JPS5999441U - 半導体集積回路装置 - Google Patents

半導体集積回路装置

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JPS5999441U
JPS5999441U JP19502682U JP19502682U JPS5999441U JP S5999441 U JPS5999441 U JP S5999441U JP 19502682 U JP19502682 U JP 19502682U JP 19502682 U JP19502682 U JP 19502682U JP S5999441 U JPS5999441 U JP S5999441U
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JP
Japan
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integrated circuit
semiconductor integrated
circuit device
bats
wiring layer
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Pending
Application number
JP19502682U
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English (en)
Inventor
原川 孝夫
Original Assignee
株式会社日立製作所
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は従来技術によるポンディングパッドの配置図、
第2図は本考案の一実施例のポンディングパッドの配置
図である。 1・・・ICチップ、2・・・最上部配線層、3・・・
ポンディングパッド専用配線層。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ポンディングパッド専用の配線層を用意L’、 −y−
    ツブの入出力用ホンディングバット以外に、内部信号を
    観測するためのバットを該専用配線層上に多数配置し、
    配置されたパッドの位置に、直接かつ同時に電気的接触
    が可能なプローブ装置を使用することにまり、チップの
    機能検査や不良解析を容易ならしめることを特徴とした
    半導体集積回路装置。
JP19502682U 1982-12-24 1982-12-24 半導体集積回路装置 Pending JPS5999441U (ja)

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