JPS6336047U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6336047U JPS6336047U JP12995286U JP12995286U JPS6336047U JP S6336047 U JPS6336047 U JP S6336047U JP 12995286 U JP12995286 U JP 12995286U JP 12995286 U JP12995286 U JP 12995286U JP S6336047 U JPS6336047 U JP S6336047U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chip
- circuit board
- printed circuit
- stage
- integrated circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 4
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Description
第1図は本考案にかかる集積回路の製造装置の
一実施例の構成図、第2図は第1図の要部構成図
、第3図は集積回路の製造装置の従来例の構成図
である。 1……ステージ、2……ウエハ、3……プロー
ブカード、4……信号発生器、5……測定部、6
……CPU、10……基準値付与手段、11……
印刷回路基板、12……リフアレンス用Cチツプ
、13,14……導体パターン、131,141
……パツド変換パターン、15……パツド、P…
…プローブ針。
一実施例の構成図、第2図は第1図の要部構成図
、第3図は集積回路の製造装置の従来例の構成図
である。 1……ステージ、2……ウエハ、3……プロー
ブカード、4……信号発生器、5……測定部、6
……CPU、10……基準値付与手段、11……
印刷回路基板、12……リフアレンス用Cチツプ
、13,14……導体パターン、131,141
……パツド変換パターン、15……パツド、P…
…プローブ針。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ステージ上のウエハに含まれた各ICチツプの
電気的特性を測定し、測定結果に応じてICチツ
プの良否を判断する集積回路の製造装置において
、 セラミツクまたは金属で構成されていて、前記
ステージ上に配置された印刷回路基板と、 前記ICチツプの中で正常な電気的特性を有す
るものが用いられていて、前記印刷回路基板上に
搭載されたリフアレンス用ICチツプ、 を具備するとともに、 前記印刷回路基板には、前記リフアレンス用I
Cチツプのパツドにプローブ針を当てるときと同
一の針間隔でプローブ針を当てることができて、
しかもリフアレンス用ICチツプの各パツドと電
気的に接続された導体パターンが形成されている
ことを特徴とする集積回路の製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12995286U JPS6336047U (ja) | 1986-08-26 | 1986-08-26 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12995286U JPS6336047U (ja) | 1986-08-26 | 1986-08-26 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6336047U true JPS6336047U (ja) | 1988-03-08 |
Family
ID=31026992
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12995286U Pending JPS6336047U (ja) | 1986-08-26 | 1986-08-26 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6336047U (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03119723A (ja) * | 1989-10-02 | 1991-05-22 | Tokai Carbon Co Ltd | プラズマエッチング用電極板 |
JPH03146680A (ja) * | 1989-10-31 | 1991-06-21 | Ibiden Co Ltd | プラズマエッチング用電極板 |
-
1986
- 1986-08-26 JP JP12995286U patent/JPS6336047U/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03119723A (ja) * | 1989-10-02 | 1991-05-22 | Tokai Carbon Co Ltd | プラズマエッチング用電極板 |
JPH03146680A (ja) * | 1989-10-31 | 1991-06-21 | Ibiden Co Ltd | プラズマエッチング用電極板 |
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