JPS5924770U - 真空装置用冷却パツド - Google Patents
真空装置用冷却パツドInfo
- Publication number
- JPS5924770U JPS5924770U JP11778782U JP11778782U JPS5924770U JP S5924770 U JPS5924770 U JP S5924770U JP 11778782 U JP11778782 U JP 11778782U JP 11778782 U JP11778782 U JP 11778782U JP S5924770 U JPS5924770 U JP S5924770U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cooling pad
- vacuum equipment
- cooling
- pad
- vacuum
- Prior art date
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- Granted
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- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の実施例の截断平面図、第２図はその要
部の拡大断面図である。 １・・・真空室、２・・・冷却体、３・・・処理物、４
・・・冷却パッド、５・・・テフロン膜、６・・・シリ
コン弾性体。
部の拡大断面図である。 １・・・真空室、２・・・冷却体、３・・・処理物、４
・・・冷却パッド、５・・・テフロン膜、６・・・シリ
コン弾性体。
Claims (1)
- 真空室１内の冷却体２とウェハその他の処理物３とを冷
却パッド４を介して互に密接させて冷却する式のものに
於て、該冷却パッド４を、表面をテフロン膜５で覆った
シリコン弾性体６て構成して成る真空装置用冷却パッド
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11778782U JPS5924770U (ja) | 1982-08-04 | 1982-08-04 | 真空装置用冷却パツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11778782U JPS5924770U (ja) | 1982-08-04 | 1982-08-04 | 真空装置用冷却パツド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5924770U true JPS5924770U (ja) | 1984-02-16 |
| JPS626138Y2 JPS626138Y2 (ja) | 1987-02-12 |
Family
ID=30271005
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11778782U Granted JPS5924770U (ja) | 1982-08-04 | 1982-08-04 | 真空装置用冷却パツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5924770U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01130461U (ja) * | 1988-02-19 | 1989-09-05 |
-
1982
- 1982-08-04 JP JP11778782U patent/JPS5924770U/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01130461U (ja) * | 1988-02-19 | 1989-09-05 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS626138Y2 (ja) | 1987-02-12 |
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