JPS6177286A - 同軸ケーブル用インターフェース装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 以下の順序で本発明を説明する。

Ａ、産業上の利用分野 Ｂ、開示の概要 Ｃ０従来技術 り０発明が解決しようとする問題点 Ｅ０問題点を解決するための手段 Ｆ、実施例 ｆｌ、インターフェイス装置（第１図）ｆ２．インター
フェイス装置の詳細図（第２図） ｆ３．同軸コネクタ（第３図） ｆ４．単一の同軸コネクタ（第４図） ｆ５．同軸コネクタの一実施例（第５図）ｆ６．２つの
コネクタを接続する実施例（第６図） Ｇ０発明の効果 Ａ、産業上の利用分野 本発明は電気的コネクタ、さらに具体的には周囲の肩電
極によってかこまれたばねロード・ピン電極を有する同
軸コネクタに関する。

Ｂ、開示の概要 本発明の集積回路チップのためのテスト装置の様な装置
に同軸ケーブルの絹を相互接続するシステムは装着の対
応端子と整置してコネクタの各々を電気“的に位置付け
る導電材料の関孔板を含む。

各コネクタはコネクタのハウジングから絶縁され、同軸
ケーブルの内部導線と装置の対応する端子と接続するば
ねロード・プローブを含む。又板中には信号復帰プロー
ブが与えられ同軸ケーブルの外側の導線と電気的に接続
し、装置の対応する端子に対応する信号復帰経路を与え
る。代替実施例において、簡単な接続は単一のコネクタ
及びコネクタのハウジングの肩から延出す単一信号復帰
プローブの使用によって行われる。又対面する一対のコ
ネクタをつつみそれ等のハウジングと電気的に接触する
円筒スリーブを使用して一対のケーブルを結合出来る。

Ｃ０従来技術 同軸ケーブルは電気信号の伝送に広く使用されている。

この様なケーブルはその軸に沿って配向された内部導線
及びシールドもしくはスリーブ状に内部導線のまわりに
配置された外部導線を有する。内部及び外部導線はケー
ブルに所望のインピーダンスを与えるために適切な誘電
特性を有する絶縁材料の同軸層によって分離されている
。この様なケーブルは大きな直径及び小さな直径を含み
、種々の寸法のものが製造されている。ケーブルの終端
のコネクタはコネクタ部品の配列の中でも同軸構造を保
持している。コネクタは通常雄及び雌の配偶体として構
成され、コネクタをｌｆにしっかりと係合するための空
間的な溝及び歯の様なロック装置を含む。

同軸ケーブルを使用して半導体マイクロ回路をテストす
る事に特に興味がもたれる様になった。

複雑な回路ではテスト装置に接続される端子が多く、従
って半導体マイクロ回路をテスト装置に接続するのに、
多くのケーブルを使用しなければならない。パッドの形
の電極を有するチップとして形成されたマイクロ回路の
テストの場合には、最小の寸法の同軸ケーブルで接続す
るとしても、パッドの寸法及び間隔は極めて小さ過ぎる
。従って、パッドの組及び同軸ケーブル接続体間をイン
ターフェイスする装置が形成された。

この様なインターフェイス装置の使用に伴う間題は装置
の帯域幅と物理的寸法の間を折衷して標準の同軸コネク
タを使用可能にする点にある。従って現在使用可能なコ
ネクタの物理的寸法がインターフェイス装置に制限を加
える。この事はインターフェイス装置がマイクロ回路の
パッドの空間的配列を同軸構造体の空間的配列に変換す
る装置である事を考えれば容易に明らかであろう。

現在使用されているコネクタは平坦な表面と係合する様
には構成されていないので、たとえマイクロ回路のパッ
ドが拡大されても、コネクタ及びパッド間を直接接続す
ることは出来ない。

Ｄ０発明が解決しようとする問題点 本発明の目的は、半導体マイクロ回路等の装置をテスト
するための、中心にばねで装填されたピン電極を有し、
周囲に肩電極を有する同軸コネクタを与える事にある。

Ｅ０問題点を解決するための手段 上述の問題点及び他の利点は本発明に従う、コネクタの
中心にばねでロードされたピン状の接点を有し周囲に大
きな素子を有する同軸コネクタによって解決され、与え
られる。中心の接点は同軸ケーブルの中心の導線と接続
して、周囲の素子は同軸ケーブルの外部導線と接続する
。周囲の素子は一つもしくはそれ以」二の、ばねでロー
ドされ、ピン状をなす外部接点のためのハウジングとし
て使用される。外部接点は周囲の素子を介して外部の導
線に電気的に接続される。ばねによるローデングは接点
をコネクタの軸に平行に移動させて、コネクタ内に後退
させる弾性力を与える。」二連のコネクタの配列は接続
を確実にするためにコネクタを手でねじる事なく平担な
配列の対向する接点との接続が可能になる。この結果空
間が節約され、上述のインターフェイス装置の一つの設
計の自由度が増大する。

