 3의 (C), (D) 및 (E)를 참조하면, 지지 필름 및 제2 전극을 형성하는 단계(S170)는 제1 전극(140)과 대응하여 안압 센서(100)의 내측 공간에 맴돌이 전류가 형성되도록 하는 제2 전극(174)을 형성한다.

우선, 도 3의 (C)에 도시되어 있는 바와 같이, 지지 필름(160) 상에 금속층(170)을 증착 형성한다. 여기서, 금속층(170)은 구리(Cu) 또는 알루미늄(Al) 또는 구리와 알루미늄 합금을 포함한다.

도 3의 (D)를 참조하면, 금속층(170) 상에 후술하는 제2 전극(174)의 형상에 대응하는 마스크(172)을 배치하고, 금속층(170)에 대하여 에칭을 수행하여, 도 3의 (E)에 도시된 바와 같은 제2 전극(174)이 형성되도록 한다.

도 4는 도 3에 도시된 제2 전극의 구성의 일 예를 나타내는 사시도이다.

제2 전극(174)의 형태는 도시한 바로 한정되지 않고 사용자의 필요에 따라 다양하게 형성될 수 있다.

제2 전극(174)는 제1 전극(140)과의 이격 간격 변화에 대응하여 이격 공간 사이에 맴돌이 전류를 형성한다.

다시 도 3을 참조한다.

도 3의 (F)와 (G)를 참조하면, 제2 기판에 대하여 에칭을 수행하는 단계(S180)는 제2 기판(150)의 하부면에 대하여 에칭을 수행하여 지지 필름(160)의 하부가 노출되도록 한다.

여기서, 제2 기판(150)에 대한 에칭은 다음과 같이 수행될 수 있다. 즉, 도 3의 (F)에 도시되어 있는 바와 같이, 제2 기판(150)의 하부면 외주측 부위에 부분적으로 마스크(152)를 배치한다. 여기서 마스크(152)는 제1 기판(110)의 하부면의 10~20%에 대하여 수행될 수 있으나, 사용자의 필요에 따라 변경될 수 있다.

마스크(152) 배치가 완료되면, 에칭을 수행하여, 도 2의 (G)에 도시되어 있는 바와 같이 에칭 부위를 통해 지지 필름(160)이 노출되도록 한다. 에칭이 완료되면, 마스크(152)를 제거한다.

여기서 제2 기판(150)에 대한 에칭 면적은 제1 기판(110)에 대한 에칭 면적과 동일한 것이 바람직하다.

제2 기판(150)에 대한 에칭이 완료되면, 베이스 필름(120) 상에 제1 전극(140)이 접착되어 있는 제1 기판(110)의 상부에 제2 기판(150)을 배치하여 안압 센서(100)를 완성한다.

도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 안압 센서 제조 방법에 의해 완성된 안압 센서의 구성을 나타내는 단면도이다.

도 5를 참조하면, 제1 및 제2 기판(110, 150)에 대한 에칭(S130, S180) 이후 잔류하고 있는 제1 및 제2 기판(110, 150)이 서로 맞닿아, 상하로 연결되는 내부에는 맴돌이 전류가 형성되는 공간을 갖는 본체(104)를 형성함을 알 수 있다.

본체(104)의 하부와 상부에는 각각 베이스 필름(120)과 지지 필름(160)이 배치됨을 알 수 있다.

베이스 필름(120) 상에 제1 전극(140)이 배치되어 있고, 지지 필름(160) 상에는 제2 전극(174)이 배치되어 있어, 제1 전극(140)과 제2 전극(174)의 이격 공간에는 이격 거리에 대응하여 맴돌이 전류가 형성될 수 있다.

이는 후술하는 안압 센서에 대해서도 동일하게 적용될 수 있다.

상기와 같이 구성된 본 발명의 작용을 설명하기로 한다.

도 5에 도시되어 있는 구성의 안압 센서(100)는 안구(미도시) 내에 배치된다.

