JP3119551B2 - クリーンルームにおける垂直搬送装置 - Google Patents
クリーンルームにおける垂直搬送装置Info
- Publication number
- JP3119551B2 JP3119551B2 JP31862793A JP31862793A JP3119551B2 JP 3119551 B2 JP3119551 B2 JP 3119551B2 JP 31862793 A JP31862793 A JP 31862793A JP 31862793 A JP31862793 A JP 31862793A JP 3119551 B2 JP3119551 B2 JP 3119551B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- door
- fire
- clean room
- opening
- clean
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Ventilation (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はクリーンルームにおける
垂直搬送装置に関し、特に半導体等を生産する工場のク
リーンルーム内の上下階間で製品の垂直搬送を行なう装
置に関する。
垂直搬送装置に関し、特に半導体等を生産する工場のク
リーンルーム内の上下階間で製品の垂直搬送を行なう装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の垂直搬送装置は、図４の
縦断面図に示すように防火壁５に囲まれた垂直シャフト
７と、製品を載せるクリーンキャレッジ３と、クリーン
キャレッジ３を上階２５ａまたは下階２５ｂに搬送する
リフター４と、上階と下階のそれぞれの防火壁５に設け
られクリーンルームとの間で製品の受け渡しを行なう受
け渡し開口部８ａ、８ｂと、開口部を通してクリーンキ
ャレッジ３との間で製品の受け渡しを行なう受け渡しコ
ンベヤ６ａ、６ｂにより構成されている。また、クリー
ンルームの上階２５ａ、下階２５ｂはそれぞれ天井部
９、床部１０から構成されている。
縦断面図に示すように防火壁５に囲まれた垂直シャフト
７と、製品を載せるクリーンキャレッジ３と、クリーン
キャレッジ３を上階２５ａまたは下階２５ｂに搬送する
リフター４と、上階と下階のそれぞれの防火壁５に設け
られクリーンルームとの間で製品の受け渡しを行なう受
け渡し開口部８ａ、８ｂと、開口部を通してクリーンキ
ャレッジ３との間で製品の受け渡しを行なう受け渡しコ
ンベヤ６ａ、６ｂにより構成されている。また、クリー
ンルームの上階２５ａ、下階２５ｂはそれぞれ天井部
９、床部１０から構成されている。
【０００３】また、クリーンルームと垂直シャフト７と
の受け渡し開口部８ａ、８ｂには、（１）防火安全上の
ため防火分離が必要であること、（２）クリーンルーム
の気流を乱さないために垂直シャフト７との分離が必要
であることの２点を満たすために、防火規格に合った左
右に可動する防火扉１ａ、１ｂが設けられている。
の受け渡し開口部８ａ、８ｂには、（１）防火安全上の
ため防火分離が必要であること、（２）クリーンルーム
の気流を乱さないために垂直シャフト７との分離が必要
であることの２点を満たすために、防火規格に合った左
右に可動する防火扉１ａ、１ｂが設けられている。
【０００４】次に、従来装置の動作について説明する。
図４において、上階２５ａ行きの製品が下階２５ｂの下
側受け渡しコンベヤ６ｂに載ると、リフター４はクリー
ンキャレッジ３を下側受け渡し開口部８ｂに移動させ
る。クリーンキャレッジ３が到着すると下側防火扉１ｂ
が開き、製品はクリーンキャレッジ３へ移載される。移
載が完了すると下側防火扉１ｂは閉じ、リフター４はク
リーンキャレッジ３を上階２５ａへ移動させる。クリー
ンキャレッジ３が到着すると上側防火扉１ａは開き、製
品は上側受け渡しコンベヤ６ａへ移載される。移載が完
了すると上側防火扉１ａは閉じる。
図４において、上階２５ａ行きの製品が下階２５ｂの下
側受け渡しコンベヤ６ｂに載ると、リフター４はクリー
ンキャレッジ３を下側受け渡し開口部８ｂに移動させ
る。クリーンキャレッジ３が到着すると下側防火扉１ｂ