本発明のさらに他の特徴に従って、コネクタの群は一緒
にたばねて、コネクタと係合する開孔を有する共通の板
に固定出来、夫々のケーブルをコネクタにアクセス出来
る。

本発明の代替実施例では、２つのコネクタは２つのコネ
クタを包み位置付けるスリーブの助けによって結合出来
る。これによって、２つの同軸ケーブルは雄、雌型のコ
ネクタを形成する必要なく容易に結合出来る。本発明の
さらに他の実施例では、一つの外部接点が使用され、コ
ネクタの一側に延びる周辺素子が与えられて、指取手が
形成される。この様にしてコネクタは電子回路をテスト
するためのプローブとして使用可能になる。中央接点を
信号端子に接続し、外部接点を信号復帰端子に接続出来
る。

Ｆ、実施例 次に本発明の好ましい実施例について説明する。

説明は２つの部分に分れる。先ず、本発明のコネクタを
有利に使用したインターフェイス装置が第１図及び第２
図を参照して説明される。残りの図はコネクタの実施例
を説明するのに使用される。

第３図の実施例は特にインターフェイス装置に有用であ
る。第１図及び第２図のインターフェイス装置はテスト
取付は構造体として示されている。

ｆｌ、インターフェイス装置（第１図）第１図及び第２
図を参照するに、テスト取付は構造体１−０は間隔変換
器］２を含み、その底部にはプローブ組立体１４が取付
けられていて保持器１３上のテストされる集積回路］５
の端子パッドと接触する様になっている。構造体１０、
即ち変換器１２及びプローブ（組立体）１４は各々正方
形（もしくは長方形）をなし、プローブ１４の寸法は変
換器１２の寸法よりもはるかに小さく、集積回路１５と
インターフェイスをなす様になっている。

さらに構造体１０は正方形のコネクタ板１２０、信号コ
ネクタ保持板１２２、中央コネクタ板］７２、側壁２０
、間隔変換器キャップ］６及び位置付はネスト１８を含
んでいる。間隔変換器１２及び剛体のテス１−・プロー
ブ１４の詳細は１９８４年９月２１日同時出願の米国特
許出願第６５２９８１号に説明されている。

構造体１０の詳細について説明する。正方形のコネクタ
板１２０は接地された、金めつき黄銅の様な導電度の高
い金属である事が好ましい。正方形のコネクタ］２０を
垂直に貫通する開孔はその中に信号コネクタ１．８０及
び接地コネクタ１６２を位置付け、これ等のコネクタ１
８０，１６２との電気的接続を与える。コネクタ１６２
，１８０については以下第３図に関して詳細に説明され
る。

しかしながら、ここではこれ等のコネクタは中心の導線
が圧縮可能なばねでロードされた可動なばねロード型の
ものである事を述べるだけで十分である。従ってコネク
タ１６２．１．８０とコネクタ板１２０の間の導電性の
インターフェイスはコネクタ１６２，１８０への最短の
最も抵抗の少ない接地接続を与える。接地コネクタ１６
２は正方形のコネクタ板１２０に適切に保持される様に
板１２０の間にプレスばめされる事が好ましい。

電力コネクタ１８１．１８１′も中央コネクタ板１７２
を略垂直に貫通する開孔中にプレスばめされる。中央コ
ネクタ板１７２はＡＦ　　ＤＥＬＲＩＮの如き、十分な
構造−ヒの強さを有する優れた誘電体材料である点で正
方形のコネクタ板１２０とは著しく異なっている。従っ
て電力コネクタ１８１は追加の絶縁体を要求としないの
で、設計及び構造が簡ｔｌｔになる。中央コネクタ板１
７２は一部８一 般に正方形をなし、正方形のコネクタ板１２０の中央の
開孔内にはめ合にされる様な寸法を有し、中央のプレー
ス３０のまわりに存在する事が好ましい。電力コネクタ
］−８１は全体がシールドされていないので、減結合コ
ンデンサ１８２が十分短かい接続リードによって容易に
接続出来、望ましくない寄生インダクタンスの導入を避
ける事が出来る。

信号コネクタ保持板１２２はコネクタ板１．２０の上に
設置され、中央コネクタ板１７２の一部と重なっていて
これ等の板を夫々の位置に保持する様になっている。保
持板１２２は中央及び正方形のコネクタ板１２０，１７
２を保持するに十分な構造上の力を有するＡＦ　　ＤＥ
ＬＲＩＮの様な誘電体の材料より成る事が好ましい。

