JPS6179681U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6179681U JPS6179681U JP16335384U JP16335384U JPS6179681U JP S6179681 U JPS6179681 U JP S6179681U JP 16335384 U JP16335384 U JP 16335384U JP 16335384 U JP16335384 U JP 16335384U JP S6179681 U JPS6179681 U JP S6179681U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- transfer arm
- coating device
- wafer carrier
- coating
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 5
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Description
第１図は本考案による裏面塗布装置の搬送系の
平面図、第２図は同正面図、第３図は従来の裏面
塗布装置の搬送系の平面図、第４図は同正面図で
ある。 １……ウエーハキヤリア、２……サヤリアステ
ージ、３……ウエーハ、４……Ｉ／Ｆベルト、５
……センタリングストツパー、６……搬送アャム
、７……スピンチヤツク、８……吸着搬送機構。
平面図、第２図は同正面図、第３図は従来の裏面
塗布装置の搬送系の平面図、第４図は同正面図で
ある。 １……ウエーハキヤリア、２……サヤリアステ
ージ、３……ウエーハ、４……Ｉ／Ｆベルト、５
……センタリングストツパー、６……搬送アャム
、７……スピンチヤツク、８……吸着搬送機構。
Claims (1)
- ウエーハキヤリアよりウエーハを取り出し、こ
れを搬送アームに移し替え、該搬送アームにてウ
エーハを塗布用スピンチヤツクにセツトする塗布
装置において、ウエーハキヤリア内のウエーハを
検知し該ウエーハの表面を真空吸着する吸着搬送
機構をウエーハキヤリアと搬送アームとの間に往
復動可能に設置したことを特徴とする塗布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16335384U JPS6179681U (ja) | 1984-10-29 | 1984-10-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16335384U JPS6179681U (ja) | 1984-10-29 | 1984-10-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6179681U true JPS6179681U (ja) | 1986-05-27 |
Family
ID=30721213
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16335384U Pending JPS6179681U (ja) | 1984-10-29 | 1984-10-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6179681U (ja) |
-
1984
- 1984-10-29 JP JP16335384U patent/JPS6179681U/ja active Pending
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