JPS6341410Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は、清浄環境を維持して垂直搬送を可
能とした気密垂直搬送装置に関する。

〔従来の技術〕

一般に、IC等の製造工場などにおいて、クリ
ーンルーム等の極めて清浄な雰囲気を必要とする
部屋を立体的に配置する場合があるが、この際、
製品の垂直方向の搬送用装置として、エレベータ
や電動ダムウエータ、リフト等が、通常、使用さ
れている。

従来、この場合、搬送物収納スペースをケージ
状に覆い、その上部にフアン内蔵の高性能空気清
浄装置、いわゆるクリーンユニツトを設置し、か
ごの内部をクリーンルームとして極めて清浄な雰
囲気に保つ方策が行われている。

〔考案が解決しようとする問題点〕

この方策によれば、ある程度の清浄度を保つこ
とは可能であるが、かごが昇降する部分の上下に
貫通する昇降路空間は、普通、空調管理は行われ
ず、実際に狭い範囲内をかごがピストン状に上下
移動することから昇降路内の雰囲気を清浄に保持
することはむずかしい。

更に、この昇降路内には、かごを支持するワイ
ヤロープやガイドレール及びローラ等が配設され
ており、それらの動作による粉塵の発生は避けら
れないので、雰囲気としては著しく悪い状態にあ
る。したがつて、通常の構造では、搬送物の乗せ
おろしに際し、かごの扉の開閉が行われ、昇降路
内とかごの出し入れ口との隙間からの空気の流通
が生じて、かご内及び接続するクリーンルーム内
への空気の流入により、両者の雰囲気が汚染され
るという問題点がある。

〔問題点を解決するための手段〕

この考案は、叙上の問題点に鑑みてなされたも
ので、垂直搬送用のエレベータ、電動ダムウエー
タ、又はリフト等の搬送物収納空間であるかごの
出し入れ口外方に、相手方の各階出入口部に密着
できる伸縮機能を有する蛇腹枠を設けた移動枠を
昇降移動かご本体に、前後方向へ往復動可能に覆
設し、かつ、該移動枠の後面でもかご本体との間
を蛇腹で覆い、さらにかご扉の開閉装置を移動枠
に設置して密封かごを構成し、昇降路に組み込ん
で気密垂直搬送装置として、例えば、公知の全自
動押しボタン相互階操作方式の自動昇降装置に連
動して所望の動作を行なえるようにしたものであ
る。

〔作用〕

搬送物の乗せおろしに際しては、密封かごが、
所定位置に停止すると、自動昇降装置に連動して
まず、移動枠が前進して蛇腹枠を相手方の出入口
部分に密着させるとともに、かご扉のかご本体へ
の圧着を解くので、該かご扉の開閉装置を動作し
て該扉を開き、続いてクリーンルーム側の扉を開
いて、乗せおろしの作業を行う。作業が終了した
ならば、該扉を閉めた後、自動昇降装置の操作ボ
タンを押すことによつて、まず、かご扉が閉鎖さ
れ、続いて移動枠が後退して蛇腹枠は密着を解
き、かつ、かご扉をかご本体に圧接して出し入れ
口を密封して原状に復帰してから密封かごは指示
された階へ上昇、又は下降して移動する。

〔実施例〕

以下、この考案の一実施例を図面に基づいて説
明する。

第１図は、この考案の密封かご１の側面図であ
る。２はかご本体、３は、該本体２の前面に開口
した搬送物の出し入れ口（第２図参照）、４は、
該出し入れ口３にパツキン５を介して密着し閉鎖
可能なかご扉、６は、かご本体２の前部外周に覆
設された移動枠で、上半部に出し入れ口３とほぼ
同形同大の搬送物の出入口６ａが貫通形成されて
おり、下半部は扉袋部６ｂとなつている。なお、
移動枠６は、かご本体２の上、下面に設けられた
複数個の支持案内具２Ｓにより支持されるととも
に、前後方向へ往復動可能になつている。そして
クリーンルームＲ側の出入口R₁の外周部分に密
着する蛇腹枠７は、移動枠６の出入口６ａの外周
に後端面を固着された蛇腹７ｊと、該蛇腹７ｊの
前端面を個着した密着枠７ｗと、該枠７ｗを付勢
するように移動枠６に取り付けられた複数個の付
勢具７ｆとからなつている。なお、付勢具７ｆ
は、移動枠６の側面に固定された軸受７ｓ１に摺
動可能に嵌挿された支持軸７ｓ２に挿入されたコ
イルばね７ｓ３により、密着枠７ｗを一定範囲内
においてクリーンルームＲ側へ常に付勢してい
る。また、移動枠６を同期して往復動させる移動
枠移動用電動シリンダ８がかご本体２の上下面に
それぞれ設置してある。更に移動枠６の後面に
は、かご本体２の外周面との間に蛇腹９が取り付
けられ、移動枠６後面の気密を保持するようにな
つている。