開孔１２４．１２６（第３図に一番よく示されている）
は保持板１２２を略垂直に貫通している事が好ましく配
線リードがこれを通って必要に応じて信号コネクタ１８
０に達し、接地コネクタ１６２に対しては立体的なすき
間を与える事が好ましい。信号コネクタ１８０のための
開孔はコネクタの外側の表面上に与えられたフランジ上
にはめ合いに出来る様に中ぐりされる事が好ましい。こ
れ等のフランジは以下第３図に関して詳細に説明される
様に、コネクタ１．８０が正方形のコネクタ板１．２０
中にプレスばめに出来る程深いだけでなく、信号コネク
タ保持板１２２がコネクタのリード線に対する応力逃し
を与えるものである。開孔は必要に応じて信号コネクタ
保持板］−２２中にも与えられ接地コネクタ１６２の上
部がさまたげられずに正方形のコネクタ板１２ｏ」−に
延出す様になっている。軽量の構造用アルミニウム合金
より形成される事が好ましい側壁２０はいくっがのねじ
３４によって支持ブリッジ２２に取付けられるフランジ
２３を有する。ねじ組立体２５は内部がねじ切りされた
導入体２４、これと係合するねじ２８及びしめ付はナツ
ト３２を含み、ブリッジ２２の中央でプレース３０に調
節可能な圧力を与える様になっている。フランジ２１は
側壁２ｏの内部表面」二に与えられ、十分内側に延びて
板１２２の上の端の表面と接触する様になっている。変
換器位置付はテスト１８がいくつかの中ぐりねじ３６に
よって側壁２０の底端に取付けられていて、側壁２０の
内方に延び正方形のコネクタ板１．２０の底端部と接し
、保持板１２２の位置付けを確実にしている。変換器キ
ャップ１６は一組の保持セグメントから形成され、いく
つかの中ぐりねじ３８によって、位置付はネスト１８を
通り側壁２０に取付けられている。

キャップ］６の保持セグメントの各々には内側に延びる
フランジ１７が与えられていて、間隔変換器１２の底端
部と係合している。キャップ１６の寸法は間隔変換器１
２の上方表面がコネクタ板１２０．１７２の底面に沿っ
て一様な間隔で位置付けられる様に間隔変換器］−２を
コネクタ板１２０．１７２に取付けるのに適切なもので
ある事が好ましい。

間隔変換器１２をコネクタ板１２０，１７２に接近する
様に移動する際に、種々のコネクタのばねでロードされ
た中央の導線は第３図に関して説明される様に夫々のコ
ネクタの体内に押込められる。その抵抗力は初めは略１
ｏｇで、最後は２０ｇである事が好ましい。間隔変換器
１２とコネクタ板１２０．１７２間のギャップは実際に
可能な限り小さい方が好ましく、信号プローブ（信号コ
ネクタ）１８０がギャップを横切る時の信号プローブ１
８０の中心の導体のシールドされていない部分の長さが
最小にされる事が好ましい。これによって以下詳細に説
明される様にシールドされていない状態によって生ずる
電気的な不連続の程度が減少するので好ましい。

図示されていないが、プレース３０、正方形の板１２０
及びスペーサ・ネスト１８にはかみあいだぼを与えるこ
とが好ましい。だぼの位置を適切に選択する事によって
コネクタ１６２．１８０．１８１の正しい方向が保証さ
れ、間隔変換器１２の最上部の表面上の電極に適切に接
触する様になる。

ｆ２．インターフェイス装置の詳細図（第２図）好まし
い間隔変換器１２及びプローブ組立体１−１２＝ ４の代表的な詳細部分が第２図に示されている。

間隔変換器１２の構造は上記米国特許出願明細書に説明
されている。ここではコネクタ１８０．１６２．１８１
からプローブ組立体１４への信号の流れの連続性を示す
ためにその構造的特徴について繰返し説明する。これに
よってコネクタ１８０゜１６２．１８１の構造はインピ
ーダンスの不整合が最小になる様に間隔変換器１２に対
し、もしくはこれから広い帯域の電磁信号が伝搬出来る
ものである事が理解されよう。

間隔変換器１２は通常のセラミック積層技術を使用して
製造された多層セラミック（ＭＬＣ）構造をなす。この
構造体は最小限２つの高い導電性の材料層４６．４８に
よって分離された３つのプレーナ・セラミック層４０．
４２．４４を含む。

導電性の材料は使用される特定のセラミックの膨張係数
と同じ膨張係数を有する金属もしくは金属合金である事
が好ましい。以下説明される理由のために、第１の導電
層４６は電力平面として、第２の層４８は電力復帰即ち
接地平面４８として使用される事が好ましい。

