JPH036580Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は、たとえば半導体のような塵埃を極端
にきらう製品の搬送や保管に採用されるクリーン
ルーム内の荷取扱い設備に関するものである。

従来の技術 従来、この種の設備としては、たとえば実開昭
61−92613号公報で見られるように、箱状の本体
で囲まれた荷保管装置をクリーンルーム内に設置
し、そしてレール装置と、このレール装置に案内
される自走台車とにより構成した荷搬送装置の搬
送経路終端を本体に設けられた開口部にのぞませ
て構成している。上記荷保管装置は棚と搬入出装
置とを有し、この搬入出装置の作動によつて、棚
の目的とする区画収納空間と自走台車との間で上
記開口部を介して荷の受け渡しを行なつている。
なお、荷保管装置内においては荷の搬送が頻繁に
行なわれるため、塵埃が発生し易く、この塵埃を
除去するために、クリーンルーム内と同様に荷保
管装置内においてもクリーンエアを下吹きしなが
ら床下に吸引している。

考案が解決しようとする問題点 ところで、塵埃を極端にきらう製品であつたと
しても、その製造工程の途中過程においては、さ
ほどクリーン度が要求されないこともある。上記
のような従来形式によると、クリーンルーム内と
荷保管装置内とが同一のクリーン条件であること
から、製造工程に応じたクリーン度の調整を行な
える。しかし、クリーン度の異なる複数のクリー
ンルームに対して、それぞれ別個に荷保管装置を
設置しなければならないことから、設備費が不利
となる。また、異なるクリーンルームを区画する
仕切壁には荷の受け渡し用の開口部を設けなけれ
ばならないが、クリーン度の高いクリーンルーム
内のエアー圧はクリーン度の低いクリーンルーム
内のエアー圧より高いため、上記開口部を介して
クリーン度の高いエアーがクリーン度の低いクリ
ーンルーム側へ流出してクリーン度の高いクリー
ンルームに設けられているクリーンユニツト稼動
費がかさむという問題点がある。また、この問題
点を解消する方法として上記開口部を閉鎖するた
めのオートドア形式を有する構成を採用すると、
このオートドア、ならびに制御装置が必要となる
ので、これらの設備費および設置空間が別途必要
となる。

本考案の目的とするところは、１台の荷保管装
置を２つのクリーンルームに共有化でき、しか
も、荷の受け渡し作業時以外には両クリーンルー
ム間の開口部からクリーン度の高いエアーーを流
出させることなく、両クリーンルーム間の荷の移
動が支障なく行なえるクリーンルーム内の荷取扱
い設備を提供する点にある。

問題点を解決するための手段 上記問題点を解決すべく本考案におけるクリー
ンルーム内の荷取扱い設備は、クリーン度の異な
る２つのクリーンルーム間の開口部箇所で荷の受
け渡しを行う移載装置を、縦軸心回りに回転自在
な回転本体と、この回転本体から外方へ連設した
荷受け渡し用の支持腕と、この支持腕に対して直
交するように回転本体から両側方へ延びる開口部
閉鎖用の扉体とにより構成している。

作 用 かかる本考案構成により、両クリーンルーム間
で荷の受け渡しが行える。この場合に、開口部に
設けられた移載装置は回転本体に連設された支持
腕を回転させることにより荷の移載（受け渡し）
を行うこととなるが、開口部閉鎖用の扉体は支持
腕に対して直交するように回転本体から両側方へ
延ばされているので、荷の受け渡しには何ら支障
がない。しかも、荷を移載するために回転本体を
回転させる時以外には上記扉体が開口部を閉鎖す
るように回転本体を位置させることにより、開口
部を介してクリーン度の高いエアーーがクリーン
度の低いクリーンルーム側へ流出することが防止
されることになる。

