JP6209041B2 - Mems素子およびその製造方法 - Google Patents
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- バックチャンバーを備えた基板と、該基板上に、スペーサーを挟んで固定電極と可動電極とを配置することでエアーギャップが形成されたMEMS素子において、
前記可動電極に接触する前記スペーサーの端部は、前記バックチャンバーの開口上にあり、
前記スペーサーを構成する絶縁膜は、少なくとも3層以上の多層膜によって構成されており、前記多層膜を構成する絶縁膜であって前記固定電極に接触する第1の絶縁膜は、該第1の絶縁膜に接触する前記多層膜を構成する絶縁膜より前記固定電極の中心方向に突出し、前記第1の絶縁膜に接触する前記絶縁膜は前記固定電極の中心方向と反対方向に後退した積層構造となっており、前記多層膜を構成する絶縁膜であって前記可動電極に接触する第2の絶縁膜は、該第2の絶縁膜に接触する前記多層膜を構成する絶縁膜より前記可動電極の中心方向に突出し、前記第2の絶縁膜に接触する絶縁膜は前記可動電極の中心方向と反対方向に後退した積層構造となっていることを特徴とするMEMS素子。 - 請求項1記載のMEMS素子において、前記第1の絶縁膜に接触する絶縁膜と前記第2の絶縁膜に接触する絶縁膜との間に、前記多層膜を構成する第3の絶縁膜を備え、
該第3の絶縁膜は、該第3の絶縁膜に前記固定電極側あるいは前記可動電極側で接触する前記多層膜を構成する絶縁膜より前記固定電極あるいは前記可動電極の中心方向に突出し、前記第3の絶縁膜に前記固定電極側あるいは前記可動電極側で接触する絶縁膜が前記固定電極あるいは前記可動電極の中心方向と反対方向に後退した積層構造となっていることを特徴とするMEMS素子。 - 基板上に、スペーサーを構成する多層膜を挟んで固定電極と可動電極を形成し、前記スペーサーの一部をエッチング除去することによりエアーギャップを形成するMEMS素子の製造方法において、
前記基板上に、可動電極あるいは固定電極を構成する膜となる第1の膜を形成する工程と、
前記第1の膜上に、前記スペーサーを構成する少なくとも3層構造からなら絶縁膜を、エアーギャップ形成時のエッチングレートが、前記固定電極あるいは前記可動電極に接触する絶縁膜のエッチングレートが該絶縁膜に接触する絶縁膜のエッチングレートより遅くなる膜となるように積層形成する工程と、
前記多層膜上に、固定電極あるいは可動電極を構成する膜となる第2の膜を形成する工程と、
前記固定電極を構成する前記第1の膜あるいは前記第2の膜に貫通孔を形成する工程と、
前記基板の一部を除去し、バックチャンバーを形成する工程と、
前記貫通孔から前記絶縁膜の一部を前記エッチングレートとなるエッチングを行い除去し、前記多層膜を構成する絶縁膜であって前記固定電極に接触する第1の絶縁膜は、該第1の絶縁膜に接触する前記多層膜を構成する絶縁膜より前記固定電極の中心方向に突出し、前記第1の絶縁膜に接触する前記絶縁膜は前記固定電極の中心方向と反対方向に後退した積層構造となり、前記多層膜を構成する絶縁膜であって前記可動電極に接触する第2の絶縁膜は、該第2の絶縁膜に接触する前記多層膜を構成する絶縁膜より前記可動電極の中心方向かつ前記バックチャンバーの開口上に突出し、前記第2の絶縁膜に接触する絶縁膜は前記可動電極の中心方向と反対方向に後退した積層構造となっているスペーサーを形成し、前記固定電極と前記可動電極との間にエアーギャップを形成する工程と、を含むことを特徴とするMEMS素子の製造方法。 - 請求項3記載のMEMS素子の製造方法において、
前記第1の膜上に、前記絶縁膜を積層形成する工程は、前記第1の絶縁膜に接触する絶縁膜と前記第2の絶縁膜に接触する絶縁膜との間に、第3の絶縁膜を含む絶縁膜を、少なくとも前記第3の絶縁膜のエアーギャップ形成時のエッチングレートが、該第3の絶縁膜に接触する絶縁膜のエッチングレートより遅くなる膜となるように積層形成する工程と、
前記貫通孔から前記絶縁膜の一部を前記エッチングレートとなるエッチングを行い除去し、前記第3の絶縁膜は、前記第3の絶縁膜に前記固定電極側あるいは前記可動電極側で接触する前記多層膜を構成する絶縁膜より前記固定電極あるいは前記可動電極の中心方向に突出し、前記第3の絶縁膜に前記固定電極側あるいは前記可動電極側で接触する絶縁膜が前記固定電極あるいは前記可動電極の中心方向と反対方向に後退した積層構造となっているスペーサーを形成し、前記固定電極と前記可動電極との間にエアーギャップを形成する工程と、を含むことを特徴とするMEMS素子の製造方法。
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2013
- 2013-09-30 JP JP2013204632A patent/JP6209041B2/ja active Active
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