層４０に与えられた貫通孔がモリブデンの様な金属の導
電性バス５２を電力平面である層４６と、究極的に間隔
変換器１２の最上部表面になるセラミック層４０の外部
表面上に与えられた金もしくは等価な高導電性の耐酸化
、金属もしくは合金金属である事が好ましい電極６２と
の間に与えられる。同様に導電性バス５４は接地平面で
ある層４８及び表面電極６４間に、２つの介在するセラ
ミック層４０．４２中の貫通孔及び短絡を防止する必要
のある電力平面４６中の適切な開孔を通して延びている
。所望の複数の信号バス５６（唯一つだけが図示されて
いる）が間隔変換器］−２の最上部の表面に存在する電
極６６（第２図には一つだけが示されている）から信号
を、変換器１２の底部表面」；に金属薄膜として形成さ
れた多くの導線５０の一つ迄伝える。導線５０はセラミ
ック層４４の下部表面から他の導電性の金属層５２及び
絶縁体層５３によって分離されている。層５２は導電５
０及び層５１間にはさまれていて層５１はセラミック層
４４に接している。バス５６はセラミック層４４．４２
．４４の夫々貫通孔電力及び接地平面（層４６及び４８
）並びに層５１及び５３中の開孔を通って延びている。

通常の薄膜付着技術を使用して、層５１を与える。この
層５１は間隔変換器１２の最下部の表面の略すべてに重
なる高周波（５０ＭＨｚよりも高い）ＡＣ接地基準層と
して働く。夫々の信号バス５６に電気的に結合している
薄膜導線５０は必要に応じたパターンをなし、以下説明
される様にプローブ組立体１４の信号導線１０２と空間
的に相互接続する様になっている。

プローブ組立体１４は一般に接地された導電性金属の剛
体の構造基体１００並びに誘電体被覆によって接地基体
１００から分離した、中央の導線を有し又所望のインピ
ーダンス（好ましくは５０オーム）の同軸信号線をなす
信号プローブ１．０２、基体１００に密接に接続されて
いる接地プローブ］０４及び低いインピーダンスの中央
の導線を覆う薄膜の絶縁酸化物層を有する電カブローブ
１０６を含んでいる。

図示された様に、信号プローブ１０２、接地プローブ１
０４及び電カブローブは基体１−００中をその端点が集
積回路１５の夫々の本来の信号、接地及び電力パッド（
第２図には示されていない、代表的にはＣ−４はんだ塊
）に適切に接している。

プローブ１０２．１０４．１０６の近接端は間隔変換器
１２の導線５０、層４８、及び層４６の夫々の平面に電
気的に接続されている。即ち電カブローブ１０６は下の
２つのセラミック層４２．４４中の貫通孔並びに素子４
８．５１．５３及び５０の接地平面４８．５１．５３及
び５０中の開孔を通して間隔変換器１２の電力平面４６
から底面に延びているバス９０に電気的に接している。

又、バス９２は一番下のセラミック層４４中の貫通孔、
素子５０．５１及び５３の平面中の開孔を通って間隔変
換器１２の層４８の接地平面から底面迄延び必要に応じ
て接地プローブ１０４に接続している。信号プローブ１
０２は配列体として夫々の薄膜導線５０の露出表面と接
触する事によって導線５０の組と直接電気的に接続して
いる。

間隔変換器１２の好ましい実施例の構造体は電力層４６
及び接地層４８の平面間に延びる低い接続インダクタン
スの高周波減結合コンデンサ７４．８４を与える事によ
って略完結する。コンデンサ７４．８４は薄膜構造であ
り、必要に応じて間隔変換器１２の最上部及び最下部上
に空間的に位置付けられる。コンデンサ７４．８４の接
続はセラミック層４０．４２．４４中の貫通孔並びに電
力及び接地層４６．４８中の対応する開孔を通して延び
る夫々、電カバスフ０．８０及び接地バス７２．８２に
よって電力層４６及び接地層４８に対してなされる。コ
ンデンサ７４．８４の接続部並びに電力及び接地層４６
．４８の長さが短い事と、バスとしてモリブデンの如き
インピーダンスの低い金属を使用する事によって接続イ
ンダクタンスは最小になる。コンデンサ７４．８４の高
周波領域の振舞はコンデンサの電極の寸法及びコンデン
サの絶縁材料の誘電性のパラメータに依存する。

間隔の変換器の表面に取付けられ、一体的なバスによっ
て接続された薄膜コンデンサを使用する事によって、コ
ンデンサを任意の都合のよい点に位置付ける事が出来、
一体的取扱いが容易な構造体が実現される。

