JP2017069594A - Mems素子 - Google Patents
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- バックチャンバーを備えた基板上に、スペーサーを挟んで固定電極を含むバックプレートと可動電極とを配置することでエアーギャップが形成されたMEMS素子において、
前記バックプレートあるいは前記可動電極の少なくともいずれか一方に、エアーギャップ側に突出する環状構造あるいは柱状構造のストッパー構造を備え、
該ストッパー構造は、前記可動電極が風圧を受けて前記バックプレート側に変位するとき破損に至る前に対向する前記可動電極あるいは前記バックプレートに接触し、かつ前記MEMS素子の通常動作時には前記可動電極あるいは前記バックプレートに接触しない位置まで突出し、前記エアーギャップの内周に沿って複数配置されていることを特徴とするMEMS素子。 - 請求項1記載のMEMS素子において、
前記可動電極は、前記エアーギャップの内周に沿ってスリットが形成されており、
前記ストッパー構造は、前記スリットより内側の前記エアーギャップの内周に沿って複数配置されていることを特徴とするMEMS素子。 - 請求項1記載のMEMS素子において、
前記固定電極は、前記エアーギャップに連通する貫通孔を複数備えるとともに前記ストッパー構造を備え、
前記環状構造あるいは柱状構造のストッパー構造は、前記貫通孔を塞がない位置に配置されていることを特徴とするMEMS素子。 - 請求項1記載のMEMS素子において、
前記固定電極は、前記エアーギャップに連通する貫通孔を複数備えるとともに前記ストッパー構造を備え、
前記環状構造のストッパー構造は、1つあるいは複数の前記貫通孔を取り囲む円形あるいは多角形の環状構造であることを特徴とするMEMS素子。
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WO2009101757A1 (ja) * | 2008-02-14 | 2009-08-20 | Panasonic Corporation | コンデンサマイクロホン及びmemsデバイス |
JP2015056833A (ja) * | 2013-09-13 | 2015-03-23 | オムロン株式会社 | 音響トランスデューサ及びマイクロフォン |
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JP2020096131A (ja) * | 2018-12-14 | 2020-06-18 | 新日本無線株式会社 | 電子デバイスの製造方法 |
JP7156690B2 (ja) | 2018-12-14 | 2022-10-19 | 日清紡マイクロデバイス株式会社 | 電子デバイスの製造方法 |
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