JP2932896B2 - 荷保管設備 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、たとえば半導体（ウエ
ハ）を入れた容器を荷として取り扱う荷保管設備に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の設備としては、たとえば
実開昭61−92613 号公報に見られる荷保管装置が提供さ
れている。この従来構成は、複数の区画収納空間を有す
る棚と、搬入出装置とを有し、この搬入出装置は、昇降
台に水平横方向に出退自在な荷保持具を有し、また区画
収納空間は、荷受け台により荷を傾斜して支持すべく構
成している。そして取り扱われる荷は、半導体などを多
数枚並列して収納したケースによって形成され、このケ
ースの上部には、前記荷保持具が係合自在な被係止部が
設けられている。

【０００３】この従来構成によると、荷保持具を区画収
納空間に対向させた状態で、昇降台の昇降動と荷保持具
の水平横方向への出退動との組み合わせ動作を行うこと
で、被係止部に荷保持具を係脱させて、区画収納空間に
対して荷の出し入れを行える。そして荷保持具に傾斜し
た係止部材を設けることで、昇降台内ではケースを傾斜
させて支持するとともに、棚の受け台に対する受け渡し
はケースを傾斜させて行っている。

【０００４】また別の従来例としては、棚側に傾斜用置
き台を設け、そして荷に対して下方から作用するフォー
ク体の上面に傾斜用受け具を設け、以て受け渡しや保管
の全てを、ケースを傾斜させて行うことが考えられてい
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記した従来の受け台
や傾斜用置き台を設けた構成によると、各区画収納空間
の上部に形成されるフォーク体昇降用のスペースは、受
け台や傾斜用受け具の高さ分を含めなければならないこ
とから、高く必要となり、したがって棚の大型化を招
き、換言すれば規模に対して収納効率が悪いものにな
る。また搬入出装置は、フォーク体の出退ストロークに
対応した幅が必要となり、以て設備全体の大型化を招く
ことになる。

【０００６】本発明の目的とするところは、棚の収納効
率を向上し得るとともに、搬入出装置を含めた全体をコ
ンパクト化し得る荷保管設備を提供する点にある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成すべく本
発明の荷保管設備は、棚と出し入れ装置とからなり、前
記棚は、荷を奥行方向で傾斜して収納自在な収納部を有
し、前記出し入れ装置は、昇降体と、この昇降体上に垂
直状軸心の周りで回動自在に設けた回転テーブルと、こ
の回転テーブル上に設けた出し入れ具とにより構成し、
この出し入れ具は、前記収納部の傾斜方向に対して直交
状方向の傾斜軸心の周りで回動すべく基端をして回転テ
ーブルに配設した中折れ腕装置と、この中折れ腕装置の
遊端に相対回動自在に連結した荷支持部とからなり、こ
の荷支持部を、前記収納部の傾斜方向に沿って直線状に
出し入れ動すべく構成している。

【０００８】

【０００９】

【作用】上記した本発明の構成によると、棚において荷
は、所定の傾斜姿勢で収納部に収納し得る。また出し入
れ装置は、出庫作業を行うに際して出し入れ具を退入動
させている。この状態で、出し入れ装置の動作により出
し入れ具を目的とする収納部に対向させ得る。その際
に、必要に応じて回転テーブルを垂直状軸心の周りに18
0 度回転させることで、荷支持部の遊端を、左右いず
れかの棚でかつ目的とする収納部に対向させ得る。この
とき傾斜軸心は、目的とする収納部の傾斜方向に対して
直交状方向に位置し得る。次いで出し入れ具を突出動さ
せることで、荷の下方に位置させ得る。その際に突出動
は傾斜方向に沿って直線状に行われ、これにより出し入
れ具を、傾斜支持されている荷の下方でかつ傾斜底面に
沿って位置させ得る。

【００１０】この状態で出し入れ具を、傾斜姿勢のまま
少し上昇させて荷の傾斜底面に下方から当接させ、以て
荷を動揺させることなく持ち上げ得る。そして出し入れ
具の退入動により、荷を、傾斜姿勢を維持したまま出し
入れ装置内に位置させ得る。これにより一連の出庫作業
を終える。なお前述とは逆の作用を行うことで、出し入
れ装置は荷を目的とする収納部に傾斜姿勢で入庫し得
る。

【００１１】また、出庫作業を行うに際して出し入れ装
置では、その中折れ腕装置の中折れ動により荷支持部を
出し入れ装置内に完全に納め得る。そして出し入れ具を
目的とする収納部に対向させるのであるが、その際に、
必要に応じて回転テーブルを垂直状軸心の周りに180
度回転させることで、荷支持部の遊端を、左右いずれか
の棚でかつ目的とする収納部に対向させ得る。

