JPS60125736U - プロ−ブ・カ−ド - Google Patents

プロ−ブ・カ−ド

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Publication number
JPS60125736U
JPS60125736U JP1292784U JP1292784U JPS60125736U JP S60125736 U JPS60125736 U JP S60125736U JP 1292784 U JP1292784 U JP 1292784U JP 1292784 U JP1292784 U JP 1292784U JP S60125736 U JPS60125736 U JP S60125736U
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JP
Japan
Prior art keywords
probe card
testing equipment
incorporates
utility
scope
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1292784U
Other languages
English (en)
Inventor
伊勢屋　金造
増井　捷宏
Original Assignee
シャープ株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by シャープ株式会社 filed Critical シャープ株式会社
Priority to JP1292784U priority Critical patent/JPS60125736U/ja
Publication of JPS60125736U publication Critical patent/JPS60125736U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、高周波プローパの構成を示す概念図である。 第２図は、本考案の実施例によるプローブ・カードの図
式的な区である。第３図は、本考案の実施例を用いたウ
ェハ・プローバの構成図である。　　　　　　　０ ４・・・ウェハ、５・・・パフォーマンス・ボード、１
１・・・プローブ・カード、１２．　１２．・・・プロ
ーブ、１４，１４．・・・インターフェイス回路、２１
・・・ウェハ・プローパ、２３・・・集積回路試験装置
。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 集積回路のウェハ・プローバのプローブφカードにおい
    て、集積回路試験装置とのインターフェイス回路を組み
    込んだことを特徴とするプローブ・カード。
JP1292784U 1984-01-31 1984-01-31 プロ−ブ・カ−ド Pending JPS60125736U (ja)

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JP1292784U JPS60125736U (ja) 1984-01-31 1984-01-31 プロ−ブ・カ−ド

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1292784U JPS60125736U (ja) 1984-01-31 1984-01-31 プロ−ブ・カ−ド

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JPS60125736U true JPS60125736U (ja) 1985-08-24

Family

ID=30496455

Family Applications (1)

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JP1292784U Pending JPS60125736U (ja) 1984-01-31 1984-01-31 プロ−ブ・カ−ド

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JP (1) JPS60125736U (ja)

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