JPS6421309U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6421309U JPS6421309U JP14315787U JP14315787U JPS6421309U JP S6421309 U JPS6421309 U JP S6421309U JP 14315787 U JP14315787 U JP 14315787U JP 14315787 U JP14315787 U JP 14315787U JP S6421309 U JPS6421309 U JP S6421309U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductor
- plate
- film
- dielectric
- grounding conductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 28
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 8
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Description
第１図ａは、本考案の高周波プローブの一実施
例を示す一部切欠き平面図、第１図ｂは、同図ａ
のＡ−Ａ線断面図、第１図ｃは、同図ａのＣ−Ｃ
線断面図、第２図は、同動作図、第３図は、本考
案の第２の実施例を示す一部切欠き平面図、第４
図ａは本考案の第３の実施例を示す平面図、同図
ｂは同実施例の高周波プローブが被測定物に対し
て接触した状態を側面から示す図、同図ｃは同図
ｂにおける先端正面図、同図ｄは同図ｂにおける
ｄｄ′矢視図、第５図ａは第２の実施例における
挿入損失を示すグラフ、同図ｂは第３の実施例に
おける挿入損失を示すグラフ、第６図ａは本考案
の第４の実施例を示す断面図、同図ｂは同図ａに
おける上面図、第７図ａは、従来の高周波プロー
ブを示す一部切欠き平面図、第７図ｂは、同図ａ
のＢ−Ｂ線断面図である。 １……板状誘電体、２……膜状信号用導体、３
……板状アース用導体、３ａ……膜状アース導体
、３ｂ……接点部、４……接続金具、５……被測
定物、６……接続手段としての金ワイヤ、７……
接続手段を構成するスルホール、８……接続手段
を構成する他の膜状アース用導体、９……接続手
段を構成する金ワイヤ、１０……同軸伝送路、１
０ａ……信号用導体、１０ｂ……アース用導体。
例を示す一部切欠き平面図、第１図ｂは、同図ａ
のＡ−Ａ線断面図、第１図ｃは、同図ａのＣ−Ｃ
線断面図、第２図は、同動作図、第３図は、本考
案の第２の実施例を示す一部切欠き平面図、第４
図ａは本考案の第３の実施例を示す平面図、同図
ｂは同実施例の高周波プローブが被測定物に対し
て接触した状態を側面から示す図、同図ｃは同図
ｂにおける先端正面図、同図ｄは同図ｂにおける
ｄｄ′矢視図、第５図ａは第２の実施例における
挿入損失を示すグラフ、同図ｂは第３の実施例に
おける挿入損失を示すグラフ、第６図ａは本考案
の第４の実施例を示す断面図、同図ｂは同図ａに
おける上面図、第７図ａは、従来の高周波プロー
ブを示す一部切欠き平面図、第７図ｂは、同図ａ
のＢ−Ｂ線断面図である。 １……板状誘電体、２……膜状信号用導体、３
……板状アース用導体、３ａ……膜状アース導体
、３ｂ……接点部、４……接続金具、５……被測
定物、６……接続手段としての金ワイヤ、７……
接続手段を構成するスルホール、８……接続手段
を構成する他の膜状アース用導体、９……接続手
段を構成する金ワイヤ、１０……同軸伝送路、１
０ａ……信号用導体、１０ｂ……アース用導体。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 信号用導体１０ａとアース用導体１０ｂとを
有する伝送路１０を被測定物に接触させる高周波
プローブにおいて、可撓性のある板状誘電体１の
一方の面に膜状信号用導体２を形成し、少なくと
も板状誘電体１の面に垂直な面を有すると共に膜
状信号用導体２との間で常に一定の特性インピー
ダンスを形成するように板状誘電体１に対し相対
的に揺動可能にされた板状アース用導体３を配置
した高周波プローブ。 ２ 入力信号を終端あるいはモニタするために、
前記膜状信号用導体２を板状誘電体１面上で折り
返し、かつ折り返した先端部分から板状誘電体１
の先端部分の接点部まで膜状信号用導体を設け、
折り返した膜状信号用導体２間に膜状アース用導
体３ａを形成し、この膜状アース用導体３ａと板
状誘電体１の両側面にそれぞれ設けられる２つの
板状アース用導体３と信号用導体２との間で一定
の特性インピーダンスを形成した実用新案登録請
求の範囲第１項記載による高周波プローブ。 ３ 前記膜状アース用導体３ａと前記板状アース
用導体３とを、接続手段によつて先端部の近傍で
電気的に接続した実用新案登録請求の範囲第２項
記載の高周波プローブ。 ４ 前記膜状アース用導体３ａの先端に接続手段
としての金ワイヤ６の一端を固定し、該金ワイヤ
６の他端を前記板状アース用導体３の先端側に固
定した実用新案登録請求の範囲第３項記載の高周
波プローブ。 ５ 板状誘電体１に形成されたスルホール７と、
該スルホール７を介して板状誘電体１の反対面上
に前記膜状アース用導体３ａを導出する他の膜状
アース用導体８と、他の膜状アース用導体８の導
体先端を板状アース用導体３に接続する金ワイヤ
９と、によつて前記接続手段を構成した実用新案
登録請求の範囲第３項記載の高周波プローブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14315787U JPH0611463Y2 (ja) | 1987-02-06 | 1987-09-21 | 高周波プローブ |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62-15493 | 1987-02-06 | ||
| JP1549387 | 1987-02-06 | ||
| JP14315787U JPH0611463Y2 (ja) | 1987-02-06 | 1987-09-21 | 高周波プローブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6421309U true JPS6421309U (ja) | 1989-02-02 |
| JPH0611463Y2 JPH0611463Y2 (ja) | 1994-03-23 |
Family
ID=31717316
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14315787U Expired - Lifetime JPH0611463Y2 (ja) | 1987-02-06 | 1987-09-21 | 高周波プローブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0611463Y2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007123185A1 (ja) * | 2006-04-21 | 2007-11-01 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | コンタクトプローブ、及びその作製方法 |
| US7420381B2 (en) | 2004-09-13 | 2008-09-02 | Cascade Microtech, Inc. | Double sided probing structures |
-
1987
- 1987-09-21 JP JP14315787U patent/JPH0611463Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7420381B2 (en) | 2004-09-13 | 2008-09-02 | Cascade Microtech, Inc. | Double sided probing structures |
| US8013623B2 (en) | 2004-09-13 | 2011-09-06 | Cascade Microtech, Inc. | Double sided probing structures |
| WO2007123185A1 (ja) * | 2006-04-21 | 2007-11-01 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | コンタクトプローブ、及びその作製方法 |
| JPWO2007123185A1 (ja) * | 2006-04-21 | 2009-09-03 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | コンタクトプローブ、及びその作製方法 |
| JP5109064B2 (ja) * | 2006-04-21 | 2012-12-26 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | コンタクトプローブ、及びその作製方法 |
| US9134346B2 (en) | 2006-04-21 | 2015-09-15 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Method of making contact probe |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0611463Y2 (ja) | 1994-03-23 |
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