実施例 以下に本考案の一実施例を図面に基づいて説明
する。

１はクリーン度の高い（たとえばクラス10）高
クリーンルーム、２はクリーン度の低い（たとえ
ばクラス100）低クリーンルームで、これらクリ
ーンルーム１，２は縦方向の仕切壁３によつて区
画されている。そして両クリーンルーム１，２
は、天井側からフイルター４，５を通してクリー
ンエアー６，７を下吹きし、下降するクリーンエ
アー６，７をメツシユ形式の床８，９を通して床
下に吸引するように構成してある。１０は仕切壁
を貫通して高クリーンルーム１側に寄つた位置に
配設した荷保管装置で、両クリーンルーム１，２
に跨り、一部が低クリーンルーム２内に突出して
いる。そして、略矩形箱状で密閉式の本体１１内
には、上下および奥行きの方向に複数の収納空間
を区画形成した棚12と、この棚12に対向する搬入
出装置３０とが配設され、両クリーンルーム１，
２と同様に天井側に設けられたフイルター１３と
メツシユ形式の床１４によりクリーンエアー１５
を下吹き、床下吸収して上記本体１１内を高いク
リーン度に保つている。また、上記棚１２の一側
面となつた本体１１の側面下部には入口１６およ
び出口１７が形成され、高クリーンルーム１内に
臨んでいる一方、本体１１の低クリーンルーム２
内に突出した箇所の上端部には低クリーンルーム
２内に開口する開口部１８が形成され、この開口
部１８内に移載装置４０が配設される。そして、
低クリーンルーム２内に、上記開口部１８ないし
移載装置４０に対向したステーシヨン５１ａを有
し、かつ一定の搬送経路５１ｂを形成した荷搬送
装置５０が配設される。

各装置３０，４０，５０等の構成を以下に述べ
ると、上記搬入出装置３０は、棚１２と移載装置
４０との間で荷１９の受け渡しを行なうように構
成してある。すなわち搬入出装置３０は、リフト
機構３１により上下される昇降台３２と、この昇
降台３２上に本体１１の左右（奥行き）方向に移
動自在に設けた第１可動体３３と、この第１可動
体３３上に前後移動自在に設けた第２可動体３４
と、この第２可動体３５から前方に突出し、かつ
左右方向で互いに接近離間自在な左右一対の支持
腕３６とから形成される。なお、上記リフト機構
３１の下部には塵埃吸収用のポンプ３７が配設さ
れている。前記荷１９はケース形状であつて、上
部の外面には全周に亘つて被係止突条１９ａが設
けてあり、上記支持腕３６は被係止突条１９ａに
対して下方から係合自在となる。

上記荷搬送装置５０は、上記開放でＣの字形の
レール装置５２と、このレール装置５２に車輪５
３を介して支持案内される自走台車５４と、これ
らレール装置５２と自走台車５４とを囲み、かつ
上部にスリツト５５を有するダクト５６と、この
ダクト５６の下部に形成される吸引路５７から構
成し、自走台車５４の上面から立設した連結杆５
８を、上記スリツト５５を通して低クリーンルー
ム２に突出させるとともに、その突出端に荷受け
台５９を設けている。

上記移載装置４０は、この荷受け台５９と、上
記搬入出装置３０との間で荷１９の移載を行なう
もので、この移載装置４０は、縦軸心４１ａの回
りに回転自在な箱状の回転本体４１と、この回転
本体４１の180度変位した二面からそれぞれ外方
へ突出し、上下動自在でかつ左右方向で互いに接
近離間自在な左右一対の支持腕４２，４２と、こ
の支持腕４２に対して直交した位置で、この回転
本体４１の180度変位した二面からそれぞれ外方
へ突出する板状の扉体４３，４３とから構成され
ている。そして、この移載装置４０が設けられて
いる開口部１８の搬入出装置３０寄り位置には荷
支持台２０が設けられている。

次に上記実施例の作用を説明する。

先ず、荷搬送装置５０で搬送されてきた荷１９
の卸し作業を説明すると、荷受け台５９上に荷１
９を載置してなる自走台車５４は、レール装置５
２に案内されて一定の搬送経路５１ｂ上を走行
し、ステーシヨン５１ａにて停止される。このと
き、移載装置４０においては、上記ステーシヨン
５１ａ側の一組の支持腕４２は互いに離間動して
空の状態にある。この状態で支持腕４２を下降さ
せ、荷１９における被係止突条１９ａの外方下方
に位置させる。そして、支持腕４２によつて互い
の接近動と上昇動とを行なうことにより、被係止
突条１９ａに支持腕４２を下方から係合させて、
荷受け台５９から荷１９の持上げを行なう。次い
で回転本体４１を、縦軸心４１ａの周りに180度
回転させたのち支持腕４２を下降させることによ
つて、開口部１８の搬入出装置３０寄りの位置で
ある荷支持台２０上に荷１９を載置させる。そし
て支持腕４２を離間動させるとともに上昇動させ
ることにより、荷１９の卸し作業を終了する。な
お、上述とは逆作動させることによつて、荷支持
台２０上の荷１９を低クリーンルーム２の荷搬送
装置５０に渡せ得る。

