JPH065640Y2

JPH065640Y2 - プローブの接点構造

Info

Publication number: JPH065640Y2
Application number: JP1987148239U
Authority: JP
Inventors: 克哉佐藤
Original assignee: Anritsu Corp
Current assignee: Anritsu Corp
Priority date: 1987-09-30
Filing date: 1987-09-30
Publication date: 1994-02-09
Anticipated expiration: 2002-09-30
Also published as: JPS6453968U

Description

【考案の詳細な説明】［産業上の利用分野］本考案はプローブの接点構造に関するものである。

［従来の技術］第６図及び第７図は従来のプローブ１ａ，１ｂにおける
接点部の構造を示す側面図である。伝送路に接続される
信号用又は電源用の膜状導体２は、一枚の板状誘電体３
の一方の面上に形成されている。そしてプローブ１の接
点部を構成する金ワイヤ又は金リボン等の接点部材４ａ
は、第６図に示すように、板状誘電体３の先端部の膜状
導体２に対して一端部５でボンディングされ、板状誘電
体３に対して固定されない先端の他端部６が、被測定物
との接点部とされていた。又は第７図に示すように、接
点部材４ｂの全体が、膜状導体２の形成された板状誘電
体３の下面にボンディングされていた。

［考案が解決しようとする問題点］第６図に示す従来のプローブ１ａにおける接点構造によ
れば、接点部材４ａの他端６が板状誘電体３に対して固
定されていないため、めくれ等が起こりやすいという問
題点があった。また第７図に示す従来のプローブ１ｂに
おける接点構造によれば、ボンディング作業のバラツキ
等により、接点形状が常に均一とならず、寿命にバラツ
キを生じてしまうという問題点があった。また接点の表
面の凹凸ができるために、めくれも起こりやすかった。

［問題点を解決するための手段］前記の問題点を解決するため、本考案のプローブの接点
構造は、板状誘電体（１１）の表面に膜状導体（１２）
を形成したプローブにおいて、前記膜状導体に接点部材（１３）の一端（１３ａ）を固
定して電気的に導通させ、前記接点部材を膜状導体に密
着させるとともに、前記板状誘電体の先端近傍で曲げ、
前記接点部材の一端が固定された板状誘電体の一面以外
の面に前記接点部材の他端（１３ｂ）を固定し、接点部
材の前記曲げ部近傍を被測定物（７）に対する接点部
（１４）としたことを特徴としている。

［作用］接点部材の両端が板状誘電体に固定されているので、め
くれ等が起こりにくく、接点部の形状が均一で寿命が一
定になる。

［実施例］第１図（ａ），（ｂ）は、本考案の第１実施例である低
周波用または電源用プローブ１０の側面図及び下面図で
ある。先端部１１ａの幅が狭められた形状とされた板状
誘電体１１の下面側には、信号用または電源用の膜状導
体１２が被着されている。そして被測定物７に対する接
点部分が構成される板状誘電体１１の前記先端部１１ａ
には、Ｌ字形に曲折された接点部材としての金ワイヤ１
３が設けられている。金ワイヤ１３の一端１３ａは前記
膜状導体１２に対して電気的に導通した状態でボンディ
ングによって固定され、金ワイヤ１３の他端１３ｂは板
状誘電体１１の先端部１１ａの端面１１ｂに接着・固定
されている。即ち、固定された両端部１３ａ，１３ｂの
間にあるＬ字形の各部が、被測定物７と接触するプロー
ブ１０の接点部１４となる。このように本実施例のプロ
ーブ１０は、接点部材である金ワイヤ１３の両端１３
ａ，１３ｂを板状誘電体１１に固定し、両端１３ａ，１
３ｂの間に接点部１４がくるようにしたので、金ワイヤ
１３のめくれがなくなり、また該接点部１４の形状が固
定作業のために不均一になることが防げるために製品ご
とに寿命にバラツキが生じることもない。また本実施例
では、金ワイヤ１３の他端１３ｂを板状誘電体１１の端
面１１ｂに固定したが、第２図に示す第２実施例のよう
に、金ワイヤ２３をコ字状にして、膜状導体１２が形成
されていない板状誘電体１１の上面１１ｃに他端２３ｂ
を固定するようにしてもよい。このようにすれば、板状
誘電体１１に対する金ワイヤ２３の取付はさらに確実と
なる。

なお、以上説明した実施例では、接点部材として金ワイ
ヤ１３，２３を用いたが、帯状の金リボンを用いてもよ
い。また接点部材の材質としては金に限らず、金合金等
でもよい。また接点部材の固定方法としては、ボンディ
ングや接着だけでなく、ハンダ付等他の手段も採用する
ことができる。但し前述した通り、接点部材の一端１３
ａ，２３ａは、板状誘電体１１の一面に設けられた膜状
導体１２に電気的に接続されなければならない。接点部
材の材質や形状、その固定手段等について以上述べた種
々の態様は、以下に説明する他の実施例にもあてはまる
ものである。

第３図（ａ），（ｂ），（ｃ）は、本考案の第３実施例
であるコープレナー方式の信号用プローブ３０を示す側
面図、下面図、先端正面図である。第１実施例とほぼ同
形状の板状誘電体３１の下面側には、その中央部に先端
に達する信号用の膜状導体３２が形成されており、該膜
状導体３２の両側には所定の間隔をあけてアース用の膜
状導体３５，３５がそれぞれ形成されている。そして第
１実施例と同様に、板状誘電体３１の先端部３１ａには
Ｌ字形に成形された接点部材としての金ワイヤ３３が設
けられており、該金ワイヤ３３の一端３３ａは信号用膜
状導体３２の先端部近傍に固定されて電気的に接続さ
れ、その他端３３ｂは板状誘電体３１の先端部３１ａの
端面３１ｂに固定されている。本実施例によれば、第１
実施例と同様の作用・効果を得ることができる。