本発明に従い構成された構成変換器１２の構造は層４．
６．４８．５１及びメツシュ平面配列体とみなされる導
線５０の配列を与える。電力平面層４６及び薄膜導線５
０間に介在した接地平面層４８．５１は、電力平面及び
薄膜導線を互に分離している。電力平面層４６に関して
云えば、低い接続インダクタンスの減結合コンデンサを
与える事によって、高周波電圧が安定し、電流雑音（ｄ
Ｉ／ｄｔ）の発生が著しく減少される。薄膜導線５０に
関して云えば、基準接地平面層５１を与え、薄膜導線５
０の寸法及び層５３の厚さを標準の伝送線理論に従って
適切に選択する事によって導線５０の特性インピーダン
スを最適値、好ましくは５０オームに保持出来る。従っ
て信号導線５０のインピーダンスは独立して、電力及び
接地方面のインピーダンス（一般に１オーム好ましくは
０．５乃至０．１オーム以下）よりもはるかに高い値に
設定出来る。

再び第１図を参照するに、使用に際し、テスト構造体１
０はプローブ組立体１４が取付けられた間隔変換器１２
を集積回路］５と近接して位置付ける。明らかに、集積
回路１５は初期のパッケージのまま、適切な支持台］３
上に取つけられ、回路１５の本来の導電性のバットの配
列体が支持台１３と平行である事が好ましい平面内にあ
る剛体のテスト・プローブ］４に提示され、アクセス可
能にされる事が好ましい。プローブ配線は互に平行で、
集積回路１５の接点パッドの対応する配列体に直交して
配置されている事が好ましい。従って、プローブ配線の
数はパッドの数に等しいか。

これよりも少ない事が好ましく、必要に応じて集積回路
１５に電力及びテスト信号を与え、これからの復帰信号
を受取る事が出来るものであればよい。次に間隔変換器
１２は支持台１３の方に前進され、プローブの先端は適
切な電気的接触を与えるに十分な圧力で集積回路のパッ
ドと接触する。

プローブ組立体１４と反対側の間隔変換器］２の最」二
部の表面に接するプレース３０は側壁２゜によって圧力
が間隔変換器］２に加えられる時に、これがたわむのを
防止する。間隔変換器１−２の初期公称たわみ位置が決
められ、その後ねじ組立体２５を調節する事によって保
持される。テスト後、テスト構造体１０は後退され、集
積回路１５が無傷で除去される。

１゛３．同軸コネクタ（第３図） 第３図を参照するに、間隔変換器の夫々の電極６６．６
４と接触する第１図にも示された信号コネクタ１８０及
び隣接接地コネクタ１６２の一本の拡大断面図が示され
ている。信号コネクタ１８０の中心にはばねでロードさ
れたプローブ１３４が存在する。このプローブは米国マ
サチュセッッ州７１へルポロ市（Ａｔｔｌｅｂｏｒｏ、
　Ｍａｓｓａｃｈｕｓｅｔｔｓ）のパイロン社（ＰＹＬ
ＯＮ　Ｃｏｍｐａｎｙ）によって「ポゴプローブ（ＰＯ
ＧＯＰＲＯＢＥ）Ｊ　　（部品番号Ｐ−２７８４−３）
の商品名で販売されているプローブを変形したものであ
る。この変形はプローブをベリリウム−銅の様な非誘導
性の材料で製造してばねの接触力を減らしたものである
。プローブ１３４は壁の薄い導線性金属の管状ハウジン
グである本体１３５、中心の導線もしくはピン１３６、
金属のストッパ・ボール１３８及び圧縮ばね１４０を有
する。テフロン（Ｔｅｆｌｏｎ、商標）である事が好ま
しいプレスばめ絶縁挿入体１３２がプローブ１３４のま
わりに、その長さに沿って同軸的に与えられている。絶
縁体挿入体１−３２は次にコネクタ１８０の本体管１２
８にプレスばめされる。

管１２８は高導電性の金属、好ましくは金めつき黄銅で
形成され、信号コネクタ１８０の支持シェルをなしてい
る。本体管１２８は壁の薄い下方部分１２９、比較的厚
い壁のフランジ部分１．３０、及び薄い壁の部分１３１
を有する事が好ましい。

本体管１２８の下方部分］２９の外側の寸法はこの部分
がコネクタ板］２０中に与えられた開孔１２７中に確実
にプレスばめされる様に選択される事が好ましい。」二
連の如く、フランジ部分］３０は比較的外径が大きく、
下方部分１２９の端がコネクタ板１２０中に挿入される
深さを与える肩を形成している。即ちコネクタ板１．２
０の底部表面と下方部分１２９の下方の面は同一平面に
される。

