JPH0611461Y2 - プローブ - Google Patents
プローブInfo
- Publication number
- JPH0611461Y2 JPH0611461Y2 JP1988077274U JP7727488U JPH0611461Y2 JP H0611461 Y2 JPH0611461 Y2 JP H0611461Y2 JP 1988077274 U JP1988077274 U JP 1988077274U JP 7727488 U JP7727488 U JP 7727488U JP H0611461 Y2 JPH0611461 Y2 JP H0611461Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measured
- probe
- contact
- input
- terminal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は被測定物（例えば電子回路部品）の入出力端子
に接触させて電気特性及び性能を検査する際に用いられ
るプローブに関するものである。
に接触させて電気特性及び性能を検査する際に用いられ
るプローブに関するものである。
［従来の技術］ 被測定物の入出力端子に接触させて電気特性を検査する
場合、従来第３図（ａ），（ｂ）に示すようなプローブ
が用いられていた。
場合、従来第３図（ａ），（ｂ）に示すようなプローブ
が用いられていた。
このプローブはタングステンよりなる丸棒部材１の中途
位置１ａが折曲しており、その先端部分２が研磨により
先細に尖って成形され、被測定物の入出力端子に対し所
定の接触面積をもって上方から接触するように構成され
たものである。
位置１ａが折曲しており、その先端部分２が研磨により
先細に尖って成形され、被測定物の入出力端子に対し所
定の接触面積をもって上方から接触するように構成され
たものである。
［考案が解決しようとする課題］ しかしながら、上述した従来のプローブでは、研磨，曲
げ工程を経て製造されるため、各工程において製造上バ
ラツキが多く生じコスト高になるという問題があった。
げ工程を経て製造されるため、各工程において製造上バ
ラツキが多く生じコスト高になるという問題があった。
また、プローブを構成する部材の外形が０．２５〜０．
３mmと大きく、このため高密度な実装に対応することが
困難であるという問題があった。
３mmと大きく、このため高密度な実装に対応することが
困難であるという問題があった。
そこで、本考案は上述した問題点に鑑みてなされたもの
であって、その目的は、小さな接触面積で確実な接触導
通が図れ、高密度の実装を容易に行うとができるプロー
ブを提供することにある。
であって、その目的は、小さな接触面積で確実な接触導
通が図れ、高密度の実装を容易に行うとができるプロー
ブを提供することにある。
［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するため本考案は、被測定物の入出力端
子６に接触して電気特性及び性能を検査するためのプロ
ーブにおいて、 板材の片面側に傾斜面３ａをなして被測定物の入出力端
子６と接触する先端面３ｂが微小半径に形成された接点
部３と、該微小半径の先端面が前記被測定物の入出力端
子に接触している状態で所定のたわみ量をもって前記被
測定物に所定の接触荷重を与えるたわみ部５とを一体に
備えたことを特徴としている。
子６に接触して電気特性及び性能を検査するためのプロ
ーブにおいて、 板材の片面側に傾斜面３ａをなして被測定物の入出力端
子６と接触する先端面３ｂが微小半径に形成された接点
部３と、該微小半径の先端面が前記被測定物の入出力端
子に接触している状態で所定のたわみ量をもって前記被
測定物に所定の接触荷重を与えるたわみ部５とを一体に
備えたことを特徴としている。
［作用］ プローブは接点部３とたわみ部５が板材により一体に形
成されたもので、先端面３ｂが微小半径に形成された接
点部３と被測定物の端子６が接触すると、たわみ部５が
所定のたわみ量をもって被測定物に所定の接触荷重を与
えて位置決め保持する。この状態で被測定物の電気特性
及び性能を検査する。
成されたもので、先端面３ｂが微小半径に形成された接
点部３と被測定物の端子６が接触すると、たわみ部５が
所定のたわみ量をもって被測定物に所定の接触荷重を与
えて位置決め保持する。この状態で被測定物の電気特性
及び性能を検査する。
［実施例］ 第１図（ａ），（ｂ）は本考案によるプローブの一実施
