JPH0430734U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0430734U JPH0430734U JP7347690U JP7347690U JPH0430734U JP H0430734 U JPH0430734 U JP H0430734U JP 7347690 U JP7347690 U JP 7347690U JP 7347690 U JP7347690 U JP 7347690U JP H0430734 U JPH0430734 U JP H0430734U
- Authority
- JP
- Japan
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- indicates
- marker
- measured
- receiving element
- semiconductor wafer
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000003550 marker Substances 0.000 claims description 4
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims description 2
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図および第２図はこの考案の一実施例であ
る半導体ウエーハ検査用マーカーの斜視図、第３
図および第４図は従来の検査用マーカーの斜視図
である。 図において１は被測定チツプ、２は受光素子、
３は電気試験用検針当接部、４は電気試験用検針
、５は光源、６は不良マーク、８はインクマーカ
ーを示す。なお、図中、同一符号は同一、又は相
当部分を示す。
る半導体ウエーハ検査用マーカーの斜視図、第３
図および第４図は従来の検査用マーカーの斜視図
である。 図において１は被測定チツプ、２は受光素子、
３は電気試験用検針当接部、４は電気試験用検針
、５は光源、６は不良マーク、８はインクマーカ
ーを示す。なお、図中、同一符号は同一、又は相
当部分を示す。
Claims (1)
- 良品、不良品判定の為に受光素子を被測定半導
体チツプ上に備えた事を特徴とする半導体ウエー
ハ検査用マーカー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7347690U JPH0430734U (ja) | 1990-07-09 | 1990-07-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7347690U JPH0430734U (ja) | 1990-07-09 | 1990-07-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0430734U true JPH0430734U (ja) | 1992-03-12 |
Family
ID=31612324
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7347690U Pending JPH0430734U (ja) | 1990-07-09 | 1990-07-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0430734U (ja) |
-
1990
- 1990-07-09 JP JP7347690U patent/JPH0430734U/ja active Pending