第４図（ａ），（ｂ），（ｃ）は、本考案の第４実施例
であるサスペンデッド方式の信号用プローブ４０を示す
側面図、下面図、先端正面図である。第１実施例とほぼ
同形状の板状誘電体４１の下面には、両側にスペースを
残して信号用の膜状導体４２が形成されており、該板状
誘電体４１の両側には、その板表面に対して垂直に板状
アース用導体４５、４５がそれぞれ設けられている。そ
して板状誘電体４１の先端部４１ａにはコ字形に成形さ
れた接点部材としての金ワイヤ４３が設けられており、
該金ワイヤ４３の一端４３ａは信号用の膜状導体４２の
先端部近傍に固定されて電気的に接続され、その他端４
３ｂは信号用の膜状導体４２とは反対側の板状誘電体４
１の上面４１ｃ側に固定されている。本実施例の接点構
造によれば、第２実施例とほぼ同様の作用・効果を得る
ことができる。

第５図（ａ），（ｂ）は、本考案の第５実施例であるマ
イクロストリップ方式の信号用プローブ５０を示す側面
図、及び下面図である。第１実施例とほぼ同形状の板状
誘電体５１の下面には、帯状の信号用の膜状導体５２が
所定の幅で形成されて先端部５１ａに達している。また
該板状誘電体５１の上面５１ｃには、板状誘電体５１の
先端部５１ａには達しないようにアース用膜状導体５５
が形成されている。そして板状誘電体５１の先端部５１
ａにはＬ字形に成形された接点部材としての金ワイヤ５
３が設けられており、該金ワイヤ５３の一端５３ａは信
号用の膜状導体５２の先端部近傍に固定されて電気的に
接続され、その他端５３ｂはアース用膜状導体５５のな
い板状誘電体５１の上面５１ｃ先端側に固定されてい
る。本実施例の接点構造によれば、第１実施例とほぼ同
様の作用・効果を得ることができる。

以上説明した各実施例からもわかるように、板状誘電体
の先端に接点部材を固定する構造のプローブについて
は、伝送線路の方式にかかわらず、本考案を適用するこ
とができる。

［考案の効果］本考案によれば、膜状導体に接点部材の一端を固定して
電気的に導通させ、前記接点部材を膜状導体に密着させ
るとともに、前記板状誘電体の先端近傍で曲げ、接点部
材の他端を固定し、接点部材の前記曲げ部を被測定物に
対する接点部とした構成であるため、接点部の形状を常
に均一にでき寿命のバラツキをなくすことができ、膜状
導体と接点部材との間でインダクタンス、容量等が可変
されることなく、接点部材の特性インピーダンスを一定
にできる。

また、板状誘電体自体の撓みにより被測定物に接点部を
押圧する構成であり、また、接触時には常に接点部の同
一箇所が被測定物に接触するため、板状誘電体を一定に
押圧するのみで接点部の接触圧を同一にできる。

そして、接点部材の両端が密着固定された構造であるた
め、接点部材のめくれが防止できる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ），（ｂ）は、それぞれ本考案の第１実施例
である低周波用または電源用プローブの側面図及び下面
図、第２図は同第２実施例の側面図、第３図（ａ），
（ｂ），（ｃ）は、それぞれ本考案の第３実施例である
コープレナー方式の信号用プローブを示す側面図、下面
図及び先端正面図、第４図（ａ），（ｂ），（ｃ）は、
それぞれ本考案の第４実施例であるサスペンデッド方式
の信号用プローブを示す側面図、下面図及び先端正面
図、第５図（ａ），（ｂ）は本考案の第５実施例である
マイクロストリップ方式の信号用プローブを示す側面図
及び下面図、第６図及び第７図はそれぞれ従来のプロー
ブにおける接点部の構造を示す側面図である。１０……低周波用又は電源用プローブ、３０……コープレナー方式の信号用プローブ、４０……サンペンデッド方式の信号用プローブ、５０……マイクロストリップ方式の信号用プローブ、１１，３１，４１，５１……板状誘電体、１１ｂ，３１ｂ……板状誘電体１１，３１の端面、１１ｃ，４１ｃ，５１ｃ……板状誘電体１１，４１，５
１の上面、１２，３２，４２，５２……膜状導体、１３，２３，３３，４３，５３……接点部材としての金
ワイヤ、１３ａ，２３ａ，３３ａ，４３ａ，５３ａ……金ワイヤ
の一端、１３ｂ，２３ｂ，３３ｂ，４３ｂ，５３ｂ……金ワイヤ
の他端。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】板状誘電体（１１）の一面に膜状導体（１
２）を形成したプローブにおいて、前記膜状導体に接点部材（１３）の一端（１３ａ）を固
定して電気的に導通させ、前記接点部材を膜状導体に密
着させるとともに、前記板状誘電体の先端近傍で曲げ、
前記接点部材の一端が固定された板状誘電体の一面以外
の面に前記接点部材の他端（１３ｂ）を固定し、接点部
材の前記曲げ部近傍を被測定物（７）に対する接点部
（１４）としたことを特徴とするプローブの接点構造。