안압이 정상인 경우, 제1 전극(140)과 제2 전극(174)과의 이격 거리는 도 5에 도시되어 있는 바와 같이, 원래 설정되어 있는 상태를 계속적으로 유지한다.

도 6은 본 발명의 제1 실시예에 따른 안압 센서 제조 방법에 따라 완성된 안압 센서의 동작 상태를 나타내는 도면으로서, 안압이 일정 정도 상승한 경우의 제1 전극(140)과 제2 전극(174)과의 관계를 나타내는 도면이다.

도시되어 있는 바와 같이, 안압의 상승에 의해 베이스 필름(120)의 중앙부의 높이가 상승하여, 제1 전극(140)과 제2 전극(174)와의 이격 거리가 좁아진다.

제1 전극(140)과 제2 전극(174) 사이의 맴돌이 전류가 증가하므로, 이를 감지하여 안압의 상승을 측정할 수 있다.

도 7은 본 발명의 제1 실시예에 따른 안압 센서 제조 방법에 따라 완성된 안압 센서에서의 맴돌이 전류 발생을 설명하는 도면이다.

즉, 도 7에 도시되어 있는 바와 같이, 제1 전극(140)과 제2 전극(174) 사이에서는 맴돌이 전류가 발생된다. 맴돌이 전류는 인덕터의 인덕턴스를 감소시키는 방향으로 작용하므로, 만약 안압 센서의 외부 압력이 증가하여 제1 전극(140)과 제2 전극(174)이 서로 접근하게 될 경우, 본체(104) 내부 공간에는 맴돌이 전류의 크기가 증가하게 되며, 결과적으로 인덕터의 인덕턴스는 더욱 감소하게 된다.

이와 같이 안압 센서의 외부 압력에 의하여 제1 전극(140)과 제2 전극(174) 사이에 거리가 변화하게 되면 제2 전극(174)에 의한 인덕터의 기생 성분이 변화 하게 되고, 이러한 기생 성분의 변화는 안압 센서의 임피던스 값의 변화를 발생시키게 된다. 이러한 안압 센서의 임피던스 값 변화를 외부에서 검출하게 되면 안구 내의 압력을 외부에서 알 수 있다.

즉, 전극과 전극 사이의 거리에 대응하여 맴돌이 전류의 양은 변화되므로, 제1 전극(140)과 제2 전극(174)의 거리 변화에 따른 맴돌이 전류 변화를 측정하여 안압의 측정이 가능하다. 전극 간의 거리에 따른 맴돌이 전류의 변화는 별도로 측정이 이루어진다.

한편, 안압 센서의 제조 과정 중, 제1 전극의 부착 시, 전극의 부착압력에 의해 베이스 필름(120) 상에 도포되어 있던 에폭시가 밀려나면서 에폭시 도포 부위가 사용자의 의도와 다르게 확장될 수 있다.

도 8은 본 발명의 제1 실시예에 따른 안압 센서 제조 방법에서 접착홀이 형성된 제1 전극의 부착 상태를 나타내는 단면도이다.

도 9는 도 8에 도시된 제1 기판을 사용하는 안압 센서(100A)의 구성을 나타내는 도면이다.

도 8과 도 9를 참조하면, 제1 전극(140A)의 중앙에는 접착홀(142)이 관통 형성된다. 접착홀(142)의 면적은 에폭시 도포 면적보다 다소 작게 형성되는 것이 바람직하다.

접착홀(142)이 형성된 제1 전극(140A)이 에폭시가 도포된 베이스 필름(120) 상에 배치되면 에폭시는 제1 전극(140A)이 베이스 필름(120)과 접착되도록 한다. 이때, 에폭시는 제1 전극(140A)의 부착 압력에 의해 접착홀(142)의 내측으로 유입되며 베이스 필름(120)과 제1 전극(140A)의 접착 면적이 설정 이상으로 확장되는 것을 방지할 수 있다.

