JPS6176U - 半導体ic装置の試験装置 - Google Patents
半導体ic装置の試験装置Info
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- JPS6176U JPS6176U JP8360684U JP8360684U JPS6176U JP S6176 U JPS6176 U JP S6176U JP 8360684 U JP8360684 U JP 8360684U JP 8360684 U JP8360684 U JP 8360684U JP S6176 U JPS6176 U JP S6176U
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- JP
- Japan
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- wire
- semiconductor
- shield
- core
- shield wire
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は考案の第一の実施例を示す回路図。
第2図は考案の第二の実施例を示す回路図。
第3図は従来の試験装置を示す回路図。
第4図は出力ドライバ回路の出力を示す図。
1:被試験半導体IC装置、1a:出力ドライバ回路、
2:試験回路、3:シールド線、3a:心線、3b=シ
ールド、4:消費電流測定用の交流電流計、5. 5’
:シールド線容量流入電流吸収回路、5a,5’a :
バツファアンプ。
2:試験回路、3:シールド線、3a:心線、3b=シ
ールド、4:消費電流測定用の交流電流計、5. 5’
:シールド線容量流入電流吸収回路、5a,5’a :
バツファアンプ。
Claims (1)
- 被試験半導体IC装置の電源回路に設けた消費電流測定
用電流計と、電気的接続を行うための心線と該心線への
外部雑音信号の侵入を遮断するための前記心線の周囲に
設けられたシールドとからなるシールド線を介して前記
被試験半導体IC装置に接続されて各種試験を行う試験
回路とからなる半導体IC装置の試験装置において、高
入力インピーダンスのバツファアンプの入力側ヲ前記シ
ールド線の心線に、出力側を前記シールド線のシールド
に接続してなるシールド線容量流入電流吸収回路を設け
たことを特徴とする半導体IC装置の試験装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8360684U JPS6176U (ja) | 1984-06-07 | 1984-06-07 | 半導体ic装置の試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8360684U JPS6176U (ja) | 1984-06-07 | 1984-06-07 | 半導体ic装置の試験装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6176U true JPS6176U (ja) | 1986-01-06 |
Family
ID=30632388
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8360684U Pending JPS6176U (ja) | 1984-06-07 | 1984-06-07 | 半導体ic装置の試験装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6176U (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS557638A (en) * | 1978-06-30 | 1980-01-19 | Mitsubishi Electric Corp | Measuring method for semiconductor integrated circuit |
JPS5739358A (en) * | 1980-08-21 | 1982-03-04 | Toshiba Corp | Electric current measuring device |
-
1984
- 1984-06-07 JP JP8360684U patent/JPS6176U/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS557638A (en) * | 1978-06-30 | 1980-01-19 | Mitsubishi Electric Corp | Measuring method for semiconductor integrated circuit |
JPS5739358A (en) * | 1980-08-21 | 1982-03-04 | Toshiba Corp | Electric current measuring device |
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