JPH0231496Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 この考案は半導体製造工場などの清浄空気雰囲
気で物品を製造し、搬送する工場における物品搬
送装置に関する。

従来の技術 半導体部品、医薬品や医療機器などの超高精度
が要求される物品の製造は、無塵、無菌の清浄空
気雰囲気内での作業が、益々必要不可欠の条件と
なつている。特に、半導体製造産業界において
は、超LSI化の時代の突入で、半導体製造工場の
作業室は超清浄空気雰囲気が要求されている。

このような要求は、作業室を天井から床へのク
リーンエアー（清浄空気）のダウンフローによつ
て清浄空気雰囲気に維持し、作業室内や、同じ階
の複数の作業室間の物品搬送を無人搬送車などを
使つて無人で行うことで実現され、このような水
平方向の物品搬送システムは物品汚染防止に相当
な成果を上げている。しかし、工場の立地条件の
問題などから、１つの建造物内に多層階にわたり
作業室を設け、各作業室をクリーンエアーのダウ
ンフローで清浄空気雰囲気に保つと共に、各階の
作業室間で物品を上下に搬送するようにした工場
での、上下方向の物品搬送システムにおいては、
物品汚染防止対策が未だ不十分である問題が残さ
れている。

例えば、各階の作業室間での無人の物品搬送シ
ステムは、エレベータ方式を利用したものが一般
的で、その基本的構造例を第４図を参照して説明
する。第４図において、A₁，A₂，……は各階の
作業室で、図面では５階までを例示する。Ｂは各
作業室A₁〜A₅を上下に貫通する物品搬送室（エ
レベータ室）、１は物品搬送室Ｂ内を上下動する
搬送ボツクス（エレベータ）、２は搬送ボツクス
１を上下動させる懸垂駆動機などのボツクス駆動
系である。各作業室A₁〜A₅には天井から床にク
リーンエアー３をダウンフローさせて清浄空気雰
囲気に保つクリーンユニツト４，４……が装備さ
れ、また物品搬送室Ｂにも同様なクリーンユニツ
ト４′が装備される。各作業室A₁〜A₅と物品搬送
室Ｂを仕切る隔壁には物品出入口５，５……が形
成され、この物品出入口５，５……は物品搬送室
Ｂの側に上下に開閉可能に設置した外扉６，６…
…で、平常時は閉じられている。搬送ボツクス１
は物品７を収納するもので、前面に上下に開閉す
る内扉８を、上部にボツクス内の物品収納室にク
リーンエアーをダウンフローするクリーンユニツ
ト９を有する。

物品７を収納した搬送ボツクス１は内扉８を閉
じて、物品搬送室Ｂを上下動し、所望の階の、例
えば３階の作業室A₃の物品出入口５の手前定位
置で停止すると、この物品出入口５の外扉６と、
搬送ボツクス１の内扉８が開き、搬送ボツクス１
内の物品７が作業室A₃内に移される。また、必
要に応じ作業室A₃から搬送ボツクス１内の別の
物品７が搬入されると、両扉６，８が閉じ、搬送
ボツクス１が上昇又は下降する。

考案が解決しようとする問題点 上記の物品クリーン搬送システムにおいて、各
作業室A₁〜A₅は天井から床までの距離が比較的
小さくて、クリーンエアーのダウンフローによる
室内の空気清浄度は極めて高く維持できるが、物
品搬送室Ｂは上下に長くて、クリーンエアーのダ
ウンフローによる空気清浄効果は薄く、而も物品
搬送室Ｂにはボツクス駆動系２のワイヤなどの金
属屑や油屑などを飛散させる発塵源が数多く存在
しているので、物品搬送室Ｂの空気清浄度は高く
期待されていない。そこで、この汚染空気雰囲気
にある物品搬送室Ｂを上下動する搬送ボツクス１
にクリーンユニツト９を設けて自浄機能を持た
せ、物品搬送室Ｂの汚染空気から搬送ボツクス１
内の物品７を保護するようにしている。ところ
が、搬送ボツクス１を、例えば作業室A₃の物品
出入口５の手前定位置に停止させ、両扉６，８を
開いて物品７の受け渡しを行う際に、物品出入口
５と搬送ボツクス１との隙間から、物品搬送室Ｂ
の汚染空気が作業室A₃内や搬送ボツクス１内に
流入して、この時に物品７が汚染されることがあ
る。

この問題を解決するものとして、本件出願人
は、実願昭60−14388号（実開昭61−130568号）
において、作業室と搬送ボツクス間の物品受け渡
し時に、作業室の物品出入口と、搬送ボツクスと
の間の空間を物品搬送室から一時的に遮断するシ
ール手段を搬送ボツクス側に設けたものを提案し
ている。例えば、上記搬送ボツクス１に対して、
第５図乃至第７図に示す動きをするシール手段１
０が付設される。このシール手段１０は搬送ボツ
クス１の物品出し入れ用開口１１の周辺部に装着
されて、軸方向に伸縮するもので、例えば第８図
に示すように、開口１１の周辺部に一端が固定さ
れた２重筒状の蛇腹状シール材１２，１２′と、
シール材１２，１２′の先端に固定されたロ字状
の弾性パツキン材１３と、搬送ボツクス１の下部
に固定されてシール材１２，１２′を軸方向に伸
縮させるエアーシリンダなどのシール駆動源１４
で構成される。尚、第５図乃至第７図における、
１５は外扉６の開閉駆動機構、１６は内扉８の開
閉駆動機構である。