例を示す図である。
例を示す図である。
この実施例によるプローブは、被測定物の入出力端子に
接触して電気特性及び性能を検査する際に用いられるも
のである。
接触して電気特性及び性能を検査する際に用いられるも
のである。
プローブはタングステン、モリブデン、銅合金等よりな
る板材をエッチングすることによって複数同時成形され
るもので、一端が突出して先細に形成された長板状をな
しており、先細に形成された部分の先端は接点部３を構
成し、他の部分は他端に設けられた取付穴４を支点とし
て被測定物との接触時にたわんで被測定物に適度な接触
荷重を加えるたわみ部５を構成している。なお、このプ
ローブは取付穴４を介して図示しない固定手段によって
位置決め固定されている。
る板材をエッチングすることによって複数同時成形され
るもので、一端が突出して先細に形成された長板状をな
しており、先細に形成された部分の先端は接点部３を構
成し、他の部分は他端に設けられた取付穴４を支点とし
て被測定物との接触時にたわんで被測定物に適度な接触
荷重を加えるたわみ部５を構成している。なお、このプ
ローブは取付穴４を介して図示しない固定手段によって
位置決め固定されている。
接点部３は板材の片面側がハーフエッチングによって形
成される傾斜面３ａをなしており、その先端面３ｂは被
測定物の端子６と接触したときに接触面積がより小さく
なるよう微小半径（例えば半径２５μｍ）で形成され、
確実な接触導通が図れるように構成されている。
成される傾斜面３ａをなしており、その先端面３ｂは被
測定物の端子６と接触したときに接触面積がより小さく
なるよう微小半径（例えば半径２５μｍ）で形成され、
確実な接触導通が図れるように構成されている。
ところで、プローブを構成する板材の厚さＬ１は、第２
図に示すように被測定物の端子６間距離ｌに応じて設定
されるもので、例えば端子間６距離ｌが０．１５mmであ
れば、板厚Ｌ１は０．１mm程度に設定されており、高密
度の実装に対処できるようになっている。
図に示すように被測定物の端子６間距離ｌに応じて設定
されるもので、例えば端子間６距離ｌが０．１５mmであ
れば、板厚Ｌ１は０．１mm程度に設定されており、高密
度の実装に対処できるようになっている。
また、たわみ部５の形状、寸法（板厚Ｌ１、長さＬ２、
幅Ｌ３）はたわみ−荷重計算により最適な値となるよう
に設定されている。
幅Ｌ３）はたわみ−荷重計算により最適な値となるよう
に設定されている。
以上の構成において、プローブは接点部３側の厚さ方向
の面が被測定物の端子６と対向するように各端子６毎に
複数並設され、各端子６が接点部３に接触すると、プロ
ーブは取付穴４の位置を支点として所定量たわんで被測
定物に所望の接触荷重を与え、被測定物の端子６と接点
部３との間における接触導通をより確実なものとして位
置決めする。この状態でプローブを介して被測定物に所
定の電圧が加えられ、電気特性及び被測定物が正常に動
作するかどうかの性能を検査する。
の面が被測定物の端子６と対向するように各端子６毎に
複数並設され、各端子６が接点部３に接触すると、プロ
ーブは取付穴４の位置を支点として所定量たわんで被測
定物に所望の接触荷重を与え、被測定物の端子６と接点
部３との間における接触導通をより確実なものとして位
置決めする。この状態でプローブを介して被測定物に所
定の電圧が加えられ、電気特性及び被測定物が正常に動
作するかどうかの性能を検査する。
ところで、上述したプローブでは被測定物との接触時
に、たわみによる移動量Ｍが生ずるようにして接点部３
に形成された酸化皮膜を破ってより確実な接触導通が行
えるように構成されているが、端子６の面積が極小さい
場合には、上述した移動量Ｍにより接点部３を端子６上
に正確に接触させることが困難なため、縦横方向にバネ
性を持たせることによってたわみによる接点部３の移動
量Ｍを小さく制限させる構成にしてもよい。
に、たわみによる移動量Ｍが生ずるようにして接点部３
に形成された酸化皮膜を破ってより確実な接触導通が行
えるように構成されているが、端子６の面積が極小さい
場合には、上述した移動量Ｍにより接点部３を端子６上
に正確に接触させることが困難なため、縦横方向にバネ
性を持たせることによってたわみによる接点部３の移動
量Ｍを小さく制限させる構成にしてもよい。
［考案の効果］ 以上説明したように本考案のプローブによれば、接点部
の先端面が例えば半径２５μｍ程度の微小半径に形成さ
れ、板材のたわみ量によって被測定物に対する接触荷重
を得ているので、接触部の先端面が被測定物の入出力端