도 10은 도 9에 도시된 안압 센서의 동작 상태를 나타내는 도면이다.

도 10에 도시된 안압 센서(100A)는 제1 전극(140A)에 접착홀(142)이 형성되는 것 이외에는 도 5와 도 6에 도시된 안압 센서(100)와 구성과 작용이 동일하므로 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.

도 11은 본 발명의 제2 실시예에 따른 안압 센서 제조 방법을 나타내는 흐름도이고, 도 12는 본 발명의 제2 실시예에서 사용하는 제1 기판의 처리 과정을 나타내는 도면이다.

도면을 참조하여 본 발명의 제2 실시예에 따른 안압 센서 제조 방법을 설명하기로 한다.

여기서, 이전의 실시예와 동일한 구성에 대해서는 상세한 설명을 생략하고, 차이가 있는 구성에 대해서만 설명하기로 한다.

본 실시예에서, 제1 전극(140B)의 고정을 위한 접착 면적의 최소화를 위해 베이스 필름(120) 상에는 전극 고정부(116)가 형성된다.

전극 고정부(116)의 형성은 제1 기판에 대한 에칭 단계(S230)에서 이루어진다.

이를 위해, 제1 기판에 대한 에칭 단계(S230)는 다음과 같이 수행된다.

도 13은 본 발명의 제2 실시예에 의한 안압 센서 제조 방법에서 제1 기판에 대한 에칭 단계(S230)의 구성을 나타내는 흐름도이다.

도 13을 참조하면, 제1 기판에 대한 에칭 단계는 제1 마스킹 단계(S232), 제1 에칭 단계(S233), 제2 마스킹 단계(S234), 제2 에칭 단계(S235)를 포함한다.

제1 마스킹 단계(S232)는 제1 기판(110)의 에칭면에 대하여 제1 마스크(112)를 배치하는 단계이다. 제1 마스크(112)는 도 12의 (C)에 도시되어 있는 바와 같이, 제1 기판(110)의 상부면 외주측 부위를 부분적으로 덮도록 배치된다. 여기서 제1 마스크(112)는 제1 기판(110)의 상부면의 10~20%를 덮도록 배치될 수 있으나, 사용자의 필요에 따라 변경될 수 있다.

제1 마스크(112)의 배치가 완료되면, 도 12의 (D)에 도시되어 있는 바와 같이, 제1 에칭 단계(S233)를 수행한다. 제1 에칭 단계(S233)는 제1 기판(110)의 에칭 부위의 두께가 대략 1/2이 될때까지 진행된다.

제1 기판(110)의 에칭 부위의 두께가 1/2 정도로 감소되면, 제1 에칭 단계(S233)를 종료한다. 본 실시예에서 제1 에칭 단계(S233)는 제1 기판(110)의 에칭 부위의 두께가 1/2이 될 때까지 진행되지만, 이는 후술하는 전극 고정부(116)의 높이가 제1 기판(110)의 1/2 높이로 형성되는 경우에 한정되는 것으로서, 전극 고정부(116)의 설정 높이에 따라 제1 에칭 단계(S233)의 정도는 변화될 수 있다.

이후, 도 12의 (E)에 도시되어 있는 바와 같이, 에칭면의 중앙에 소정의 면적으로 제2 마스크(114)가 배치된다. 제2 마스크(114)의 면적은 후술하는 전극 고정부(116)의 상부 면적에 대응하는 수준으로 이루어진다.

제2 마스크(114)의 배치가 완료되면, 도 12의 (F)에 도시되어 있는 바와 같이, 제1 기판(110)의 상부면에 대하여 에칭을 하는 제2 에칭 단계(S235)를 수행한다. 제2 에칭 단계(S235)는 제1 에칭 단계(S233)에서 이루어진 에칭 부위를 통해 베이스 필름(120)이 노출될 때까지 진행된다. 이때, 제2 마스크(114)가 배치된 부분은 제거되지 않고, 소정의 높이와 직경을 갖는 전극 고정부(116)가 형성된다. 제2 에칭 단계(S235)가 완료되면, 제2 마스크(114)는 제거된다.