が開き、製品はクリーンキャレッジ３へ移載される。移
載が完了すると下側防火扉１ｂは閉じ、リフター４はク
リーンキャレッジ３を上階２５ａへ移動させる。クリー
ンキャレッジ３が到着すると上側防火扉１ａは開き、製
品は上側受け渡しコンベヤ６ａへ移載される。移載が完
了すると上側防火扉１ａは閉じる。
【０００５】図５は防火扉１ａ、１ｂの構造を示す正面
図である。取付けフレーム１７の上下に平行にガイドレ
ール１９を設け、このガイドレール１９に沿って防火開
閉扉２４がガイドローラー２２を介して左右にスライド
し、一端にストッパー２３を設ける。防火開閉扉２４の
駆動はピニオンギヤ２０の回転をラックギヤ２１の往復
運動に変えることにより行なっている。
図である。取付けフレーム１７の上下に平行にガイドレ
ール１９を設け、このガイドレール１９に沿って防火開
閉扉２４がガイドローラー２２を介して左右にスライド
し、一端にストッパー２３を設ける。防火開閉扉２４の
駆動はピニオンギヤ２０の回転をラックギヤ２１の往復
運動に変えることにより行なっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】この従来の垂直搬送装
置は、製品受け渡し開口部において開閉する扉の防火規
格を満足しているとはいうものの、気流の巻き込み等に
よるごみ発生を防止するためのクリーン対策は施されて
いない。さらに扉本体が重く、製品受け渡しの度に開閉
しなければならないことから摩耗等による発塵を抑える
ことが困難であった。
置は、製品受け渡し開口部において開閉する扉の防火規
格を満足しているとはいうものの、気流の巻き込み等に
よるごみ発生を防止するためのクリーン対策は施されて
いない。さらに扉本体が重く、製品受け渡しの度に開閉
しなければならないことから摩耗等による発塵を抑える
ことが困難であった。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のクリーンルーム
における垂直搬送装置は、垂直シャフトの製品受け渡し
開口部に、常時は開で非常時にのみ閉にする防火扉と、
製品受け渡し時に開閉する自動扉とを備えている。
における垂直搬送装置は、垂直シャフトの製品受け渡し
開口部に、常時は開で非常時にのみ閉にする防火扉と、
製品受け渡し時に開閉する自動扉とを備えている。
【０００８】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。図１は本発明の垂直搬送装置の一実施例を示す断面
図である。図１において、受け渡し開口部８ａ、８ｂの
クリーンルーム側に防火扉１ａ、１ｂを取り付け、また
垂直シャフト７側に自動扉２ａ、２ｂを取り付ける。防
火扉１ａ、１ｂは常時開にしておき火災発生などの非常
時にのみ閉じるようにし、一方、自動扉２ａ、２ｂは常
時閉で製品受け渡し時にのみ開閉する。
る。図１は本発明の垂直搬送装置の一実施例を示す断面
図である。図１において、受け渡し開口部８ａ、８ｂの
クリーンルーム側に防火扉１ａ、１ｂを取り付け、また
垂直シャフト７側に自動扉２ａ、２ｂを取り付ける。防
火扉１ａ、１ｂは常時開にしておき火災発生などの非常
時にのみ閉じるようにし、一方、自動扉２ａ、２ｂは常
時閉で製品受け渡し時にのみ開閉する。
【０００９】次に本実施例の動作について説明する。他
階行きの製品、例えば下階２５ｂから上階２５ａへ搬送
される製品が受け渡しコンベヤ６ｂに載ると、リフター
４はクリーンキャレッジ３を下階まで移動させる。クリ
ーンキャレッジ３が到着すると自動扉２ｂは開き、製品
はクリーンキャレッジ３の中へ移載される。移載が完了
すると自動扉２ｂは閉じ、リフター４はクリーンキャレ
ッジ３を上階へ移動させる。クリーンキャレッジ３が上
階へ到着すると自動扉２ａは開き、製品は受け渡しコン
ベヤ６ａへ移載される。移載が完了すると自動扉２ａは
閉じる。以上の実施例はクリーンルームが２階の場合に
ついて述べてきたが、多層階の場合も同様である。
階行きの製品、例えば下階２５ｂから上階２５ａへ搬送
される製品が受け渡しコンベヤ６ｂに載ると、リフター
４はクリーンキャレッジ３を下階まで移動させる。クリ
ーンキャレッジ３が到着すると自動扉２ｂは開き、製品
はクリーンキャレッジ３の中へ移載される。移載が完了