【００１２】次いで中折れ腕装置の延び動により、荷支
持部を傾斜方向に沿って直線状に突出動させ得、傾斜支
持されている荷の下方でかつ傾斜底面に沿って位置させ
得る。そして荷支持部により荷を持ち上げたのち、中折
れ腕装置を中折れ動させることで、荷支持部を傾斜方向
に沿って直線状に退入動させて荷を出し入れ装置内に位
置させ得る。

【００１３】

【実施例】以下に本発明の一実施例を図に基づいて説明
する。１は棚で、支柱などからなる枠組み本体２内に、
上下方向ならびに横方向に複数の収納部３を形成してい
る。各収納部３は、上下方向ならびに横方向で所定間隔
置きに設けられかつ横方向の一対が一組となる受け部材
４により区画形成されている。さらに各収納部３は、荷
を奥行方向５で傾斜して収納すべく、棚１の前面側が下
位になるように受け部材４を傾斜させることで構成して
いる。各収納部３に収納自在な荷は、たとえば半導体
（ウエハ）を入れた容器６であり、そしてウエハが内部
で動かないように傾斜状で取り扱われる。

【００１４】前記棚１は通路８を置いて一対が並設さ
れ、そして各棚１の端部外方に荷捌き装置９を配設する
とともに、通路８内に出し入れ装置10を配設している。
この出し入れ装置10は、通路８内で走行自在な機体11
と、この機体11から立設したポスト12と、このポスト12
に支持案内される昇降体13と、この昇降体13に設けた出
し入れ具20とからなる。

【００１５】前記昇降体13は、縦部材13Ａと横部材13Ｂ
とにより側面視でＬ型に形成され、この横部材13Ｂの上
部に、軸受け14を介して垂直状軸心15の周りで回動自在
な回転テーブル16を設けるとともに、この回転テーブル
16に連動するテーブル駆動装置17を横部材13Ｂ内に設け
ている。そして回転テーブル16上に、前記収納部３の傾
斜方向に対して直交状方向の傾斜軸心18の周りで回動自
在な前記出し入れ具20を設けている。

【００１６】この出し入れ具20は、その基端をして回転
テーブル16に取り付けた中折れ腕装置21と、この中折れ
腕装置21の遊端に連結した荷支持部22とにより構成され
る。すなわち前記回転テーブル16の上面は、傾斜軸心18
に対して直交状の傾斜上面に形成され、この傾斜上面
に、傾斜軸心18を中心とする筒状体23が固定されてい
る。そして回転テーブル16の裏面側に腕駆動装置24を固
定するとともに、この腕駆動装置24からの出力軸25を、
前記傾斜軸心18上に位置させて筒状体23内を挿通させて
いる。

【００１７】前記中折れ腕装置21は、前記筒状体23に軸
受け26を介して基端が外嵌しかつ回転テーブル16側から
の出力軸25に連結部材27を介して連動する第１リンク体
28と、この第１リンク体28の遊端に、中間軸29や軸受け
30を介してその基端を相対回動自在に連結した第２リン
ク体31と、この第２リンク体31の遊端に、作動軸32や軸
受け33を介してその基端を相対回動自在に連結したプレ
ート状の前記荷支持部22とから構成される。

【００１８】そして両リンク体28，31をケース状とし
て、その内部に伝動機構35を介在させている。すなわち
伝動機構35は、前記筒状体23に固定した第１歯輪36と、
前記中間軸29の下部に固定した第２歯輪37と、第１歯輪
36と第２歯輪37とを連動する第１チェーン38と、前記中
間軸29の上部に固定した第３歯輪39と、前記作動軸32に
固定した第４歯輪40と、第３歯輪39と第４歯輪40とを連
動する第２チェーン41とにより構成される。

【００１９】次に上記実施例において容器６の出し入れ
作業を説明する。棚１においては、容器６は収納部３に
収納されており、このとき受け部材４の傾斜配置によ
り、図１に示すように容器６は所定の傾斜姿勢となって
いる。出庫作業を行うに際して出し入れ装置10では、図
２の実線で示すように、腕駆動装置24の作動による出力
軸25の一方への回動により、第１リンク体28を回転テー
ブル16上の一方側に納めるとともに、第２リンク体31を
回転テーブル16上の一方端側に納めており、以て荷支持
部22を回転テーブル16上に完全に納めている。