市販されているマイクロドラｌ”　（Ｍｊｃｒｏｄｏｔ
登録商標）の如き小さな直径の同軸ケーブル１８３が信
号コネクタ１８０のプローブ１３４に取付けられたテス
１〜・リードとして使用される事が好ましい。

ケーブル］８３は一般に誘電性のさや１４３の内部の信
号導線１４２より成るコア１４４及びコア１４４を包囲
する同軸接地シールド１４６を含む。

プローブ１３４への接続は信号導線］４２の延長端をプ
ローブ１３４の上方の端の開孔中にはんだ付けするか、
他の適切な手段で取付ける事によって行われる。ストッ
パ・ボール１３８はプローブ１３４の一体部分をなす。

誘電性の地１４３の下端は接地シールド１４６から分離
されて本体管］−２８の」二部１３１に挿入され、プロ
ーブ１３４の上部の端と接している。さや１４３の直ぐ
下の誘電性材料のワッシャ１５５はプローブ１３４の最
上部を閉じ、絶縁体の挿入体１３２と接している。

ケーブル１８３の接地シールド１４６は本体管の上部１
３１のまわりにその長さに沿って延びている。その結果
、接地シールド１４６はプローブＪ３４の全長にわたっ
て効果的に延び、絶縁体の挿入体１３２は信号プローブ
］３４を接地された本体管１２８から電気的に絶縁し、
信号線の所望インピーダンスを保持する働きを有する。

絶縁体の挿入体１３２に適切な材料及び必要な半径方向
の厚さは一般に知られている方法で選択され、所望の信
号線インピーダンスが得られる。

接続スリーブ］５０が与えられ、実質的に信号コネクタ
１８０が完全する。導電性金属である事が好ましい、ス
リーブ】５０は本体管］−２８の−に１部１３１１に延
びている、ケーブル１８３の接地シールド１４６の部分
」−にプレスばめされる。この様にして、ケーブル１８
３の本体部１２８の取付けが効果的に確実にされ、第３
図に示された一体の信号コネクタ］８３が形成される。

最後に、焼ばめされる絶縁被覆１５２がケープル１８３
及びスリーブ１５０の一部の上に与えられ、ケーブル１
８３と本体管１２８の接続部が腐食の如き、環境上の悪
影響から防止される。

上述の如く、信号コネクタ保持板１２２には中ぐり開孔
１２４が与えられ、信号コネクタ１８０の上部を受取り
、これに取付けられたテスト・リードが通過する様にな
っている。開孔１２４の中ぐり部分は特に本体管１２８
のフランジ部分１３０のみを受取る様な寸法を有する。

開孔１２４の残り部分の直径はフランジ部分１３０の直
径よりも小さく信号コネクタ保持板１２２は応力を解放
する様に働く事が好ましい。

接地コネクタ１６２は信号コネクタ１８０のプローブ１
３４と同じ構造を有する。しかしながら、接地プローブ
１６２は、これがコネクタ板１２０中の開孔１６４に直
接プレスばねされる点で著しく異なっている。接地コネ
クタ１６２の端子ピン１６０は従って、コネクタ板１２
０の大地基準電圧に直接導電的に結合され、接地コネク
タ１６２には別の電気的接続体は必要でその結果、本発
明＝２４＝ は別に接地コネクタ・リードを与えるための複雑さ、材
料及び追加の作業空間の使用といった無駄がなくなる。

又テスト取付は構造体］−〇の複雑さを著しく増大させ
る事なく任意の数の接地コネクタを与える事及び位置付
ける事が出来る。」二連の様にコネクタ板１２０上に延
びる接地コネクタ】６２の任意の部分を収容するのに信
号コネクタ保持板１２２中に開孔１２６が与えられる・
電力コネクタ］８］　（第１図に示され、第３図には示
されていない）は信号コネクタ１８０の構造と類似の構
造を有する。しかしながら、挿入体１３２と同じ様な絶
縁体の挿入体ははぶかれている。それは中心の接続板１
７２（第１図）がそもそも絶縁体であるからである。従
って電力コネクタ１８１のプローブは信号基体管１２８
の場合と同じ様に適切な寸法の基体管中に直接プレスば
めにされる。しかしながら、電力導線シールドがないの
で、減結合コンデンサ１８２（第１図）の接続が簡単に
なり、しかも接地シールドの破れ目によって電気的不連
続が発生する危険がない。又、コンデンサ１８２を電力
コネクタ１８１に接続する長い導線の必要がなくなり、
これに伴なってコンデンサ１８２を接続する事によって
導入される寄生インダクタンスが減少される。

