JPS63230489A - クリ−ンル−ム用昇降装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は複数階に配置されたクリーンルーム間を移動す
るのに好適なりリーンルーム用昇降装置に関する。

〔従来の技術〕

従来のクリーンルームと昇降装置を第３図によつて説明
する。１はクリーンルームで２はフィルター付の送風機
、３は排気装置を兼ねた床、１３゜１４はクリーンルー
ムｌに設けられた第１出入口扉および第２出入口、１５
は第１出入口扉１３と第２出入口扉１４とで仕法られた
スペース内にエアーシャワーを吹きつけるためのフィル
ター付送風機、４はシリンダー６とプランジャー７によ
って昇降路５内を昇降する昇降機、１１は昇降機の扉で
１２は昇降機の乗場側扉を示す。

以上のように構成された従来のクリーンルームとそれに
隣接する昇降機において、クリーンルーム１内の気圧Ｐ
ｃと出入口扉１３．１４で囲まれたスペース内の気圧Ｐ
ｒが大気圧Ｐａより高くなるように送風機２，１５を調
節して矢印のような空気の流れを作って外部からのゴミ
の流入を防いでいた。そのため他階のクリーンルームへ
大または物が移動する場合には厳重な梱包をしてクリー
ンルーム１の外に出て、昇降機４によって移動する。そ
して再度クリーンルーム↓に入る場合には出入口扉１３
を開けて入り、出入口扉１３が閉まつた後エアーシャワ
ーによってゴミを落とし、その後出入口扉１４を開けて
ようやくクリーンルーム１に入ることができる。

クリーンルーム用搬送装置の従来例は、特開昭６０−１
６５４４６号にみられる。この従来例には、荷役用搬送
路をゲートで遮断しブロワによりクリーンルーム内の清
浄な空気を搬送路内に導く方法が開示されているが、搬
送路内の圧力差を検知する手段を有せず、搬送路内から
塵埃を含んだ空気が逆流していないことを確認できない
。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記従来例では、他階へのクリーンルームに移動する場
合、−慶大気圧中に出るため梱包やエアシャワー等の手
間が移動のたびに発生し、次工程が他階になっている工
場では効率が悪くゴミの多い空気に触れるために品質の
低下も考えられる。

本発明の目的は、クリーンルーム内の気圧とクリーンル
ームに隣接された昇降機および昇降路内の気圧と大気圧
との関係を制御することによって、他階のクリーンルー
ムへの移動が昇降装置によつて容易に行えるようにする
こと、また、圧力が所定の関係になったときのみ昇降装
置、クリーンルーム内にドアの開閉が可能となるように
して、物品及びクリーンルームの汚染を防止することに
ある。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的は、クリーンルーム内の気圧Ｐｃとクリーンル
ームに隣接された昇降装置の昇降機内の気圧Ｐｅと昇降
路内の気圧Ｐｓそして大気圧との関係を Ｐｃ≧Ｐ　ｅ　＞　Ｐ　ｓ　＞　Ｐ　ａｌこ保持するこ
と。その制御手段として、それぞれの圧力を検知する手
段と、それらから得られる圧力値を演算比較し、クリー
ンルーム、昇降機、昇各路に送風を行なう送風機のパワ
ーを制御する制御手段を設けることによって圧力差を維
持する。

圧力差が上記関係を満たす場合のみ制御手段からの命令
を通して、クリーンルーム内の昇降機用ドアの開閉を可
能とすることにより達成される。

Ｃ作用〕 クリーンルーム内の気圧Ｐｃ　と、クリーンルームに隣
接された昇降装置の昇降機内の気圧Ｐｅと、昇降路内の
気圧Ｐｓ、そして大気圧Ｐａとの関係を Ｐｃ　　≧Ｐ　ｅ　　＞　Ｐ　ｓ　　＞　Ｐ　ａとする
ことによって、クリーンルーム内には外部からのゴミの
多い空気は入ってこない。他階へ移動するのに用いる昇
降機内にもクリーンルームからのきれいな空気は入って
くるが、それ以外のゴミの多い昇降路からの空気は入っ
てこない。昇降路についても大気圧より高いためゴミの
多い空気が次々と入ってくることはない。そのため他階
のクリーンルームへ昇降装置を使って移動する場合に梱
包やエアーシャワーを浴びる等の手間を省くことができ
る。物品の出入れは、上記圧力差のある場合のみドアの
開閉が可能となるので塵埃による汚染の危険がない。