上記シール手段１０は次の作用をする。第５図
に示すように、搬送ボツクス１が、例えば作業室
A₃の物品出入口５の手前定位置に停止すると、
先ずシール駆動源１４が作動してシール材１２，
１２′を伸ばし、第６図に示すように、パツキン
材１３を物品出入口５の周辺部に押し付けて密着
させる。これによつて、物品出入口５と搬送ボツ
クス１の間の物品出入用空間ｍがシール材１２，
１２′によつて、物品搬送室Ｂにより遮断される。
次に、第７図に示すように、内外両扉６，８を開
いて物品７の受け渡しを行う。この物品受け渡し
が完了すると、両扉６，８が閉じられ、その後シ
ール材１２，１２′がパツキン材１３と共に搬送
ボツクス側に縮められて、搬送ボツクス１が上昇
又は下降する。

このように、シール手段１０は物品受け渡しの
際に、物品出入用空間ｍを物品搬送室Ｂの汚染空
気から遮断して、物品７の汚染を防止する。とこ
ろが、この物品汚染防止対策には、次なる不備な
点があつた。即ち、第５図の状態の時、閉じた扉
の外扉６と内扉８の間の局所空間ｍは物品搬送室
Ｂの汚染空気区域内にあり、この状態で第６図に
示すように、シール材１２，１２′を伸ばすと、
局所空間ｍは汚染空気を閉じ込めた空間となる。
そのため、両扉６，８を開くと、局所空間ｍの汚
染空気が物品７を汚染することがあつた。

それ故に、本考案の目的は、作業室と物品搬送
室内の搬送ボツクスとの間の物品受け渡し時に、
物品が物品搬送室の汚染空気で汚染されないよう
にした物品搬送装置を提供するにある。

問題点を解決するための手段 本考案は上記目的を、清浄空気雰囲気に維持さ
れた作業室と、この作業室との隔壁に形成された
物品出入口で作業室に通じる物品搬送室と、この
物品搬送室内を移動し、前記物品出入口の手前定
位置にて作業室との間で物品の受け渡しが行われ
る物品収納搬送用搬送ボツクスと、この搬送ボツ
クスに、搬送ボツクスが前記物品出入口手前定位
置に在る時に、物品出入口周辺部との隙間を遮断
する方向に伸縮自在に装着された筒状シール手段
と、前記物品出入口と搬送ボツクスの搬送路の間
に、物品出入口を開閉する方向に往復動可能に物
品出入口側に取付けられ、系外より空気を吸引し
て除塵した清浄空気を物品出入口と反対側に吹き
出すクリーンユニツトとを具備した物品搬送装置
にて達成するようにしたものである。

作 用 上記本考案における、作業室の物品出入口と搬
送ボツクス搬送路との間に物品出入口側に取付ら
れたクリーンユニツトで、物品出入口の手前定位
置の搬送ボツクスに向けて清浄空気を吹き付けて
おいてから、クリーンユニツトを物品出入口より
外し、代わりに搬送ボツクスからシール手段を伸
ばして物品出入口周辺部との隙間を遮断させるこ
とにより、シール手段で物品搬送室の空気から遮
断されてシール手段で囲まれる空間は、先にクリ
ーンユニツトにて清浄空気雰囲気にされたまま維
持されることになり、これにより物品搬送室の空
気が汚染されていても、物品受け渡し時に物品が
汚染される可能性はほとんど無くなる。

実施例 以下、本考案の、例えば第５図乃至第７図の物
品搬送装置に適用した一実施例を、第１図乃至第
３図を参照して説明する。尚、第１図乃至第３図
において第５図乃至第７図の従来装置と同一のも
のには同一参照符号を付す。

第１図乃至第３図の実施例において、従来装置
との相違点は、各階の外扉６，６……の内側の垂
直な平板状のクリーンユニツト１７，１７……を
可動に付設したことである。各階のクリーンユニ
ツト１７，１７……は同じ構造のもので、各々は
物品搬送室Ｂと、各階の作業室A₁，A₂……の隔
壁に取付けた懸垂駆動機１８，１８……にて独立
して上下動制御される。