以上間隔変換器に対する同軸コネクタ・インターフェイ
スを使用し、電気的不連続がほとんどない信号経路が実
現された高速度集積回路テスト取付は構造体が説明され
た。

構造体】Ｏの−１−述の説明では、信号コネクタ１８０
の２次元配列体、これ等の間に介在し、間隔変換器］−
２の」二方表面と接触する接地コネクタ１６２の２次元
配列体が与えられた。接地コネクタ］６２のすべてはコ
ネクタ板１．２０と接触するので、信号コネクタ１８０
の任意の一つの中の信号のための復帰電流は複数の接地
コネクタ１６２を通して流れる。この様にして、接地復
帰電流は信号コネクタ１８０のピン１３６のまわりに均
一に分布され、これによってインダクタンス及び遷遊放
射線の効果が減少される。接地復帰経路の対称性の利点
は第４図の実施例で示された如く、唯一の信号支持プロ
ーブ１３４が存在する本発明の実施例で与えられる。

ｆ４．単一の同軸コネクタ（第４図） 第４図を参照するに、３本のプローブ（各々はさらに記
号Ａ、Ｂ及びＣによって同定される）より成るコネクタ
１００は回路チップ支持台２０２と隣接し、その信号パ
ラメータが測定されている。

コネクタ２００を使用する場合には、コネクタ２００は
手で回路チップ支持台２０２と接触する様に移動される
。プローブ１３４と個々のピン１３６はチップ支持台２
０２の一組の端子パッド２゜４の夫々の一つに接してい
る。ピン１３６及びパッド２０４の個々の一つは記号Ａ
、Ｂ及びＣによって同定される。コネクタ２００はさら
に第３図、に前に示された素子、即ちケーブル１８３の
シールド１４６を保持するスリーブ１−５０、プローブ
】３４Ａを包囲する絶縁体の挿入体１３２並びに挿入体
１３２とケーブル１８３のシールド］４３との間のワッ
シャ１５５を含んでいる。ケーブル１８３の導線１４２
は２０６の個所ではんだによってプローブ１３４Ａと接
続している。

コネクタ２００はハウジング２０８から構成され、ハウ
ジング２０８の一端には冠部２１０が存在し、肩２］２
を形成している。ハウジング２０８は第３図の本体管１
２８に使用された導電性の金属で形成される。ハウジン
グ２０８内には３つの開孔２１４Ａ、２］４Ｂ及び２１
４Ｃが与えられ、冠部２　］、　Ｏからハウジング２０
８の反対側に延びている。さらに開孔２１６が開孔２１
４Ａと連絡し、開孔２１４Ａの軸に沿い、冠部２１０及
び冠部２１０の円筒拡張部２］−８を通って延びている
。プローブ１３４Ａはその絶縁体の挿入体１３２及びワ
ッシャ］５５と共に開孔２１４Ａ内にセットされ、プロ
ーブ１３４Ｂ及び１３４Ｃは夫々開孔２１４Ｂ及び２１
４Ｃ内にセットされる。

ケーブル１８３のコア１４４は延長部２１８内にセット
され、ケーブル１８３のシールド１４６は延長部２１８
内でコア］４４と分離し、延長部２］８の外部表面及び
スリーブ１−５０の内部表面間にクランプされている。

第３図及び第４図の実施例髪比較すると、第４図のプロ
ーブ１３４Ｂ及び１３４Ｃは第３図の接地コネクタ１６
２と同じく接地復帰電流経路を与えている。この様な接
地復帰経路の２本だけが第４図に示されているが、プロ
ーブ１３４．Ｂ、Ｃが存在する平面に垂直な平面に沿っ
て、ハウジング２０８と電気的に接触する様に追加のプ
ローブを取付けて、中心のプローブ１３４Ａに関して接
地復帰電流の軸対称に流れを与える事が出来る。これに
よって、コネクタ２００は第３図の信号コネクタ１２０
及び複数の接地コネクタ１６２の機能をこれ等をすべて
収納する単一のハウジング内で与える。単一のハウジン
グは容易に且手で回路チップ支持台２０２上に位置付け
る事が出来る。

ｆ５．同軸コネクタの一実施例（第５図）第５図には、
第４図のコネクタ２００の修正型であるコネクタ２００
Ａが示されている。コネクタ２００Ａの一側は該コネク
タの手による把持を容易にするためにハンドル２２０を
形成する様に延長されている。コネクタ２００Ａは導電
性の金属から形成され、ハウジング２０８Ａ内に取付け
られ、挿入体１３２によって絶縁され、ケーブル１８３
からの電気信号を流すためのプローブ］３４Ａを含む。

