JP6581537B2 - 処理設備及びスタッカークレーン - Google Patents
処理設備及びスタッカークレーン Download PDFInfo
- Publication number
- JP6581537B2 JP6581537B2 JP2016078957A JP2016078957A JP6581537B2 JP 6581537 B2 JP6581537 B2 JP 6581537B2 JP 2016078957 A JP2016078957 A JP 2016078957A JP 2016078957 A JP2016078957 A JP 2016078957A JP 6581537 B2 JP6581537 B2 JP 6581537B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- loading
- unloading
- chamber
- process chamber
- close contact
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims description 45
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 150
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 141
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 123
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims description 48
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 42
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 claims description 33
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 30
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 27
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 14
- 230000008602 contraction Effects 0.000 claims description 10
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 claims description 9
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 24
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 14
- 239000000047 product Substances 0.000 description 13
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 9
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 8
- 238000004378 air conditioning Methods 0.000 description 6
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 6
- 238000012864 cross contamination Methods 0.000 description 4
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000013067 intermediate product Substances 0.000 description 3
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 3
- 229920001875 Ebonite Polymers 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 238000005469 granulation Methods 0.000 description 2
- 230000003179 granulation Effects 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 239000003595 mist Substances 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 238000007873 sieving Methods 0.000 description 2
- 238000005303 weighing Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 1
- 239000006260 foam Substances 0.000 description 1
- 238000009472 formulation Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 238000009700 powder processing Methods 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Description
前記複数の工程室に対する被搬送物の搬入出を行うための開閉自在な搬入出口が形成された搬入出面を各々含み、互いに対向する壁部に挟まれた空間により構成された搬送室と、
前記搬入出面に沿って搬送室内を移動し、被搬送物の搬送及び、前記搬入出口を介して各工程室に対する被搬送物の搬入出を行う搬送機構を備えたスタッカークレーンと、を備え、
前記スタッカークレーンは、
前記搬送機構を収容した状態で搬送室内を移動し、前記互いに対向する壁部の搬入出面と対向する第1の開口及び第2の開口を有する筐体部と、
