JPS61295903A

JPS61295903A - クリ−ンル−ム間の搬送装置

Info

Publication number: JPS61295903A
Application number: JP13548485A
Authority: JP
Inventors: Kusuo Umehara; 梅原　楠生; Koji Yamamoto; 浩二山本
Original assignee: Daifuku Co Ltd
Current assignee: Daifuku Co Ltd
Priority date: 1985-06-20
Filing date: 1985-06-20
Publication date: 1986-12-26
Also published as: JPH031203B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野本発明は、例えば半導体のような塵埃を極端にきらう荷
（物品）をクリーンルーム間で搬送したり、作業者をク
リーンルーム間で搬送するのに採用されるクリーンルー
ム間の搬送装置に関するものである。

従来の技術横方向に並設形成されたクリーンルーム間での荷の搬送
は搬送用自走台車などを利用して行なえ、また作業者は
徒歩で移れる。しかし、クリーンルームが上下方向にお
いて複数階に亘って形成され、そしてこれらクリーンル
ーム間で荷の搬送や作業者の移動を行なうときにはエレ
ベータ形式の搬送装置が使用される。従来、エレベータ
形式の搬送装置においては、昇降路内の上部にクリーン
ユニットを設け、ダウンフローにより昇降路内の全てを
クリーン化していた。

発明が解決しようとする問題点上記のような従来形式によると、クリーンエヤは床側に
吸引することから、昇降路内の上部で発生した塵埃はと
どまり状になって昇降体や被搬送物（人、物品）に付着
し易く、また連通路を通つてクリーンルーム内に漏出し
易い。

問題点を解決するための手段上記問題点を解決すべく本発明におけるクリーンルーム
間の搬送装置は、複数階のクリーンルーム間に亘って密
閉された昇降路を形成すると共に、この昇降路の上部に
クリーンユニットを設け、前記昇降路内に、昇降駆動装
置と、この昇降駆動装置に連結部材を介して連動する昇
降体とを設け、前記昇降駆動装置を囲むダクトを設ける
と共に、このダクトの前面側に連結部材通過用のスリッ
トを形成し、前記ダクトの後面側で且つ上下方向複数箇
所に連通ずる吸引管を設けると共に、この吸引管の上端
を前記クリーンユニットの吸引口に連通し、昇降経路形
成体に、前記昇降体が対向自在な連通路を形成している
。

作用かかる本発明構成によると、クリーンユニットの吸引力
が吸引管に作用していることから、クリーンユニットか
らダウンフローにより昇降路内に供給されたクリーンエ
ヤは、昇降路内の全長においてスリットからダクト内に
流入し、そしてダクト内から吸引管へと流れることにな
る。

実施例以下に本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。

（１）はクリーンルームで、天井側からフィルター（２
）を通してクリーンエヤ（３）を下吹きするように構成
しである。このクリーンルーム（１）は複数階（実施例
では３階を示す。）に亘って夫々形成される。

両クリーンルーム（１）の適所ζこは、壁体（５）と仕
切り部材（６）とにより密閉された昇降路（７）がクリ
ーンルーム（１）間に亘って形成され、この昇降路（７
）の上部にクリーンユニット（８）を設けている。この
クリーンユニット（８）は、箱状本体（９）と、この箱
状本体（９〉内に配設され且つ箱状本体（９）の底板に
相当するメツシュ板ＱＯに対向するフィルタ（ロ）と、
このフィルタαυの上方にエヤを供給するファン（２）
と、このファン（イ）の吸引口＠に連通ずる吸引室α◆
とにより形成される。前記仕切り部材（６）には、四角
筒状のダクト（至）が一体化され、そしてダクト（２）
の前面側中央には上下方向のスリットＱＱが形成されて
いる。

前記ダクト（至）内には昇降駆動装置（ロ）が配設され
、さらに昇降路（７）内には、この昇降駆動装置αηに
連結部材（至）を介して連動する昇降体０Ｉが設けられ
る。

すなわち前記ダクト（至）内には支柱■が立設され、こ
の支柱（１）の両側に上下方向のガイドレール（２）を
取付けると共に、これらガイドレール（ハ）に摺動体（
イ）などを介して支持案内される昇降部材に）が設けら
れる。そして昇降部材（至）の前面から前記連結部材（
ト）が前方に一体連設され、この連結部材（至）はスリ
ットＣＯを通って昇降路（７）内に突出し、その突出端
に前記昇降体α値を一体化している。前記昇降駆動装置
ａ力は、ダクトα日内の上部に配設した従動輪体−と、
下部に配設した駆動輪体（イ）と、この駆動輪体に）に
連動すべく下部に配設したモータなどからなる駆動ユニ
ット（１）と、両輪体（ハ）に）間に巻回した無端回動
体に）とからなり、この無端回動体に）の一箇所が前記
昇降部材（２）に連結されている。前記昇降体Ｑ１上に
は横方向に出退自在なフォーク部材（イ）が設けられる
。ここでフォーク部材翰は荷収納ケース■に対して下方
から係合自在に構成される。

前記ダクト（へ）の後方には四角ダクト状の吸引管（イ
）が平行して配設され、この吸引管（至）の上端を前記
吸引室０４に連通ずると共に、下端は駆動ユニットに）
を囲むカバー枠（至）内に連通している。そしてダクト
（至）の上下方向所定間隔置きの複数箇所と吸引管（財
）とは夫々連通管（ロ）を介して連通され、また各連通
管Ｃ仲内には流量調整用の弁（７）が配設される。