도 12의 (G)에 도시되어 있는 바와 같이, 에폭시 도포 단계(S240)는 제2 에칭 단계(S235)에서 형성된 전극 고정부(116)의 상부면에 에폭시를 도포한다.

이후, 전극 고정부(116) 상에는 제1 전극(140B)을 배치한다(S250).

도 14는 전극 고정부(116) 상에 제1 전극(140B)이 배치된 안압 센서(100B)의 구성을 나타내는 단면이다.

여기서, 제1 전극(140B)은 평판 형태로 형성되지만, 이전의 실시예에서와 같이 대하여 접착홀이 형성될 수도 있고, 전극 고정부가 형성될 수도 있다.

제1 기판(110)과 제2 기판(150)에 대한 에칭이 완료되면, 도 14에 도시된 바와 같이, 제1 기판(110)과 제2 기판(150)이 서로 정렬하여 결합되도록 하여, 안압 센서(100B)를 완성하도록 한다.

도 15는 본 발명의 제2 실시예에 따른 안압 센서 제조 방법에 의해 제작된 안압 센서의 동작 상태를 나타내는 도면이다.

본 실시예에 따른 제조 방법에 의해 제작된 안압 센서의 작용은 이전의 실시예에 따른 제조 방법에 의해 제작된 안압 센서와 동일하므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.

100, 100A, 100B: 안압 센서
104: 본체
110: 제1 기판
116: 전극 고정부
120: 베이스 필름
130: 에폭시
140, 140A, 140B: 제1 전극
142: 접착홀
150: 제2 기판
160: 지지 필름
174: 제2 전극