前記第1の開口または第2の開口と前記各搬入出面との間に配置され、これらの各開口と接続された伸縮自在な筒状の伸縮部を介して前記筐体部に連結されると共に、当該各開口と前記各工程室の搬入出口とを連通させるための連通口が各々形成された第1の連結部及び第2の連結部と、
前記搬入出面に対向する各連通口の周囲に設けられ、搬入出口の周囲の壁部に密着させて前記筐体部内の空間を搬送室から区画するための密着部と、
前記密着部を搬入出口の周囲の壁部に密着させて筐体部内の空間を工程室に連通させる連通位置と、前記連通位置から後退した後退位置との間で、前記第1、第2の連結部を各々移動させる駆動機構と、
前記第1、第2の連結部の各々に設けられ、前記連通口と、搬入出面との間を遮る閉状態と、連結部と搬入出面との間から退避した開状態との間で開閉自在なシャッターと、
前記第1、第2の連結部の一方の連結部を連通位置に移動させ、筐体部内の空間を当該一方の連結部側の工程室に連通させると共に、残る他方の連結部側のシャッターを閉状態としたとき、前記筐体部内の空間を搬送室から区画するための区画部材と、を備えたことを特徴とする。
(a)前記区画部材は、前記他方の連結部であり、当該他方の連結部に設けられた密着部を閉状態のシャッターに密着させて筐体部内の空間を搬送室から区画すること。
(b)前記密着部は、前記連結部に対して上下方向に相対的に移動自在に設けられ、前記壁部に密着部を密着させた状態で前記筐体部を上下方向に移動させたとき、当該密着部が設けられた連結部が筐体部と共に移動することにより、筐体部内の空間を搬送室から区画した状態が維持されること。このとき、前記密着部は、当該密着部を予め設定された高さ位置に保持し、上下方向に伸縮自在なばね部材、及び前記ばね部材の力を受けて移動する密着部の移動速度を制限するダッシュポットを介して連結部に設けられていること。
(c)前記搬送室内の圧力は、各工程室内の圧力よりも高い圧力に調節されていること。
前記搬入出面に沿って搬送室内を移動し、被搬送物の搬送及び、前記搬入出口を介して各工程室に対する被搬送物の搬入出を行う搬送機構と、
前記搬送機構を収容した状態で搬送室内を移動し、前記互いに対向する壁部の各搬入出面と対向する第1の開口及び第2の開口を有する筐体部と、
前記第1の開口または第2の開口と前記各搬入出面との間に配置され、これらの開口と接続された伸縮自在な筒状の伸縮部を介して前記筐体部に連結されると共に、当該各開口と前記各工程室の搬入出口とを連通させるための連通口が各々形成された第1の連結部及び第2の連結部と、
前記搬入出面に対向する各連通口の周囲に設けられ、搬入出口の周囲の壁部に密着させて前記筐体部内の空間を搬送室から区画するための密着部と、
前記密着部を搬入出口の周囲の壁部に密着させて筐体部内の空間を工程室に連通させる連通位置と、前記連通位置から後退した後退位置との間で、前記第1、第2の連結部を各々移動させる駆動機構と、
前記第1、第2の連結部の各々に設けられ、前記連通口と、搬入出面との間を遮る閉状態と、連結部と搬入出面との間から退避した開状態との間で開閉自在なシャッターと、
前記第1、第2の連結部の一方の連結部を連通位置に移動させ、筐体部内の空間を当該一方の連結部側の工程室に連通させると共に、残る他方の連結部側のシャッターを閉状態としたとき、前記筐体部内の空間を搬送室から区画するための区画部材と、を備えたことを特徴とする。
図1に示すように処理設備1は、床面11aによって上下に複数階層、例えば2階層に区画されている。この複数の階層を含むエリアを1ブロックとしたとき、処理設備1は、横方向に伸びる扁平な搬送室12を挟んで2つのブロックを対向して配置した構造となっている。
搬送室12内には、これら移動レール312、312に沿って横方向に移動自在なスタッカークレーン3が設けられている。
以下、図2〜図7を参照しながら、当該構成についての説明を行う。なお、図4の斜視図においては、スタッカークレーン3の内部を見やすくするため、一部の部材を切り欠いて表示してある。また、搬送容器2や後述の駆動機構335などの記載を省略してある。
図6は、各壁部11b、11b側から見た連結板341の側面図であり、同図中に破線で示した搬入出口121の周囲を囲むようにして、壁部11bに対して密着部35が押し当てられる。
以下、図8〜図11を参照しながら、上述のスタッカークレーン3を用いて、工程室11へ搬送容器2を搬入する動作について説明する。ここで図8〜図11に示す例においては、搬送容器2の搬入先である工程室11に設けられた搬入出口121と対向する位置の壁部11bには、他の工程室11の搬入出口121が設けられていない場合を示している。
そして図8に示すように、搬入先の工程室11の搬入出口121に対して、一方の連結板341aの連通口342が対向する位置へと、搬送容器2が載置された搬送機構32を移動させる。
搬送機構32の退避が完了したら、開閉扉122により搬入出口121を閉じ、各連結板341a、341bを後退位置まで後退させる(図11)。
これらの動作においても筐体内空間33と工程室11との圧力が揃っていることにより、気流の乱れの発生を抑えつつ搬送機構32の進入動作、及び搬送容器2の搬出動作を実行することができる。特に、工程室11から搬送容器2を搬出するときに、搬送室12から工程室11に流入する気流が形成されていると、気流の流れに逆行して搬送容器2を移動させることになるので、気流の乱れが大きくなりやすい。この点、搬送室12から区画された筐体内空間33を形成することにより気流の乱れを抑える効果は、搬送容器2の搬出時においてより顕著となる。
例えば図12に示すように、連結板341a、341bの各々に対して、連通口342と、壁部11bとの間を遮る閉状態と、連結板と搬入出面との間から退避した開状態との間で開閉自在なシャッター371を設けてもよい。
各シャッター371は、例えば巻取部372に巻き取ることにより、閉状態から開状態とすることができる。なお、図12に向かって右手に配置された、一方の連結板341a側のシャッター371は開状態となっているため、同図中には示されていない。
