JPH0357018B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、例えば半導体のような塵埃を極端に
きらう荷（物品）をクリーンルーム間で搬送する
搬送方法に関するものである。

従来の技術 横方向に並設形成されたクリーンルーム間での
荷の搬送は、搬送用自走台車などを使用して行な
える。しかし、クリーンルームが上下方向におい
て複数階に亘つて形成され、そしてこれらクリー
ンルーム間で荷の搬送を行なうときには特公昭55
年46353号に示されたようなエレベータ形式の搬
送方法が採用される。

発明が解決しようとする問題点 上記したような従来のエレベータ形式の搬送方
法においては、昇降路内の全てをクリーン化して
いたが、これによるとクリーン度を保つための設
備が大型化し、また運転費も含めて高価となる。

問題点を解決するための手段 上記問題点を解決するために本発明におけるク
リーンルーム間の搬送方法は、クリーンエアーが
供給されている複数階のクリーンルーム間に亘つ
て縦壁体を設けることにより複数階のクリーンル
ーム間にクリーン化されていない昇降路を貫通形
成し、こ昇降路内でクリーンユニツトを有する昇
降体を昇降させて、各クリーンルームと昇降路と
を連通すべく縦壁体に形成した連通路の任意のも
のに該昇降体を対向して停止させ、先ず連通路の
昇降路側に設けた連通路用開閉扉を開動させ、次
いで昇降体の連通路側に設けた昇降体用開閉扉を
開動させ、両扉の開動状態で昇降体とクリーンル
ーム側との間で荷の受け渡しを行ない、次いで昇
降体用開閉扉を閉動させたのち連通路用開閉扉を
閉動させるようにしている。

作 用 上記した本発明構成によると、クリーンユニツ
トを作動させることにより昇降体内のみクリーン
化し得る。また連通路に昇降体を対向接続させた
のち連通路側開閉扉を開動させることにより、ク
リーンルーム側のクリーンエアーが連通路を通つ
て昇降体用開閉扉に向け流れることになり、この
状態で昇降体用開閉扉を開動させたとき、昇降体
内にはクリーンルーム側のクリーンエアーが入つ
て、昇降路内の汚染空気が入ることを阻止するこ
とになる。したがつて昇降路が汚染部でありなが
ら、各クリーンルームと昇降体内とのクリーン度
を維持しながら荷の受け渡しを行なえる。

実施例 以下に本発明の一実施例を図面に基づいて説明
する。１はクリーンルームで、天井側からフイル
ター２を通してクリーンエアー３を下吹きし、下
降するエアーをメツシユ形式の床４を通して床下
に吸引するように構成してある。このクリーンル
ーム１は複数階に亘つて夫々形成される。これら
クリーンルーム１間に亘つて、縦壁体５により昇
降路６が形成され、この昇降路６内に昇降体７が
配設される。昇降駆動装置８は、昇降路６の上端
に設けた正逆駆動式のモータ９と、このモータ９
に連動する駆動輪体１０や遊転輪体１１関に亘つ
て掛けたチエンなどの索体１２とからなり、索体
１２の一端を昇降体７の上端にばねなどの緩衝具
１３を介して連結すると共に、他端にバランスウ
エイト１４を取付けている。前記昇降体７は、索
体１２が連結される枠体１５と、この枠体１５内
に密閉空間を形成するカバー体１６とからなる。
そして両側に設けたガイド装置（図示せず）に支
持案内されることによつて、昇降体７は一定経路
上で昇降自在となる。前記カバー体１６内は大ま
かに上下３つの室に区画される。すなわち上下一
対の横方向の仕切板１７，１８によつて上部のク
リーンユニツト室１９と中間部の荷収納室２０と
下部の排気室２１とに区画される。また一側部に
設けた連通部材２２を介して、クリーンユニツト
室１９と排気室２１とが連通される。そしてクリ
ーユニツト室１９に設けられるクリーンユニツト
２３はフイルタ２４とフアン２５とからなり、こ
こでフイルタ２４は仕切板１７に形成したメツシ
ユ板部２６の近くに配設され、またフアン２５は
室内に縦方向に配設した仕切板２７に取付けら
れ、その吸気口２８を連通部材２２側に位置され
ると共に、排気口２９をフイルタ２４の上方に開
放している。前記下位の仕切板１８はステンレス
製のパンチングメタルからなり、その少し上方に
枠体３０を設けると共に、この枠体３０上に左右
一対の荷受台３１を配設している。これら荷受台
３１は通気性のある箱状であつて、その上面を介
して、例えば半導体を収納したケースなどからな
る荷３２を支持する。前記昇降体７は、その開放
前面である出入口３３において昇降体用開閉扉３
４を昇降自在に支持案内し、その昇降は、枠体１
５側に取付けたモータ３５と、これに連動する索
体（図示せず）とにより行なわれる。各クリーン
ルーム１において、前記昇降体７の出入口３３が
対向自在な縦壁体５の部分に、該縦壁体５を貫設
する四角筒状のボツクス体３６により連通言３７
が形成される。この連通路３７の昇降路６側の端
部には、ガイド装置（図示せず）を介して昇降自
在に支持案内される連通路用開閉扉３８が配設さ
れ、その昇降はシリンダ装置３９によつて行なわ
れる。なお、昇降路６の株と最下階の床４下と
は、縦壁体５に形成した空気抜口４０を介して連
通している。

次に上記実施例の作用を説明する。

カバー体１６内の荷受台３１が荷３２を支持し
ている状態において、昇降体用開閉扉３４、なら
びに各連通路用開閉扉３８は閉動している。この
ときクリーンユニツト２３は作動しており、フア
ン２５の排気口２９から排出されるエアーはフイ
ルタ２４を通つてクリーンエアー４１となり、こ
のムリーンエアー４１は荷収納室２０内に下吹き
される。下吹きされたクリーンエアー４１は、荷
収納室２０から主として排気室２１に流れ、そし
て連通部材２２を介してクリーンユニツト室１９
に循環流入し、フアン２５に吸込まれる。これに
より荷収納室２０内に常にクリーン化されてい
る。このような状態で、昇降駆動装置８を作動さ
せて昇降体７を昇降させ、第１図に示すように、
目的とする階のクリーンルーム１に対応する連通
路３７に出入口３３を対向させて停止させる。か
かる状態で先ず、シリンダ装置３９を収縮動さ
せ、連通路用開閉扉３８を上昇させて第３図に示
すように開動させる。このときクリーンルーム１
内にはフイルター２を通つたクリーンエアー３が
下吹きされ、そして床４下に吸引させており、し
たがつて連通路用開閉扉３８の開動によりクリー
ンエアー３が、連通路３７内を流れて昇降体７の
前面側に衝突し、そして昇降路６内に流れ込むこ
とになる。これにより、昇降体用開閉扉３４を含
む昇降体７の前面側は、クリーンルーム１と同じ
レベルのクリーンエアー３で覆われることにな
る。連通路用開閉扉３８が完全に開動したことは
第１検出装置４２により検出され、その検出信号
に基づいてモータ３５が正駆動される。これによ
り昇降体用開閉扉３４が上昇され、第４図に示す
ように開動される。この開動に伴つてクリーンエ
アー３が出入口３３から中に入ることになり、以
つて昇降路６内に汚れた空気が昇降体７内に入る
のを防止する。昇降体用開閉扉３４が完全に開動
したことは第２検出装置４３により検出され、こ
の検出信号に基づいてクリーンルーム１内の表示
ランプ４４が点灯される。これにより荷３２の取
出しが、装置（図示せず）により、或いは人手作
業により行なわれる。作業終了後、クリーンルー
ム１側から終了ボタン４５を押す。なお装置の場
合は終了も自動化されている。これにより先ずモ
ータ３５が逆駆動され、昇降体用開閉扉３４が下
降して第３図に示すように閉動される。この閉動
後にシリンダ装置３９が伸展動され、連通路開閉
扉３８を下降させて第１図に示すように閉動させ
る。その後、昇降体７は昇降動されて別の連通路
３７に対向され、同様の作用にて荷３２の積込み
が行なわれる。なお昇降路６内にクリーンエアー
３が流れ込むことにより生じた余分の空気は空気
抜口４０を通して排気される。

発明の効果 上記構成の本発明によると、クリーンユニツト
を作動させることにより昇降体内をクリーン化で
きる。また目的とする連通路に昇降体を対向接続
させたのち連通路側開閉扉を開動させることによ
つて、クリーンルーム側のクリーンエアーが連通
路を通つて昇降体用開閉扉側に向いて流れること
になり、昇降体の前面側を該クリーンエアーで覆
うことができる。したがつて、この状態で昇降体
用開閉扉を開動させたとき、連通路からのクリー
ンエアーが昇降体内に入ることになり、以つて昇
降路内の汚染空気が昇降体内に入ることを阻止で
きると共に、この昇降体内のクリーン化できる。
その結果、クリーンルームと昇降体内とクリーン
度を同じレベルで維持しながら、昇降体内に対す
る荷の受け渡しを行なうことができる。したがつ
て昇降体内のみをクリーン化し、昇降体内は汚染
部でよいことから、クリーン度を保つための設備
を小型化できると共に 運転費も含めて低価にで
きる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例を示し、第１図は縦断
面図、第２図は要部の縦断正面図、第３図、第４
図は作用状態を示す要部の縦断側面図、第５図は
タイミング図である。 １……クリーンルーム、３……クリーンエア
ー、５……縦壁体、６……昇降路、７……昇降
体、８……昇降駆動装置、１６……カバー体、１
９……クリーンユニツト室、２０……荷収納室、
２１……排気室、２２……連通部材、２３……ク
リーンユニツト、２４……フイルター、３１……
荷受台、３２……荷、３３……出入口、３４……
昇降体用開閉扉、３５……モータ、３７……連通
部、３８……連通路用開閉扉、３９……シリンダ
装置、４０……空気抜口、４１……クリーンエア
ー。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ クリーンエアーが供給されている複数階のク
   リーンルーム間に亘つて縦壁体を設けることによ
   り複数階のクリーンルーム間にクリーン化されて
   いない昇降路を貫通形成し、この昇降路内でクリ
   ーンユニツトを有する昇降体を昇降させて、各ク
   リーンルームと昇降路とを連通すべく縦壁体に形
   成した連通路の任意のものに該昇降体を対向して
   停止させ、先ず連通路の昇降路側に設けた連通路
   用開閉扉を開動させ、次いで昇降体の連通路側に
   設けた昇降体用開閉扉を開動させ、両扉の開動状
   態で昇降体とクリーンルーム側との間で荷の受け
   渡しを行い、次いで昇降体用開閉扉を閉動させた
   のち連通路用開閉扉を閉動させるクリーンルーム
   間の搬送方法。