【００２０】この状態で、機体11の走行動と昇降体13の
昇降動との組み合わせ動作により、図２の実線ならびに
図３に示すように出し入れ具20を目的とする収納部３に
対向させる。その際に、必要に応じて回転テーブル16
を、テーブル駆動装置17の作動によって垂直状軸心15の
周りに180 度回転させ、荷支持部22の遊端を、いずれか
の棚１でかつ目的とする収納部３に対向させる。このと
き傾斜軸心18は、目的とする収納部３の傾斜方向に対し
て直交状方向に位置される。

【００２１】次いで腕駆動装置24の逆作動によって出力
軸25を他方へ回動させ、第１リンク体28を傾斜軸心18の
周りで回転テーブル14上の他方側に回動させると、第１
歯輪36と第２歯輪37と第１チェーン38とを介して前記中
間軸29が出力軸25とは反対側へ回動されることになり、
これにより第２リンク体31の遊端側を回転テーブル16に
対して他方外側に振り出すことになる。

【００２２】そして中間軸29の回動により、第３歯輪39
と第４歯輪40と第２チェーン41とを介して前記作動軸32
が出力軸25と同じ側へ回動されることになり、これによ
り回転テーブル16上に納まっていた荷支持部22を横方向
に直線動させて回転テーブル16の側方へ突出動させる。
その際に突出動は、傾斜方向に沿った方向に行われ、こ
れにより荷支持部22は、図１の実線に示すように、傾斜
支持されている容器６の下方でかつ傾斜底面に沿って位
置する。

【００２３】この状態で昇降体13を少し上昇させ、荷支
持部22を傾斜姿勢のまま両受け部材４間で上昇させて容
器６の傾斜底面に下方から当接させ、以て荷支持部22に
より容器６を動揺させることなく持ち上げる。そして出
力軸25の一方への回動により前述したように荷支持部22
を回転テーブル16上に完全に納め得、以て容器６を、傾
斜姿勢を維持したまま回転テーブル16上に位置させる。

【００２４】その後、出し入れ装置10の走行動や出し入
れ具20の渡し動作などを行うことで、容器６を荷捌き装
置９に渡せ得、以て一連の出庫作業を終える。なお前述
とは逆の作用を行うことで出し入れ装置10は、荷捌き装
置９から受け取った容器６を目的とする収納部３に入庫
し得る。また反対側の棚１に対しても同様にして、図１
の仮想線に示すように荷支持部22を、傾斜支持されてい
る容器６の下方でかつ傾斜底面に沿って位置させ得る。

【００２５】

【００２６】

【発明の効果】上記構成の本発明によると、収納部に対
する出し入れ具の出し入れ動を傾斜方向に沿って直線状
に行うことから、収納部に傾斜して支持されている荷の
上下間に形成される出し入れ具用の作用スペースを小さ
くすることができて、棚のコンパクト化、すなわち収納
効率を向上できる。そして、棚内や荷出し入れ装置内の
いずれにおいても、荷を所定の傾斜姿勢にできるととも
に、出し入れ具による入出庫は、荷を所定の傾斜姿勢で
かつ動揺させることなく行うことができる。

【００２７】また、中折れ腕装置の存在によって、昇降
体に納めた出し入れ具の全長を短くでき、これにより出
し入れ装置の幅を小さくできて、設備全体をコンパクト
化できる。さらに回転テーブルを垂直状軸心の周りに回
転させることで、荷支持部の遊端を、左右いずれかの棚
でかつ目的とする収納部に対向でき、両棚に対して入出
庫を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示し、荷保管設備の要部の
正面図である。

【図２】同荷保管設備の要部の平面図である。

【図３】同荷保管設備の概略平面図である。

【符号の説明】

１ 棚 ２ 枠組み本体 ３ 収納部 ４ 受け部材 ５ 奥行方向 ６ 容器（荷） 10 出し入れ装置 12 ポスト 13 昇降体 15 垂直状軸心 16 回転テーブル 17 テーブル駆動装置 18 傾斜軸心 20 出し入れ具 21 中折れ腕装置 22 荷支持部 24 腕駆動装置 28 第１リンク体 31 第２リンク体

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 棚と出し入れ装置とからなり、前記棚
   は、荷を奥行方向で傾斜して収納自在な収納部を有し、
   前記出し入れ装置は、昇降体と、この昇降体上に垂直状
   軸心の周りで回動自在に設けた回転テーブルと、この回
   転テーブル上に設けた出し入れ具とにより構成し、この
   出し入れ具は、前記収納部の傾斜方向に対して直交状方
   向の傾斜軸心の周りで回動すべく基端をして回転テーブ
   ルに配設した中折れ腕装置と、この中折れ腕装置の遊端
   に相対回動自在に連結した荷支持部とからなり、この荷
   支持部を、前記収納部の傾斜方向に沿って直線状に出し
   入れ動すべく構成したことを特徴とする荷保管設備。