例えば、スタッカークレーン3bの筐体部を構成する天板334の上方には、当該天板334を覆うように、既述の巻取部372の底板を含む上部カバー部材375が設けられている。また、筐体部を構成する底板333の底面には、閉じられたシャッター371の下端を当接させる位置まで伸び出した下部カバー部材374が設けられている。さらに、筐体部を構成する昇降スライダー331、側板332の外方側にも、上部カバー部材375と下部カバー部材374との間を連結するように、各々、側方カバー部材376が設けられている。
さらに図13に示すように、天板334と上部カバー部材375との間の隙間は、一方の側方カバー部材376から他方の側方カバー部材376に亘って、仕切り部材373aにより仕切られている。また、図14に示すように、昇降スライダー331及び側板332と側方カバー部材376との間の隙間は、上部カバー部材375から下部カバー部材374に亘って、仕切り部材373bにより仕切られている。
上述の下部カバー部材374、上部カバー部材375、側方カバー部材376、仕切り部材373a、373bは、スタッカークレーン3bに設けられた区画部材に相当する。
なお、一方の連結板341a、341bを連通位置まで移動させ、他方の連結板341b、341a側のシャッター371を閉じたとき、搬送室から筐体内空間33を区画することができれば、区画部材の具体的な構成は、図13、図14に示した例に限定されるものではない。
11 工程室
11b 壁部
12 搬送室
121 搬入出口
2 搬送容器
3、3a、3b
スタッカークレーン
32 搬送機構
33 筐体内空間
330 開口
335 駆動機構
341 連結板
341a 第1の連結板
341b 第2の連結板
342 連通口
343 ばね部材
344 ダッシュポット
35 密着部
36 伸縮部
371 シャッター
373a、373b
仕切り部材
374 下部カバー部材
375 上部カバー部材
376 側方カバー部材
Claims (6)
- 被処理物に対する処理を行って処理物を得る工程室が複数設けられ、前記工程室に対し、前記被処理物または処理物を収容した被搬送物の搬送が行われる処理設備において、
前記複数の工程室に対する被搬送物の搬入出を行うための開閉自在な搬入出口が形成された搬入出面を各々含み、互いに対向する壁部に挟まれた空間により構成された搬送室と、
前記搬入出面に沿って搬送室内を移動し、被搬送物の搬送及び、前記搬入出口を介して各工程室に対する被搬送物の搬入出を行う搬送機構を備えたスタッカークレーンと、を備え、
前記スタッカークレーンは、
前記搬送機構を収容した状態で搬送室内を移動し、前記互いに対向する壁部の搬入出面と対向する第1の開口及び第2の開口を有する筐体部と、
前記第1の開口または第2の開口と前記各搬入出面との間に配置され、これらの各開口と接続された伸縮自在な筒状の伸縮部を介して前記筐体部に連結されると共に、当該各開口と前記各工程室の搬入出口とを連通させるための連通口が各々形成された第1の連結部及び第2の連結部と、
前記搬入出面に対向する各連通口の周囲に設けられ、搬入出口の周囲の壁部に密着させて前記筐体部内の空間を搬送室から区画するための密着部と、
前記密着部を搬入出口の周囲の壁部に密着させて筐体部内の空間を工程室に連通させる連通位置と、前記連通位置から後退した後退位置との間で、前記第1、第2の連結部を各々移動させる駆動機構と、
前記第1、第2の連結部の各々に設けられ、前記連通口と、搬入出面との間を遮る閉状態と、連結部と搬入出面との間から退避した開状態との間で開閉自在なシャッターと、
前記第1、第2の連結部の一方の連結部を連通位置に移動させ、筐体部内の空間を当該一方の連結部側の工程室に連通させると共に、残る他方の連結部側のシャッターを閉状態としたとき、前記筐体部内の空間を搬送室から区画するための区画部材と、を備えたことを特徴とする処理設備。 - 前記区画部材は、前記他方の連結部であり、当該他方の連結部に設けられた密着部を閉状態のシャッターに密着させて筐体部内の空間を搬送室から区画することを特徴とする請求項1に記載の処理設備。
- 前記密着部は、前記連結部に対して上下方向に相対的に移動自在に設けられ、前記壁部に密着部を密着させた状態で前記筐体部を上下方向に移動させたとき、当該密着部が設けられた連結部が筐体部と共に移動することにより、筐体部内の空間を搬送室から区画した状態が維持されることを特徴とする請求項1または2に記載の処理設備。
- 前記密着部は、当該密着部を予め設定された高さ位置に保持し、上下方向に伸縮自在なばね部材、及び前記ばね部材の力を受けて移動する密着部の移動速度を制限するダッシュポットを介して連結部に設けられていることを特徴とする請求項3に記載の処理設備。
- 前記搬送室内の圧力は、各工程室内の圧力よりも高い圧力に調節されていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一つに記載の処理設備。
- 被処理物に対する処理を行って処理物を得る複数の工程室と、前記複数の工程室に対し、前記被処理物または処理物を収容した被搬送物の搬入出を行うための開閉自在な搬入出口が形成された搬入出面を各々含み、互いに対向する壁部に挟まれた空間により構成された搬送室と、を備えた処理設備に設けられ、前記工程室への前記被搬送物の搬送を行うスタッカークレーンであって、
前記搬入出面に沿って搬送室内を移動し、被搬送物の搬送及び、前記搬入出口を介して各工程室に対する被搬送物の搬入出を行う搬送機構と、
前記搬送機構を収容した状態で搬送室内を移動し、前記互いに対向する壁部の各搬入出面と対向する第1の開口及び第2の開口を有する筐体部と、
前記第1の開口または第2の開口と前記各搬入出面との間に配置され、これらの開口と接続された伸縮自在な筒状の伸縮部を介して前記筐体部に連結されると共に、当該各開口と前記各工程室の搬入出口とを連通させるための連通口が各々形成された第1の連結部及び第2の連結部と、
前記搬入出面に対向する各連通口の周囲に設けられ、搬入出口の周囲の壁部に密着させて前記筐体部内の空間を搬送室から区画するための密着部と、
前記密着部を搬入出口の周囲の壁部に密着させて筐体部内の空間を工程室に連通させる連通位置と、前記連通位置から後退した後退位置との間で、前記第1、第2の連結部を各々移動させる駆動機構と、
前記第1、第2の連結部の各々に設けられ、前記連通口と、搬入出面との間を遮る閉状態と、連結部と搬入出面との間から退避した開状態との間で開閉自在なシャッターと、