上記荷支持台２０上の荷１９は、搬入出装置３
０によつて棚１２内に渡される。すなわち、昇降
台３２の昇降動と、第１可動体３３の左右方向の
移動と、第２可動体３４の前後動と、支持腕３６
の接近離間動との組合せ動作によつて可能とな
る。そして、棚１２内に移動する場合に、出口１
７が開口されている棚１２に載置することによ
り、高クリーンルーム１側に荷１９を渡せること
になる。また、上記動作を逆に行なうことによ
り、高クリーンルーム１側から入口１６を介して
搬入された荷１９や、荷保管装置１０内に保管さ
れた荷１９を昇降台３２上に渡すことができる。
なお、出入口１６，１７に面する棚１２内と高ク
リーンルーム１内との荷１９の受け渡しは、自走
式でかつフオーク形式の運搬車輛や人手作業など
によつて行なえる。

上述のような荷取扱い作業中においても高クリ
ーンルーム１内および荷保管装置１０内は高いク
リーン度に保たれる一方、低クリーンルーム２内
は低いクリーン度に保たれる。そのため、高クリ
ーンルーム１内および荷保管装置１０内のエアー
圧が低クリーンルーム２内のエアー圧より高くな
り、異なるクリーン度の空間が連通される開口部
１８において高いクリーン度のエアーが荷保管装
置１０より低クリーンルーム２側へ流出しようと
する。しかしながら、この開口部１８に配設され
た移載装置４０には開口部閉鎖用の扉体４３が設
けられているので、開口部１８は回転本体４１の
回転時以外は閉鎖され、これにより上記高いクリ
ーン度のエアーの流出は防止される。なお、上記
扉体４３は、支持腕４２と干渉することなく回転
本体４１に一体的に設けられているので、移載作
業に支障をきたすこともない。

また、上記移載装置の扉体を、第５図に示すよ
うな厚肉形状の部材で形成してもよく、この扉体
４３Ａによつても同様の作用効果が得られる。

考案の効果 上記構成の本考案により、両クリーンルーム間
で荷の受け渡しが行なえる。また、荷の受け渡し
のために回転本体を回転させる時以外には開口部
は扉体によつて閉鎖されているので、開口部を介
してクリーン度の高いエアーがクリーン度の低い
クリーンルーム側へ流出することが防止され、こ
れにより高いクリーン度に維持するための稼動費
が節約される。さらに、開口部を密閉する手段と
して、回転本体に扉体を荷受け渡し用の支持腕に
干渉しないように一体的に設けただけの簡単な構
造を用いたので、オートドアや制御装置などを設
ける必要がなく、その結果これらの設備費が節約
されるとともに設置空間も不必要となる。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の実施例を示し、第１図は斜視
図、第２図は縦断側面図、第３図は横断平面図、
第４図は縦断正面図、第５図はその他の実施例を
示す開口部近傍の横断平面図である。 １……高クリーンルーム、２……低クリーンル
ーム、３……仕切壁、１０……荷保管装置、１１
……本体、１２……棚、１６……入口、１７……
出口、１８……開口部、１９……荷、３０……搬
入出装置、４０……移載装置、４１……回転本
体、４１ａ……縦軸心、４２……支持腕、４３，
４３Ａ……扉体、５０……荷搬送装置。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. クリーン度の異なる２つのクリーンルーム間の
   開口部箇所で荷の受け渡しを行う移載装置を、縦
   軸心回りに回転自在な回転本体と、この回転本体
   から外方へ連設した荷受け渡し用の支持腕と、こ
   の支持腕に対して直交するように回転本体から両
   側方へ延びる開口部閉鎖用の扉体とにより構成し
   たことを特徴とするクリーンルーム内の荷取扱い
   設備。