又コネクタ２００Ａにはハウジング２０８Ａと電気的に
接触し、ケーブル１８３中に流れる電流のための接地復
帰経路を与えるプローブ１３４Ｃを含んでいる。コネク
タ２０ＯＡは接地復帰経路の対称性を与えないが、コネ
クタ２００の場合よりも構造が簡単で、コネクタ２００
と同様に手で使用する事が出来る。

ｆ６．２つのコネクタを接続する実施例（第６図） 第６図は第４図のコネクタ２００の修正型であるコネク
タ２００Ｂを示している。第６図で、２つのコネクタ２
００Ｂはスリーブ２２２によって互に接続され、２つの
ケーブル１８３を結合している。コネクタ２００Ｂの各
々は一般に円筒形をなし、第４図に示された開孔２１４
Ａ及び２１６を含んでいる。開孔２１４Ａは絶縁体の挿
入体１３２、プローブ１３４Ａ及びワッシャ１５５を収
納し、他方開孔２１６は第４図に示された如くケーブル
１８３のコア１４４を含んでいる。各ハウジング２０８
Ｂの外側の表面には肩２２４が形成され、肩２２４はコ
ネクタ２００Ｂをスリーブ２２２の対向する端に挿入す
る時にスリーブ２２２の端と接する。コネクタ２００Ｂ
はプローブ１３４Ａの対向するピン１３６八対向するピ
ン１３６Ａと接触するに十分な距離だけ挿入される。ハ
ウジング２０８Ｂ及びスリーブ２２２は金属で形成され
、夫々のケーブル１８３のシールド１４６間に電気的接
続を与えている。２つのピン１３６Ａの接触は夫々のケ
ーブル１８３の内部導線１４２の電気的接続を与える。

前の実施例の接地コネクタ１６２は第６図の実施例では
必要とされない。

それは適切で堅実な電気的接続がスリーブ２２２及びコ
ネクタ２００Ｂの各々の間の接触によって与えるからで
ある。第６図の実施例は２つの同軸ケーブルを簡単に相
互接続する場合に特に有用である。

３ｌ− Ｇ１発明の効果 本発明に従い、半導体マイクロ回路等の装置をテストす
るための、中心にばねで装填されたピン電極を有し、周
囲に周電極を有する同軸コネクタが与えられる。

【図面の簡単な説明】

第１図は集積マイクロ回路のテストするのに有用な間隔
変換器を含むインターフェイス装置の部分的側断面図で
ある。第２図は第１図のインターフェイス装置の間隔変
換器及び剛体のプローブの一部の詳細な側断面図である
。第３図は本発明に従い同軸ケーブルをインターフェイ
ス装置に接続する同軸コネクタの詳細な側断面図である
。第４図は集積回路チップ支持台のパッドと接続する本
発明の単一の同軸コネクタの側断面図である。第５図は
コネクタがプローブとして構成されている本発明に従う
同軸コネクタの実施例の側断面図である。第６図は２つ
のコネクタがスリーブによって互に結合された本発明の
実施例の側断面図である。 １ｏ・・・・テスト取付は構造体、１２・・・・間隔変
換器、１３・・・・支持台、１４・・・・プローブ相立
体、１５・・・・集積回路、１６・・・・キャップ、１
７・・・・フランジ、１８・・・・位置付はネス１へ、
２０・・・・側壁、２１・・・・フランジ、２２・・・
・支持フランジ、２３・・・・フランジ、２４・・・・
挿入体、２５・・・・ねじ、２８・・・・ねじ、３０・
・・・プレース、３２・・・・締付はナツト、３４・・
・・ねじ、３６・・・・中ぐりねじ、３８・・・・中ぐ
りねじ、１−２０・・・・正方形コネクタ板、１２２・
・・・信号コネクタ保持板、１６２・・・・接地コネク
タ、１７２・・・・中央コネクタ、１７２・・・・中央
コネクタ板、１８０・・・・信号コネクタ、１８１・・
・・電力コネクタ、１８２・・・・減結合□　コネクタ
。 出願人　　インターナショナル・ビジネス・マシーンズ
・コーポレーション 代理人　　弁理士　　山　　本　　仁　　朗（外１名） ２００Ａ 特開昭Ｇ１−７７２８６　（１２） 第５図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （ａ）延出し可能な、第１の端子として働く導電性の弾
   性ピンを有する導電性プローブと、 （ｂ）第２の端子として働く導電性の表面領域を有し、
   上記プローブを包囲するハウジングと、（ｃ）上記プロ
   ーブを上記第２の端子から絶縁する手段と、 （ｄ）上記ハウジング内にあつて、同軸伝送線の内部導
   線を上記第１の端子に指向させ、上記同軸伝送線の外部
   導線を上記第２の端子に指向させる装置とより成る同軸
   コネクタ装置。