JPS60116244U - プロ−ブカ−ド - Google Patents

プロ−ブカ−ド

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Publication number
JPS60116244U
JPS60116244U JP409284U JP409284U JPS60116244U JP S60116244 U JPS60116244 U JP S60116244U JP 409284 U JP409284 U JP 409284U JP 409284 U JP409284 U JP 409284U JP S60116244 U JPS60116244 U JP S60116244U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
probe card
box body
wafer prober
insulating
thin box
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP409284U
Other languages
English (en)
Inventor
昌男 大久保
吉光　康良
Original Assignee
日本電子材料株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日本電子材料株式会社 filed Critical 日本電子材料株式会社
Priority to JP409284U priority Critical patent/JPS60116244U/ja
Publication of JPS60116244U publication Critical patent/JPS60116244U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の高周波用プローブカードを示す要部拡大
平面図、第２図は本考案の一実施例を示す一部断面斜視
図、第３図は他の実施例を示す断面側面図、第４図は別
の実施例を示す一部断面斜視図である。 １５・・・薄型箱体、１６・・・絶縁リング、１７・・
・探針、２１・・・同軸ケーブル、２６・・・絶縁性充
填材。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 冊口部に嵌着する絶縁リン色土に放射状に配設された探
    針を持つ、薄型箱体をなすプローブカードであって、一
    端がウエハプローバに接続可能とすると共に他端が前記
    探針に接続された略等しい長さの同軸ケーブルを上記薄
    型箱体内に収納し、且つ箱体の中空部を絶縁性充填材で
    充填したことを特徴とするプローブカード。
JP409284U 1984-01-13 1984-01-13 プロ−ブカ−ド Pending JPS60116244U (ja)

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JP409284U JPS60116244U (ja) 1984-01-13 1984-01-13 プロ−ブカ−ド

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JP409284U JPS60116244U (ja) 1984-01-13 1984-01-13 プロ−ブカ−ド

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS60116244U true JPS60116244U (ja) 1985-08-06

Family

ID=30479328

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP409284U Pending JPS60116244U (ja) 1984-01-13 1984-01-13 プロ−ブカ−ド

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JP (1) JPS60116244U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006057407A1 (ja) * 2004-11-29 2006-06-01 Nhk Spring Co., Ltd. 中継部材および検査プローブ治具

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS516678A (ja) * 1974-06-28 1976-01-20 Ibm
JPS5911444B2 (ja) * 1978-11-04 1984-03-15 日産自動車株式会社 タイヤのビ−ド部への潤滑剤塗布装置

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JP2006153645A (ja) * 2004-11-29 2006-06-15 Nhk Spring Co Ltd 中継部材および検査プローブ治具

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