Claims

환자의 안구에 이식되어 환자의 안압을 측정하는 안압 센서를 제작하는 방법으로서,
제1 기판을 준비하는 단계;
상기 제1 기판의 하부면에 베이스 필름을 증착 형성하는 단계;
상기 제1 기판에 대하여 에칭을 수행하여 상기 베이스 필름의 상부면이 노출되도록 하는 단계;
노출된 상기 베이스 필름의 중앙에 에폭시를 도포하는 단계;
상기 베이스 필름의 에폭시 도포 부위에 제1 전극을 배치하는 단계;
제2 기판을 준비하는 단계;
상기 제2 기판 상에 지지 필름을 증착 형성하는 단계;
상기 지지 필름 상에 제2 전극을 형성하는 단계;
상기 제2 기판에 대하여 에칭을 수행하여 상기 지지 필름의 하부면이 노출되도록 하는 단계; 및
상기 제1 기판 상에 상기 제2 기판을 배치하는 단계를 포함하는 안압센서 제조 방법.
환자의 안구에 이식되어 환자의 안압을 측정하는 안압 센서를 제작하는 방법으로서,
제1 기판을 준비하는 단계;
상기 제1 기판의 하부면에 베이스 필름을 증착 형성하는 단계;
상기 제1 기판에 대하여 에칭을 수행하여 전극 고정부를 형성하고 상기 베이스 필름의 상부가 노출되도록 하는 단계;
상기 전극 고정부 상에 에폭시를 도포하는 단계;
상기 전극 고정부 상에 상기 제1 전극을 배치하는 단계;
제2 기판을 준비하는 단계;
상기 제2 기판 상에 지지 필름을 증착 형성하는 단계;
상기 지지 필름 상에 제2 전극을 형성하는 단계;
상기 제2 기판에 대하여 에칭을 수행하여 상기 지지 필름의 하부가 노출되도록 하는 단계; 및
상기 제1 기판 상에 상기 제2 기판을 배치하는 단계를 포함하는 안압센서 제조 방법.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제1 기판과 상기 제2 기판은 면적이 동일한 안압센서 제조 방법.
제3항에 있어서,
상기 제1 기판과 상기 베이스 필름은 면적이 동일한 안압센서 제조 방법.
제3항에 있어서,
상기 제2 기판과 상기 지지 필름은 면적이 동일한 안압센서 제조 방법.
제1항에 있어서,
상기 제1 기판과 상기 제2 기판에 대한 에칭 면적은 서로 동일한 안압센서 제조 방법.
제1항에 있어서,
상기 제1 전극은 상기 베이스 필름과 접착되는 접착부가 돌출 형성되는 안압센서 제조 방법.
제1항에 있어서,
상기 제1 전극은 상기 베이스 필름과 접착되는 부위에 접착홀이 형성되는 안압센서 제조 방법.
제2항에 있어서,
상기 제1 기판에 대한 에칭 단계는
상기 제1 기판에 마스킹을 수행하는 제1 마스킹 단계,
상기 제1 기판에 에칭을 수행하되 상기 제1 기판의 전체 두께 중 일부분을 잔류시키는 제1 에칭 단계,
상기 제1 기판의 에칭 부위의 중앙에 마스킹을 수행하는 제2 마스킹 단계,
상기 제1 기판에 에칭을 수행하여 상기 전극 고정부가 형성되도록 하고 상기 베이스 필름이 노출되도록 하는 제2 에칭 단계를 포함하는 안압센서 제조 방법.
제1항에 또는 제2항에 있어서,
상기 제1 기판 상에 상기 제2 기판을 배치하되 상기 에칭 부위가 서로 일치하도록 정렬하여 배치하는 단계를 포함하는 안압센서 제조 방법.
환자의 안구에 이식되어 환자의 안압을 측정하는 센서로서,
안구의 상기 안압 측정의 기준면으로 작용하는 베이스 필름,
상기 베이스 필름의 상부 외주를 따라 배치되는 본체;
판 형태이고 상기 베이스 필름 상에 배치되는 제1 전극;
상기 제1 전극의 일면에 돌출 형성되고 에폭시에 의해 상기 베이스 필름에 접착되는 접착부;
상기 본체의 상부에 배치되는 지지 필름; 및
상기 지지 필름 상에 배치되는 제2 전극; 을 포함하는 안압센서.
환자의 안구에 이식되어 환자의 안압을 측정하는 센서로서,
안구의 상기 안압 측정의 기준면으로 작용하고 중앙부에 에폭시가 도포되는 베이스 필름;
상기 베이스 필름의 상부 외주를 따라 배치되는 본체;
판 형태이고 상기 베이스 필름 상에 배치되고 상기 에폭시에 대응하는 접착홀이 형성되는 제1 전극;
상기 본체의 상부에 배치되는 지지 필름; 및
상기 지지 필름 상에 배치되는 제2 전극; 을 포함하는 안압센서.
환자의 안구에 이식되어 환자의 안압을 측정하는 센서로서,
안구의 상기 안압 측정의 기준면으로 작용하는 베이스 필름,
상기 베이스 필름의 상부 외주를 따라 배치되는 본체;
상기 베이스 필름 상에 배치되는 전극 고정부;
판 형태이고 상기 전극 고정부에 에폭시에 의해 접착되는 제1 전극;
상기 본체의 상부에 배치되는 지지 필름; 및
상기 지지 필름 상에 배치되는 제2 전극; 을 포함하는 안압센서.
제11항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 본체의 내부 공간에 맴돌이 전류가 생성되며,
상기 맴돌이 전류는
상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이의 거리에 대응하여 크기가 변화되는 안압센서.
청구항 15은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제11항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 전극은 페라이트(ferrite), 알루미늄(Al), 구리(Cu)를 포함하는 안압센서.
청구항 16은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제11항 내지 제13항의 어느 한 항에 있어서,
상기 제2 전극은 알루미늄(Al), 구리(Cu)를 포함하는 안압센서.