子に接触したときに、小さな接触面積で位置決め保持し
て確実な接触導通が図れる。また、接点部とたわみ部
は、板材で一体に形成されているので、コンパクトに構
成して高密度の実装に容易に対応することができる。
の先端面が例えば半径２５μｍ程度の微小半径に形成さ
れ、板材のたわみ量によって被測定物に対する接触荷重
を得ているので、接触部の先端面が被測定物の入出力端
子に接触したときに、小さな接触面積で位置決め保持し
て確実な接触導通が図れる。また、接点部とたわみ部
は、板材で一体に形成されているので、コンパクトに構
成して高密度の実装に容易に対応することができる。
第１図（ａ）は本考案によるプローブの一実施例を示す
側面図、第１図（ｂ）は同プローブの正面図、第２図は
被測定物の端子上における同プローブの配置状態を示す
平面図、第３図（ａ），（ｂ）は従来のプローブに一例
を示す側面図および平面図である。 ３…接点部、３ａ…傾斜面、３ｂ…先端面、５…たわみ
部、６…端子。
側面図、第１図（ｂ）は同プローブの正面図、第２図は
被測定物の端子上における同プローブの配置状態を示す
平面図、第３図（ａ），（ｂ）は従来のプローブに一例
を示す側面図および平面図である。 ３…接点部、３ａ…傾斜面、３ｂ…先端面、５…たわみ
部、６…端子。
Claims (1)
- 【請求項１】被測定物の入出力端子（６）に接触して被
測定物の電気特性を検査するためのプローブにおいて、 板材の片面側に傾斜面（３ａ）をなして被測定物の入出
力端子（６）と接触する先端面（３ｂ）が微小半径に形
成された接点部（３）と、該微小半径の先端面が前記被
測定物の入出力端子に接触している状態で所定のたわみ
量をもって前記被測定物に所定の接触荷重を与えるたわ
み部（５）とを一体に備えたことを特徴とするプロー
ブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988077274U JPH0611461Y2 (ja) | 1988-06-13 | 1988-06-13 | プローブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988077274U JPH0611461Y2 (ja) | 1988-06-13 | 1988-06-13 | プローブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02663U JPH02663U (ja) | 1990-01-05 |
| JPH0611461Y2 true JPH0611461Y2 (ja) | 1994-03-23 |
Family
ID=31302270
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988077274U Expired - Lifetime JPH0611461Y2 (ja) | 1988-06-13 | 1988-06-13 | プローブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0611461Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2531043Y2 (ja) * | 1990-09-28 | 1997-04-02 | アンリツ株式会社 | プローブヘッドの先端構造 |
| JP2531042Y2 (ja) * | 1990-09-28 | 1997-04-02 | アンリツ株式会社 | プローブヘッド |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58100439A (ja) * | 1981-12-11 | 1983-06-15 | Hitachi Ltd | プロ−バ |
| JPS6080772A (ja) * | 1983-10-08 | 1985-05-08 | Rohm Co Ltd | プロ−ブニ−ドル |
| JPS6297966U (ja) * | 1985-12-11 | 1987-06-22 |
-
1988
- 1988-06-13 JP JP1988077274U patent/JPH0611461Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02663U (ja) | 1990-01-05 |
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