〔実施例〕

以下本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。

第１図は本発明のクリーンルーム用昇降装置の一実施例
を示すもので、クリーンルーム１にはフィルター付の送
風機２と、排気装置を兼ねた床３とが設けられ、ゴミの
少ないきれいな空気が矢印のように循環している６昇降
機４は昇降路５内をシリンダー６及びプランジャー７に
よって上下に移動昇降する。昇降路５にはフィルター付
送風機８と排気装置（図示せず）とが設けられており昇
降路５内の空気を循環している。昇降機４にもフィルタ
ー付送風機９を設け、昇降機４の周壁４ａの下部から排
気することによって昇降機４内の空気を循環している。

また昇降装置の出入口近くにはフィルター付のエアーカ
ーテン１０を設けて、昇降機のｓｌｌ及びクリーンルー
ム＃扉１２が開いた時に昇降路側からのゴミがクリーン
ルーム１内に入らないようにする。圧力検出手段１１−
ａ。

−ｓ、−８，−ｃがクリーンルームの外、昇降路５、昇
降機４．クリーンルーム１内に設けられ、測定値は、第
２図の制御装置１３に送られる。制御装置１３は、クリ
ーンルーム側扉１２と装態機２．８，９．１０を制御す
るためそれぞれに接続される。

以上のように構成されたクリーンルームに隣接した昇降
装置において、圧力検出手段１１の測定値をもとに制御
手段１３を通して送風機２，８゜９．１０をパワー制御
運転し、クリーンルーム内１の気圧Ｐｃと昇降機４内の
気圧Ｐ６と昇降路５内の気圧Ｐｓ及び大気圧Ｐ＆との関
係を次式のようにする。

Ｐｃ≧Ｐ　ｅ　＞　Ｐ　ｓ　＞　Ｐ　ａ　　　・・・（
１）（１）式の関係のもとでは、クリーンルーム内の清
浄な空気が昇降機４．昇降路５へと流出するので物品、
クリーンルームを汚染することがない。

また（１）式を満たす場合のみに扉１２の開閉を可能と
することで、送風機の不調などに基づく誤動作を防止す
ることができる。また、扉を開けて物品を出入れする際
に（１）式を満たさないような状態になった場合には、
扉１２を自動的に閉じ、汚染防止の動作をとらせること
もできる。

〔発明の効果〕

ゴミの多い空気がクリーンルーム内やクリーンルームに
隣接された昇降機内へ流れ込まないため、梱包やエアー
シャワー無しで他階にあるクリーンルームへの移動が昇
降機を使って容易に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は本発明の一実施例を示し、第１図は
クリーンルームとそれに隣接する昇降装置の概略図、第
２図はその制御装置の説明図、第３図は従来例を示す第
１図相当図である。 １・・・クリーンルーム、４・・・昇降機、５・・・昇
降路、２．８，９，１０．１５・・・送風機。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、複数階に配置されたクリーンルームに隣接してクリ
   ーンルーム間を移動する昇降装置において、クリーンル
   ーム内気圧Ｐ＿ｃと昇降機内の気圧Ｐ＿ｅと昇降路内の
   気圧Ｐ＿ｓおよび大気圧Ｐ＿ａを検知する手段と、それ
   らの圧力の関係をＰ＿ｃ≧Ｐ＿ｅ＞Ｐ＿ｓ＞Ｐ＿ａとな
   る様に制御する手段を有し、圧力が前記関係を満たす場
   合にのみクリーンルーム側のドアの開閉を可能とするこ
   とを特徴とするクリーンルーム用昇降装置。