JP5422880B2 - 圧力センサ - Google Patents
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- 平面状に形成されたインダクタと、
前記インダクタに対向して配設された導体部と、
前記インダクタに接続され、所定の容量を有するコンデンサと、
を具備し、
前記インダクタと前記導体部の少なくとも一方が、他方に対して接近及び離間するよう変位可能に構成するとともに、
前記インダクタと前記コンデンサとを含む高周波LC発振回路であって、その共振周波数が10MHz以上、かつ前記共振周波数による前記インダクタ中の信号波長が前記インダクタの長さよりも短い、高周波LC発振回路を構成し、前記インダクタと前記導体部との間隔の変化によって生じる当該高周波LC発振回路の前記共振周波数の変化から圧力を検出することを特徴とする圧力センサ。 - 請求項1記載の圧力センサであって、
前記インダクタと、前記導体部との間に絶縁性部材が設けられていることを特徴とする圧力センサ。 - 請求項1又は2記載の圧力センサであって、
前記高周波LC発振回路の出力をカウンタに入力し、当該カウンタのカウント値に基づいて圧力を検知することを特徴とする圧力センサ。 - 請求項1乃至3いずれか1項記載の圧力センサであって、
前記インダクタが、渦巻き状に形成されていることを特徴とする圧力センサ。 - 請求項1乃至3いずれか1項記載の圧力センサであって、
前記インダクタが、メアンダ状に形成されていることを特徴とする圧力センサ。
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