この弁（７）は手動または遠隔による自動などで操作さ
れる。なお吸引管（財）の下端でカバー枠（至）との連
通部にも弁■が設けられる。前記昇降体（１１が対向自
在な壁体（５）の部分に、この壁体（５）を貫通する連
通路（ハ）が形成される。この連通路（至）内には荷受
台に）が配設され、また昇降路（７）側の端部外方には
開閉扉勾が配設される。なお２階と１階との連通路（至
）の向きは任意に決定し得る。

次に上記実施例の作用を説明する。

以下においては１階の荷収納ケース■を２階に搬送する
作業を述べる。人為的または機械的作業によって１階の
連通路（至）内に荷収納ケース（ト）が運ばれ、そして
荷受台（至）上に載置されている。このとき各開閉扉（
７）は閉動され、また昇降体０呻を下降させると共にフ
ォーク部材四を連通路（至）に対向させている。この状
態で連通路（財）に対応する開閉扉■を開動させる。次
いでフォーク部Ｕ翰を連通路（至）内に突出動させて荷
収納ケース（７）の下方に位置させる。そして昇降体０
９を少し上昇させ、フォーク部材四を係合させて荷受台
（至）から荷収納ケース（７）を持上げる。次いでフォ
ーク部材翰を退入動させ、荷収納ケース曽を昇降体α呻
の上方に引き込んだのち、開閉扉−を閉動させる。そし
て昇降駆動装置αηの駆動ユニットに）を作動させ、無
端回動体（２）を移動させると、この無端回動体（財）
と一体の昇降部材磐が、その摺動体翰がガイドレール（
ハ）に摺動案内されることから一定経路上を上昇する。

その際に連結部材（至）を介して昇降部材−と一体の昇
降体α１も同時に上昇し、そして２階の連通路に）に対
応する上限位置で停止される。次いで、前述とは逆作用
により荷収納ケース員を荷受台（至）上に渡し得る。こ
のような荷搬送の作業中において前記昇降路（７λ内に
は、クリーンユニット（８ンからダウンフローによりク
リーンエヤ（ロ）が供給される。その際に、クリーンエ
ヤツＩ−（８）の作動により、吸引口（２）、吸引室（
１４）を介して吸引管Ｑ内に吸引力が作用しており、さ
らに吸引力は各連通管（ロ）を介してダクト（至）内に
作用すると共に３９７８０句に作用することになる。こ
れにより昇降路（７）内には上下方向全長に五って吸引
作用が働き、したがって昇降体ａＩ側で発生した塵埃は
該昇降体α１がどのレベルであったとしても、その位置
でスリット［相］を通してダクト（２）内に流入させ得
る。この流入させた塵埃、ならびに昇降の際にダクト（
イ）内で発生した塵埃は、各連通管■を通って吸引管に
）内に流入し、そして吸引室Ｑ４などを介してフィルタ
（ロ）を通る際に塵埃はキャッチされ、また気流はクリ
ーンエヤゆとして再供給される。前述したような流れ（
吸引）において、各弁０！１９に）を、例えば上位はど
絞り且つ下位はど開放すべく調整することによって、ス
リットα０の上下方同各レベルにおける吸引力の均一化
をはかることができる。

上記実施例では荷収納ケース（７）の搬送形態を示した
が、これは昇降体α値上に作業者が入るボックスを設け
、そして連通路（至）を人が通行し得るように形成する
ことにより、階層間での作業者の移動に利用し得る。

発明の効果上記構成の本発明によると、クリーンユニットの吸引力
が吸引管に作用していることから、クリーンユニットか
らダウンフローにより昇降路内に供給されたクリーンエ
ヤを昇降路内の全長においてスリットからダクト内に流
入させることができ、そしてダクト内から吸入管へと流
すことができる。

これにより昇降路内で発生した塵埃は、昇降路内のどの
レベルであったとしても迅速に吸引除去でき、昇降体や
被搬送物（人、物品）に付着したり連通路を通ってクリ
ーンルーム内に漏出することを極減でき、さらに昇降駆
動装置で発生した塵埃も完全に除去できる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例を示し、第１図は縦断側面図、
第２図は横断平面図である。（１）・・・クリーンルーム、（５）・・・壁体、（６
）゛・・仕切り部材、（力・・・昇降路、（３）・・・
クリーンユニット、＠・・・フィルタ、（６）・・・フ
ァン、（至）・・・吸引口、０１・・・ダクト、０す・
・・スリット、（１？）・・・昇降駆動装置、（ト）・
・・連結部材、０楊・・・昇降体、翰・・・支柱、脅・
・・昇降部材、（７）・・・駆動ユニット、（ハ）・・
・無端回動体、翰・・・フォーク部材、Ｑ・・・吸引管
、■・・・連通管、（至）（１）・・・弁、（至）・・
・連通路、０１）・・・クリーンエヤ

Claims

【特許請求の範囲】

１、複数階のクリーンルーム間に亘つて密閉された昇降
路を形成すると共に、この昇降路の上部にクリーンユニ
ツトを設け、前記昇降路内に、昇降駆動装置と、この昇
降駆動装置に連結部材を介して連動する昇降体とを設け
、前記昇降駆動装置を囲むダクトを設けると共に、この
ダクトの前面側に連結部材通過用のスリツトを形成し、
前記ダクトの後面側で且つ上下方向複数箇所に連通する
吸引管を設けると共に、この吸引管の上端を前記クリー
ンユニツトの吸引口に連通し、昇降経路形成体に、前記
昇降体が対向自在な連通路を形成したことを特徴とする
クリーンルーム間の搬送装置。