前記第1、第2の連結部の一方の連結部を連通位置に移動させ、筐体部内の空間を当該一方の連結部側の工程室に連通させると共に、残る他方の連結部側のシャッターを閉状態としたとき、前記筐体部内の空間を搬送室から区画するための区画部材と、を備えたことを特徴とするスタッカークレーン。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015222015 | 2015-11-12 | ||
JP2015222015 | 2015-11-12 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017095279A JP2017095279A (ja) | 2017-06-01 |
JP6581537B2 true JP6581537B2 (ja) | 2019-09-25 |
Family
ID=58817653
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016078957A Active JP6581537B2 (ja) | 2015-11-12 | 2016-04-11 | 処理設備及びスタッカークレーン |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6581537B2 (ja) |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0231496Y2 (ja) * | 1985-12-26 | 1990-08-24 | ||
JPH0772013B2 (ja) * | 1989-11-15 | 1995-08-02 | 三機工業株式会社 | クリーンチューブ搬送装置 |
FR2732672B1 (fr) * | 1995-04-07 | 1997-06-27 | Elveco Msj Sa | Installation de transport de conteneurs pour produits s'ecoulant par gravite |
JP3852570B2 (ja) * | 2001-10-26 | 2006-11-29 | 石川島播磨重工業株式会社 | クリーンルーム装置 |
JP2008050141A (ja) * | 2006-08-25 | 2008-03-06 | Jgc Corp | 塵埃除去機能付きスタッカークレーン |
JP4706938B2 (ja) * | 2008-11-21 | 2011-06-22 | 村田機械株式会社 | クリーンルーム用の自動倉庫と自動倉庫での物品の保管方法 |
-
2016
- 2016-04-11 JP JP2016078957A patent/JP6581537B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017095279A (ja) | 2017-06-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI651250B (zh) | 樓層間搬送設備 | |
US20160279629A1 (en) | Storage Facility for Semiconductor Containers | |
TWI610866B (zh) | 物品保管設備 | |
JP2015193187A (ja) | 3次元積層造形装置及び3次元積層造形方法 | |
TWI588073B (zh) | 在天花板上存儲和處理物品的裝置 | |
JP2016144537A (ja) | 薬液調製システム及び薬液調製方法 | |
WO2011158308A1 (ja) | 処理設備 | |
CN110249419B (zh) | 储存库 | |
JP6581537B2 (ja) | 処理設備及びスタッカークレーン | |
JP5058899B2 (ja) | 生産システム用の設備及びこの設備を備えた生産工場 | |
JP2008050141A (ja) | 塵埃除去機能付きスタッカークレーン | |
WO2012001973A1 (ja) | 処理設備 | |
TWI829832B (zh) | 物品保管設備 | |
TWI746835B (zh) | 裝載倉儲系統以及用於在裝載倉儲系統內移動標準化容器的方法 | |
JPH0231496Y2 (ja) | ||
TWI741028B (zh) | 物品搬送設備 | |
JP4630386B1 (ja) | 処理設備 | |
JP4578572B1 (ja) | 処理設備 | |
JP2012001344A (ja) | 処理設備 | |
JP5277572B2 (ja) | 板状物の保管移送システムおよび板状物の保管移送方法 | |
JP4708472B2 (ja) | 処理設備 | |
JP5728600B2 (ja) | 構造体 | |
JP4723011B2 (ja) | 処理設備 | |
JP5579017B2 (ja) | 生産設備、および生産方法 | |
JP2011178559A (ja) | 処理設備 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160419 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20180206 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180926 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190716 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190813 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190830 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6581537 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |