JPS5887342U - Ｉｃテスタ−ノテストプロ−バ−構造 - Google Patents

Ｉｃテスタ−ノテストプロ−バ−構造

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JPS5887342U
JPS5887342U JP18243581U JP18243581U JPS5887342U JP S5887342 U JPS5887342 U JP S5887342U JP 18243581 U JP18243581 U JP 18243581U JP 18243581 U JP18243581 U JP 18243581U JP S5887342 U JPS5887342 U JP S5887342U
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JP
Japan
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test prober
tester test
tester
prober structure
test
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Pending
Application number
JP18243581U
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English (en)
Inventor
浩 吉川
Original Assignee
富士通株式会社
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来例のＩＣテスターにおけるテストプローバ
ーを示す図である。第２図は従来例のテストプローバー
の接続構成を説明するための図である。第３図は本考案
の実施例であるテストプローバーの端子間に遮蔽板を設
けた図である。第４図はＬＳＩウェハに接続する本考案
の端子構造を示す説明図である。図において、１１はテ
ストプローバー、１２はくり抜き孔、１３は接続端子、
６は金属板、５は試験テーブル、４はＬＳ　１ウエハを
示す。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ＩＣの回路パターンを試験するＩＣテスターにおいて、
    該ＩＣテスターのテストプローバ一端子間を金属板で接
    地遮蔽してなることを特徴とするＩＣテスターのテスト
    プローバー構造。
JP18243581U 1981-12-08 1981-12-08 Ｉｃテスタ−ノテストプロ−バ−構造 Pending JPS5887342U (ja)

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JP18243581U JPS5887342U (ja) 1981-12-08 1981-12-08 Ｉｃテスタ−ノテストプロ−バ−構造

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JP18243581U JPS5887342U (ja) 1981-12-08 1981-12-08 Ｉｃテスタ−ノテストプロ−バ−構造

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JPS5887342U true JPS5887342U (ja) 1983-06-14

Family

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JP18243581U Pending JPS5887342U (ja) 1981-12-08 1981-12-08 Ｉｃテスタ−ノテストプロ−バ−構造

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