JPS62172150U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62172150U JPS62172150U JP4916486U JP4916486U JPS62172150U JP S62172150 U JPS62172150 U JP S62172150U JP 4916486 U JP4916486 U JP 4916486U JP 4916486 U JP4916486 U JP 4916486U JP S62172150 U JPS62172150 U JP S62172150U
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- JP
- Japan
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- plate
- temperature adjustment
- adjustment plate
- onto
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- Prior art date
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- Pending
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- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Drying Of Solid Materials (AREA)
Description
第１図は、本考案の一実施例を示す側面図であ
り、第２図は、同平面図であり、第３図は、従来
例を示す側面図である。 １１……第一加熱プレート、１２……第二加熱
プレート、１３……第一冷却プレート、１４……
第二冷却プレート、１５……ワイヤーコンベア、
１６……溝、１７……滑車、１８……フレーム、
１９……上下カム、２０……台、２１，２２……
処理装置、２３……配水管、３１……被搬送物。
り、第２図は、同平面図であり、第３図は、従来
例を示す側面図である。 １１……第一加熱プレート、１２……第二加熱
プレート、１３……第一冷却プレート、１４……
第二冷却プレート、１５……ワイヤーコンベア、
１６……溝、１７……滑車、１８……フレーム、
１９……上下カム、２０……台、２１，２２……
処理装置、２３……配水管、３１……被搬送物。
Claims (1)
- 被搬送物を順次温度調節用プレート上に移し替
えることで搬送する搬送装置において、該温度調
節用プレートとして加熱プレートの他の冷却プレ
ートも備えている事を特徴とする搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4916486U JPS62172150U (ja) | 1986-04-02 | 1986-04-02 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4916486U JPS62172150U (ja) | 1986-04-02 | 1986-04-02 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62172150U true JPS62172150U (ja) | 1987-10-31 |
Family
ID=30871360
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4916486U Pending JPS62172150U (ja) | 1986-04-02 | 1986-04-02 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62172150U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011077960A1 (ja) * | 2009-12-25 | 2011-06-30 | シャープ株式会社 | 支持装置およびこの支持装置を備える乾燥装置 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5875154A (ja) * | 1981-10-29 | 1983-05-06 | Toppan Printing Co Ltd | 加熱装置 |
| JPS58176936A (ja) * | 1982-04-09 | 1983-10-17 | Fujitsu Ltd | 基板冷却方法 |
| JPS5961027A (ja) * | 1982-09-29 | 1984-04-07 | Toshiba Corp | 半導体基板加熱装置 |
| JPS6053774A (ja) * | 1983-09-02 | 1985-03-27 | 株式会社日立製作所 | 基板ベ−ク装置 |
| JPS6245113A (ja) * | 1985-08-23 | 1987-02-27 | Hitachi Ltd | 半導体装置製造装置 |
| JPS62132319A (ja) * | 1985-12-04 | 1987-06-15 | Mitsubishi Electric Corp | ウエハ熱処理装置 |
| JPS62132328A (ja) * | 1985-12-04 | 1987-06-15 | Mitsubishi Electric Corp | ウエハ搬送装置 |
-
1986
- 1986-04-02 JP JP4916486U patent/JPS62172150U/ja active Pending
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5875154A (ja) * | 1981-10-29 | 1983-05-06 | Toppan Printing Co Ltd | 加熱装置 |
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| JPS5961027A (ja) * | 1982-09-29 | 1984-04-07 | Toshiba Corp | 半導体基板加熱装置 |
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| JPS62132319A (ja) * | 1985-12-04 | 1987-06-15 | Mitsubishi Electric Corp | ウエハ熱処理装置 |
| JPS62132328A (ja) * | 1985-12-04 | 1987-06-15 | Mitsubishi Electric Corp | ウエハ搬送装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011077960A1 (ja) * | 2009-12-25 | 2011-06-30 | シャープ株式会社 | 支持装置およびこの支持装置を備える乾燥装置 |