JPS61124486A - クリ−ンル−ム間の搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、例えば半導体のような塵埃を極端にきらう荷
（物品）をクリーンルーム間で搬送する搬送装置に関す
るものである。

従来の技術 横方向に並設形成されたクリーンルーム間での荷の搬送
は、搬送用自走台車などを使用して行なえる。しかし、
クリーンルームが上下方向において複数階に亘って形成
され、そしてこれらクリーンルーム間で荷の搬送を行な
うときにはエレベータ形式の搬送装置が使用される。

発明が解決しようとする問題点 上記したような従来のエレベータ形式の搬送装置におい
ては、昇降路内の全てをクリーン化していたが、これに
よるとクリーン度を保つための設備が大型化し、また運
転費も含めて高価となる。

また荷を格納し保持する昇降体内を充分にクリーン化で
きない。

問題を解決するための手段 上記問題点を解決するために本発明におけるクリーンル
ーム間の装置は、クリーンルームを複数階形成し、これ
らクリーンルームを貫通して形成した昇降路内に昇降体
を配設し、この昇降体が対向自在な連通路を各クリーン
ルームに形成し、この連通路に荷受台を設けると共に、
該連通路の昇降路側に連通路側開閉扉を設け、前記昇降
体の連通路に対向する側に昇降体側開閉扉を設け、ざら
に昇降体内に、前記荷受台との間で荷の受け渡しを行な
う搬入出装置と、クリーンユニットとを設けている。

作用 上記した本発明構成によると、クリーンユニットを作動
させることにより昇降体内のみクリーン化し得、また連
通路に昇降体を対向接続させたのら両開閉扉を開動させ
ることによって、昇降路が汚染部でありながら、各クリ
ーンルームと昇降体内とのクリーン度を維持しながら荷
の受け渡しを行なえる。

実施例 以下に本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。１
はクリーンルームで、天井側からフィルター２を通して
クリーンエアー３を下吹きし、下降するエアーをメツシ
ュ形式の床４を通して床下に吸引するように構成しであ
る。このクリーンルーム１は複数階に亘って夫々形成さ
れる。これらクリーンルーム１間に亘って、縦壁体５に
より昇降路６が形成され、この昇降路６内に昇降体７が
配設される。昇降駆１ｉｌＩ装置８は、昇降路６の上端
に設けた正逆駆動式のモータ９と、連動する駆動輪体１
０や遊転輪体１１間に亘って掛けたチェノなどの索体１
２とからなり、索体１２の一端を昇降体７の上端に連結
すると共に、他端にバランスウェイト１３を取付けてい
る。前記昇降体７は、索体１２が連結される枠体１４と
、この枠体１４内に密閉空間を形成するカバ一体１５と
からなる。そして両側に取付けた夫々複数個のガイドロ
ーラ１６を介して、昇降体７内に配設したがイドレール
１７に支持案内さ栃ることによって、昇降体７は一定経
路上で昇降自在となる。前記カバ一体１５内は大まかに
４つの室に区画される。すなわち上端から中間下部に亘
っての仕切板１８によって前後に分けられ、そして前部
はメツシュ板１９により上部の排気室２０と下部の荷収
納室２１とに区画される。また後部は連通部材２２を介
して、上部の吸気室２３と下部の循環室２４とに区画さ
れる。そして昇降体７に設けられるクリーンユニット２
５はフィルタ２６とファン２７とからなり、ここでフィ
ルタ２Ｇは排気室２０内の下部でメツシュ板１９の近く
に配設され、またファン２７は吸気室２３内において仕
切板１８に取付けられ、その吸気０２８を吸気室２３内
に位置させると共に、排気口２９を排気室２０に開放し
ている。前記カバ一体１５の前面側で且つ荷収納室２１
に対向する部分には、中央部に出入口３０を有する窓枠
状の矩形枠体３１が配設され、この矩形枠体３１はカバ
一体１５との間に設けたガイドｍ構３２と押付は駆動装
置（モータなど）３３とによって、縦壁体５側に対して
接近離間自在となる。なお矩形枠体３１とカバ一体１５
との間には、シール用の蛇腹体３４が配設される。前記
矩形枠体３１は昇降体側開閉扉３５を昇降自在に支持案
内し、その昇降は、枠体１４側に取付けたモータ３６と
、これに連動する索体３７とにより行なわれる。各クリ
ーンルーム１において、前記昇降体７の出入口３０が対
向自在な縦壁体５の部分に、咳縦壁体５を貫設する四角
筒状のボックス体３８により連通路３９が形成される。

この連通路３９内には、左右一対を一組として二組の荷
受台４０が固定して配設される。

また連通路３９の昇降路６側の端部には、ガイドロッド
４１に複数のローラ４２を介して昇降自在に支持案内さ
れる連通路側開閉＠４３が配設され、その昇降はシリン
ダ装置４４によって行なわれる。なおボックス体３８の
内端は、前記矩形枠体３１の前面に取付けたシール部材
４５が接当自在なシール面４６に形成される。前記荷収
納室２１と循環室２４との下部間に亘って、前記荷受台
４０との間で荷４７の受け渡しを行なう搬入出装置４８
が二組配設される。すなわち昇降体７側にガイド機構４
９を介して支持案内される昇降台５０が設けられ、この
昇降台５０は昇降駆動装置５１に連動している。この昇
降台５０上には前後方向のレール５２が敷設され、この
レール５２にスライド休５３を介して支持案内される荷
支持板５４が設けられる。この荷支持板５４はフォーク
形式であって、左右一対の荷受台４０間に突入自在であ
る。

前記昇降台５０には、モータ５５に連動する駆動輪体５
６と、前後一対の遊転輪体５７．５８とが配設され、こ
れら輸体５６．５７．５８間に掛張した無端回動体５９
の一箇所を前記荷支持板５４側に結合している。６０は
制御板、６１はケーブル、６２は点検歩道を示す。

次に上記実施例の作用を説明する。

カバ一体１５内に納まった荷支持板５４が荷４７を支持
している状態において、昇降体側開閉扉３５、ならびに
各連通路側開閉扉４３は閉動している。このときクリー
ンユニット２５は作動しており、ファン２７の排気口２
９から排出されるエアーはフィルタ２６を通ってクリー
ンエアー６３となり、このクリーンエアー６３は荷収納
室２１内に下吹きされる。下吹きされたクリーンエアー
６３は、荷収納室２１から循環至２４に流れ、そして連
通部材２２を介して吸気室２３に循環流入し、ファン２
７に吸込まれる。これにより荷収納室２１内は常にクリ
ーン化されている。このような状態で、昇降駆動装置８
を作動させて昇降体７を昇降させ、第２図実線、ならび
に第３図に示すように、目的とする階のクリーンルーム
１に対応する連通路３９に出入口３０を対向させて停止
させる。次いで押付は駆動装置３３の作動により矩形枠
体３１を前進さ往、シール部材４５をシール面４Ｇに圧
接させる。そして両開閉扉３５．４３を開動く上昇）さ
せ、出入口３０を介して荷収納室２１と連通路３９とを
連通させる。この状態で荷支持板５４を前進させ、第２
図仮想線イで示すように連通路３９内で荷受台４０より
も上方に位置させる。次いで荷支持板５４を仮想線口で
示すように下降させることにより荷４７を荷受台４０上
に渡し得、その後、荷支持板５４を退入させることによ
って荷４７を渡し得る。なお荷支持板５４を逆作動させ
ることによって、荷受台４０上の荷４７を昇降体７側で
受け取り得る。荷４７の受け渡しを行なったのら、両開
閉１１ｉ３５．４３を閉動（下降）させ、そしてシール
部材４５などを離間勤させることによって、昇降体７を
再び昇降し得る。

発明の効果 上記構成の本発明によると、クリーンユニットを作動さ
せることにより昇降体内をクリーン化でき、また目的と
する連通路に昇降体を対向接続させたのち両開閉扉を回
動させることによって、クリーンルームと昇降体内との
クリーン度を維持しながら、搬入吊装置により荷受台と
の間で荷の受け渡しを行なうことができる。したがって
昇降体内のみクリーン化し、昇降路内は汚染部でよいこ
とから、クリーン度を保つための設備を小型化できると
共に運転費も含めて低価にでき、さらに昇降体内を充分
にクリーン化できる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例を示し、第１図は縦断面図、第
２図は要部の縦断面図、第３図は同横断面図である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、クリーンルームを複数階形成し、これらクリーンル
   ームを貫通して形成した昇降路内に昇降体を配設し、こ
   の昇降体が対向自在な連通路を各クリーンルームに形成
   し、この連通路に荷受台を設けると共に、該連通路の昇
   降路側に連通路側開閉扉を設け、前記昇降体の連通路に
   対向する側に昇降体側開閉扉を設け、さらに昇降体内に
   、前記荷受台との間で荷の受け渡しを行なう搬入出装置
   と、クリーンユニットとを設けたことを特徴とするクリ
   ーンルーム間の搬送装置。