JPS6278842A - プロ−ブカ−ドの検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は半導体ウェハの試験に用いられるプローブカ
ードの検査方法に関するものである。

（従来の技術） 従来、プローブカードの検査は専用のプローブカード検
査機によって行われていた。第２図は従来のプローブカ
ード検査機の原理を示す図である。

以下、第２図に従って従来のプローブカード検査を説明
する。

図示しないプローバから取りはずしたプローブカード１
をプローブカード検査機２のコネクタ３に接続する。次
に導電性ステージ４の高さを調整し、プローブカード１
の針１ａをステージ４の表面に接触させる。ステージ４
と接触した各針１ａに電流源５よシ一定電流工（蜀を通
電し、電圧計６によりステージ４とコネクタ３と電位差
Ｅ’（Ｖ）を測定する。これにより各針１ａの接触抵抗
Ｒ（２）を次式 ％式％ により求めている。

また、ステージ４の高さを調節して、接触抵抗Ｒが一定
値以下となる高さを求め、各針１ａの平衡度の検査を行
っていた。

（発明が解決しようとする問題点） しかし、上述したプローブカード検査機による方法によ
れば次のような欠点がある。

（１）各針の水平方向のずれは測定できない（２）　　
プローブカードがプローバに実際に接続された状態（実
使用状態）での検査ができない（３）　　プローブカー
ドをプローバから取りはずして検査を行なっているため
検査に手間と時間がかかる （問題点を解決するための手段） そこで本発明ではウェハー上にプローブカード検査用回
路を設けた。この検査用回路はプローブカードによって
試験される製品チップと同じ位置にパッドが設けてあシ
、このパッド間を配線により導通させている。

そして、プローバには試験機を接続して、検査用回路を
プロービングすることによりプローブカードを検査する
。

（作　用） 検査用回路は従来のプローブカード検査機の導電性ステ
ージの役目をする。

（実施例） 第１図は本発明の一実施例に用いられるプｏ　−ブカー
ド検査回路を示す図である。

ウェハー上に設けられたプローブカード検査回路１０に
は・ぐラド１１が複数個設けられている。

このパッド１１の位置はプローブカードによって試験さ
れる製品チップと同一の位置に設けられている。・やラ
ド１１は複数個存在するが、これらは配線１２によって
電気的に導通している。

次に本発明の一実施例の検査方法を説明する。

まず、プローバーに試験機を接続し、前述したプローブ
カード検査回路が設けられたウエハーを用意する。プロ
ーブカード検査回路をプロービングし、検査回路にプロ
ーブカードの針先が接融したら試験機によジプローブカ
ード検査回路の２個のパッド間に一定電流を通電する。

ここで２個のパッドにそれぞれ接触している２本のプロ
ーブカードの針量の電圧を測定することにより２本の針
の加算された接触抵抗を測定することができる。

同様に２本づつ繰り返し全数について測定し、プローブ
カードの針の垂直、水平方向のずれ、あるいは針先の摩
耗等によるプローブカードの異常を検査することができ
る。

（発明の効果） 以上説明したように本発明のプローブカードの検査方法
によれば、プローブカードをプローバに接続した実使用
状態で検査ができる。このため検査の能率が良く、測定
信頼度が向上するばかりでなく、今まで測定できなかっ
たプローブカードの針の水平方向のずれを測定できると
いう利点がある０

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例に用いられるプローブカード
検査回路を示す図、第２図は従来のプローブカードの原
理を示す図である。 １１・・・パッド、１２・・・配線。 ７°ローブカーＹ゛、七劾食回路 Ｌ　　　　　　　　　　　　　　　　　ＪＲＬ東の７°
ローブ刀−ドオ灸査才疏の原理ｌ第２図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 検査しようとするチップと同じ配置で設けられた複数の
   パッドを、電気的に導通させてなる試験回路をウエハー
   上に設け、 このウエハーを、試験機を接続したプローバにセットし
   、 前記検査回路にプローブカードの針先が接触したら前記
   試験機より２本の針の間に一定電流を通電し、 この２本の針の間の電圧を測定することによりプローブ
   カードの検査を行なうことを特徴とするプローブカード
   の検査方法。