JP6662509B2 - Mems素子 - Google Patents
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Description
前記可動電極は、連結部により前記固定電極を含むバックプレートに固定され、該連結部を挟んで一方に配置した外力を受けて変位する第1の可動領域と、前記連結部を挟んで他方に配置した前記第1の可動領域で発生した変位に応じて変位する第2の可動領域とを含み、前記連結部は、前記第1の可動領域で発生した変位が前記連結部を支点として前記第2の可動領域に逆向きの動きとして伝わり、該第2の可動領域の変位が前記第1の可動領域の変位より大きくなる位置に配置され、前記第2の可動領域は、前記固定電極と対向配置して、前記第2の可動領域と前記固定電極との間の容量変化から前記第1の可動領域が受けた前記外圧の大きさを検知することを特徴とする。
Claims (3)
- バックチャンバーを備えた基板上に、固定電極を含むバックプレートと可動電極とを対向配置したMEMS素子において、
前記可動電極は、連結部により前記固定電極を含むバックプレートに固定され、該連結部を挟んで一方に配置した外力を受けて変位する第1の可動領域と、前記連結部を挟んで他方に配置した前記第1の可動領域で発生した変位に応じて変位する第2の可動領域とを含み、
前記連結部は、前記第1の可動領域で発生した変位が前記連結部を支点として前記第2の可動領域に逆向きの動きとして伝わり、該第2の可動領域の変位が前記第1の可動領域の変位より大きくなる位置に配置され、
前記第2の可動領域は、前記固定電極と対向配置して、前記第2の可動領域と前記固定
電極との間の容量変化から前記第1の可動領域が受けた前記外圧の大きさを検知することを特徴とするMEMS素子。 - 請求項1記載のMEMS素子において、
前記固定電極の一部に開口部を備え、
該開口部内に前記第1の可動領域が露出していることを特徴とするMEMS素子。 - 請求項1または2いずれか記載のMEMS素子において、
前記連結部は前記第1の可動領域と前記第2の可動領域とを分離する隔壁を構成することを特徴とするMEMS素子。
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