かご扉４の扉開閉装置１０は、駆動機構１１と
扉昇降機構１２とからなる。駆動機構１１におい
ては、移動枠６の上面に設置された駆動モータ１
１Ｍからの駆動力は、駆動チエーン及びスプロケ
ツト１１ｃを介して横設された伝達軸１１ｄを回
転させ、該軸１１ｄの両端に設けたかさ歯車１１
ｋを介して移動枠６の両側壁内面に付設した軸受
１１ｂに軸支されたねじ棒１１ｎを回転させ、か
ご扉４の上部側面にあり、該ねじ棒１１ｎに螺合
しためねじ金具１１ｍによりかご扉４を昇降させ
る。扉昇降機構１２は、かご扉４の両側面上下部
に付設した縦ガイドローラ１２ｔ、横ガイドロー
ラ１２ｙを、移動枠６の側壁内面に縦設した断面
Ｕ字型のガイドレール１２ｇ（第４図参照）に案
内させてかご扉４を昇降させるものである。

なお、第１図及び第３図に示すように、Ｔは、
昇降路塔、Ｓは昇降路、Ｗは、密封かご１を吊り
下げるワイヤロープ、Ｃは、該かご１に釣合うカ
ウンタウエイト、R₂は、クリーンルームＲの搬
送物用出入口R₁の扉、R₃は扉袋である。

叙上の構成となつているので、密封かご１が所
望階のクリーンルームＲに対する所定位置に停止
すると移動枠移動用電動シリンダ８が動作して移
動枠６をクリーンルームＲの方へ前進させて定位
置で止めるので、蛇腹枠７の密着枠７ｗは、該ル
ームＲの出入口R₁外周部にコイルばね７ｓ３の
弾力により圧接し、密封通路を形成する。次に、
駆動モータ１１Ｍが起動し、ねじ棒１１ｎを回転
して、移動枠６の前進によりかご本体２への圧着
を解かれたかご扉４を扉袋６ｂの所定位置まで降
下させ、かご本体１の出し入れ口３を全開とす
る。したがつて、該かご本体１とクリーンルーム
Ｒとは、出入口R₁の扉R₂を扉袋R₃内へ降下させ
て連通させても昇降路Ｓとは隔絶された密封通路
を介することになるため、両者１、Ｒとも清浄な
雰囲気を害されることなく搬送物の出し入れ作業
が実施できる。なお、作業後の復旧に際しても、
清浄な密封状態において、かご扉４及び出入口
R₁の扉R₂でそれぞれかご本体１及びクリーンル
ームＲを閉鎖するため、清浄度がそのまま維持さ
れる。

なお、扉開閉装置１０については、本実施例で
は、駆動モータ１１Ｍによりねじ棒１１ｎを回転
させてかご扉４の開閉を行うようにしたが、アク
チユエータが駆動チエンを直接かご扉４に接続し
て昇降駆動する方策を用いてもよい。

〔考案の効果〕

以上説明してきたように、この考案は、前面に
密着して出し入れ口を閉鎖するかご扉を具備した
垂直搬送用のかご本体と、上半部には前記扉に対
向して出入口を、下半部には該扉の扉袋をそれぞ
れ形成し、かつ、前記かご本体に固定された複数
個の支持案内具に支持されるとともに、移動枠移
動用電動シリンダによつて前後方向へ往復動可能
に、かご本体の前部外周に覆設された移動枠と、
該移動枠に設置された扉開閉装置と、移動枠上半
部の後面とかご本体の外周とを気密に連結する蛇
腹と、移動枠の上半部前面に出入口を囲んで付設
され、かつ、弾性体を有する複数の付勢具により
付勢されている蛇腹枠とで密封かごを構成し、昇
降路塔の自動昇降装置に連動してクリーンルーム
との間に密封通路を形成できるようにしたため、
常に清浄さを要望される搬送物の上下階間の搬送
において、乗せおろしに際しても、雰囲気の悪い
昇降路内の空間から隔絶した密封通路内において
作業を行ない得るので、前記搬送物が悪い雰囲気
に接することなく、しかも密封状態において、密
封かご及びクリーンルームのそれぞれの扉を閉鎖
するので、従来のような乗せおろし作業に伴う該
かご内及びルーム内の清浄度低下の現象は皆無と
なるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この考案の要部を示す側面図、第２
図は、密封かごの正面図、第３図は、この考案の
概要説明横断面図、第４図は、移動枠の要部を示
す説明平面図である。 Ｒ……クリーンルーム、R₁……出入口、１…
…密封かご、２……かご本体、４……かご扉、６
……移動枠、７……蛇腹枠、９……蛇腹、１０…
…扉開閉装置、１１……駆動機構、１２……扉昇
降機構。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. エレベータ、電動ダムウエータ、リフト等の垂
   直搬送装置において、昇降移動するかご本体と各
   階クリーンルームの出入口部との間に、密封通路
   を形成するための蛇腹枠を前面に、一方、前記か
   ご本体との間の気密を保つための蛇腹を後面にそ
   れぞれ具備し、かつ、往復動可能にかご本体に覆
   設した移動枠に、かご扉の扉開閉装置を設置して
   構成した密封かごを設けたことを特徴とする気密
   垂直搬送装置。