１つのクリーンユニツト１７の具体的構造例
を、第２図乃至第３図に基づき説明すると、クリ
ーンユニツト１７は物品出入口５を塞ぐ大きさの
矩形有底箱形ケース１９と、ケース１９の開口端
部の上部を除く部分に装着された薄板状のエアー
フイルタ２０と、ケース１９の開口端部の上部に
収納されたフアン２１及びフアン駆動源２２で主
要部が構成される。クリーンユニツト１７はケー
ス１９の底板１９′を物品出入口５に向けて上下
摺動可能に設置される。このクリーンユニツト１
７のフアン２１は複数個が横一列等の配列で配置
され、フアン２１を一方向に回転させると、ケー
ス１９の開口端上部に設けた空気取入口２３から
ケース１９内に空気が吸引され、この空気はケー
ス１９の底板１９′とエアーフイルタ２０の間に
層流となつて送り込まれて、エアーフイルタ２０
で除塵されて、エアーフイルタ２０より外に水平
に吹き出される。

このようなクリーンユニツト１７，１７……は
次の動作を行う。搬送ボツクス１を、例えば３階
の作業室A₃の位置まで搬送して、物品７の受け
渡し作業を行う場合、始めに作業室A₃の物品出
入口５は外扉６で閉じられ、この外扉６の内側に
沿つて３階のクリーンユニツト１７が在つて、ク
リーンユニツト１７のフアン２１は回転し続けて
いる。この状態で搬送ボツクス１がクリーンユニ
ツト１７の手前近くの定位置に搬送されて、停止
する。これが第２図の状態で、この時にクリーン
ユニツト１７は搬送ボツクス１の前面に向けて、
エアーフイルタ２０で除塵したクリーンエアーを
吹き付け、搬送ボツクス１との間の局所空間ｎに
在る物品搬送室Ｂの汚染空気を排除して、空間ｎ
を清浄空気雰囲気にする。この局所空間ｎが清浄
空気雰囲気にされた頃の時間経過でもつて、クリ
ーンユニツト１７を物品出入口５から外れる上限
位置まで上昇させ、ほぼ同時ににシール手段１０
のシール駆動源１４を作動させて、第３図に示す
ように、蛇腹状シール材１２，１２′を伸ばし、
パツキン材１３を物品出入口５周辺部に密着させ
る。すると、上記空間ｎがそのままシール材１
２，１２′で物品搬送室Ｂから遮断され、従つて
シール材１２，１２′と内外両扉６，８で囲まれ
る局所空間ｍは清浄空気雰囲気となる。この後、
両扉６，８を開いて物品７の受け渡しを行うが、
この時に物品７は汚染空気に触れることが無く、
物品汚染の可能性がほとんど無くなる。

尚、上記クリーンユニツト１７が上昇して、シ
ール材１２，１２′が伸びる間の局所空間ｍは、
物品搬送室Ｂの汚染空間に通じるが、この時の局
所空間ｍの上部は、上昇したクリーンユニツト１
７で塞がれたに近い状態にあるため、局所空間ｍ
への物品搬送室Ｂに浮遊する塵類の侵入は局所空
間ｍの両側方と下方からの、進入困難な方向から
がほとんどであり、而もこの塵類侵入の許される
時間は、クリーンユニツト１７が上昇してシール
材１２，１２′が伸びる極く短時間である。従つ
て、クリーンユニツト１７が上昇し、シール材１
２，１２′が伸びるまでに、局所空間ｍが汚染さ
れても、その汚染度は無視できる程度に小さく、
問題無い。

考案の効果 本考案によれば、物品搬送室の空気清浄度が悪
くても、搬送ボツクスと作業室の物品出入口との
間の空間が、クリーンユニツトから吹き出される
清浄空気で清浄空気雰囲気にされて、その直後に
搬送ボツクスから伸びるシール手段で囲まれ、こ
の空間を通して物品の受け渡しが行われるので、
物品が汚染される可能性が皆無に近くなり、超
LSIなどの超高清浄空気雰囲気下での製造や搬送
が要求される物品の搬送装置として好適なものが
提供できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る物品搬送装置の一実施例
を示す部分縦断面図、第２図及び第３図は第１図
の装置の各動作状態での要部拡大図である。第４
図は物品の上下搬送システムにおける物品搬送装
置の概略縦断面図、第５図乃至第７図は本考案の
前提となる物品搬送装置の各動作状態での要部縦
断面図、第８図は第５図の一部拡大図である。 A₄〜A₅……作業室、Ｂ……物品搬送室、１…
…搬送ボツクス、５……物品出入口、７……物
品、１０……シール手段、１７……クリーンユニ
ツト。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 清浄空気雰囲気に維持された作業室と、この作
   業室との隔壁に形成された物品出入口で作業室に
   通じる物品搬送路と、この物品搬送室内に移動
   し、前記物品出入口の手前定位置にて作業室との
   間で物品の受け渡しが行われる物品収納搬送用搬
   送ボツクスと、この搬送ボツクスに、搬送ボツク
   スが前記物品出入口手前定位置に在る時に、物品
   出入口周辺部との隙間を遮断する方向に伸縮自在
   に装着された筒状シール手段と、前記物品出入口
   と搬送ボツクスの搬送路の間に、物品出入口を開
   閉する方向に往復動可能に物品出入口側に取付ら
   れ、系外より空気を吸引して除塵した清浄空気を
   物品出入口と反対側に吹き出すクリーンユニツト
   とを具備したことを特徴とする物品搬送装置。