すると自動扉２ｂは閉じ、リフター４はクリーンキャレ
ッジ３を上階へ移動させる。クリーンキャレッジ３が上
階へ到着すると自動扉２ａは開き、製品は受け渡しコン
ベヤ６ａへ移載される。移載が完了すると自動扉２ａは
閉じる。以上の実施例はクリーンルームが２階の場合に
ついて述べてきたが、多層階の場合も同様である。
【００１０】図２は本発明の一実施例における受け渡し
開口部の斜視図である。防火扉１ａ（１ｂ）と自動扉２
ａ（２ｂ）はその間に垂直シャフトの防火壁（図示せ
ず）を介して二重構造となっている。また、図３は本発
明の一実施例における自動扉の正面図である。取付けフ
レーム１７の上部にスライドパック１１を、また下部に
ＬＭガイド１３をそれぞれ平行になるように設け、自動
開閉扉１６はＬＭガイド１３に案内されスペーサ１２に
支持されて左右にスライドする。自動開閉扉１６の駆動
は、モーター部１８によりプーリー１５を介してタイミ
ングベルト１４を回転させ、タイミングベルト１４に取
り付けられている扉を移動させる。
開口部の斜視図である。防火扉１ａ（１ｂ）と自動扉２
ａ（２ｂ）はその間に垂直シャフトの防火壁（図示せ
ず）を介して二重構造となっている。また、図３は本発
明の一実施例における自動扉の正面図である。取付けフ
レーム１７の上部にスライドパック１１を、また下部に
ＬＭガイド１３をそれぞれ平行になるように設け、自動
開閉扉１６はＬＭガイド１３に案内されスペーサ１２に
支持されて左右にスライドする。自動開閉扉１６の駆動
は、モーター部１８によりプーリー１５を介してタイミ
ングベルト１４を回転させ、タイミングベルト１４に取
り付けられている扉を移動させる。
【００１１】本実施例によれば、自動扉は防火扉のよう
に防火規格を満たす必要がないので、重量も軽くさらに
開閉機構も簡素化することができる。また、図６のグラ
フは従来の防火扉と本発明における自動扉との開閉動作
時の発塵量を比較したものである。図のように自動扉は
防火扉に比べてごみの発生がはるかに少ないことがわか
る。
に防火規格を満たす必要がないので、重量も軽くさらに
開閉機構も簡素化することができる。また、図６のグラ
フは従来の防火扉と本発明における自動扉との開閉動作
時の発塵量を比較したものである。図のように自動扉は
防火扉に比べてごみの発生がはるかに少ないことがわか
る。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、クリーン
ルームにおける垂直搬送装置の製品受け渡し開口部に、
非常時にのみ閉じ常時は開いている防火扉と製品受け渡
し時に開閉する自動扉とを二重に設け併用するようにし
たので、扉の構造を防火を考慮しなくてもよい開閉動作
の容易な自動扉とすることができ、ごみの発生を抑える
ことができる。
ルームにおける垂直搬送装置の製品受け渡し開口部に、
非常時にのみ閉じ常時は開いている防火扉と製品受け渡
し時に開閉する自動扉とを二重に設け併用するようにし
たので、扉の構造を防火を考慮しなくてもよい開閉動作
の容易な自動扉とすることができ、ごみの発生を抑える
ことができる。
【図１】本発明の一実施例を示す縦断面図である。
【図２】本発明の一実施例における受け渡し開口部を示
す斜視図である。
す斜視図である。
【図３】本発明の一実施例における自動扉を示す正面図
である。
である。
【図４】従来のクリーンルームにおける垂直搬送装置の
縦断面図である。
縦断面図である。
【図５】防火扉の構造を示す正面図である。
【図６】防火扉と自動扉との発塵量を比較するグラフで
ある。
ある。
１ａ、１ｂ 防火扉 ２ａ、２ｂ 自動扉 ３ クリーンキャレッジ ４ リフター ５ 防火壁 ６ａ、６ｂ 受け渡しコンベヤ ７ 垂直シャフト ８ａ、８ｂ 受け渡し開口部 ９ 天井部 １０ 床部 １１ スライドパック １２ スペーサ １３ ＬＭガイド １４ タイミングベルト １５ プーリー １６ 自動開閉扉 １７ 取付けフレーム １８ モーター部 １９ ガイドレール ２０ ピニオンギヤ ２１ ラックギヤ ２２ ガイドローラー ２３ ストッパー ２４ 防火開閉扉 ２５ａ、２５ｂ 階
Claims (1)
- 【請求項１】 クリーンルーム内の上下階間を防火壁に
より垂直に仕切る垂直シャフトと、この垂直シャフト内
を上下に製品を搬送する搬送機構と、垂直シャフトの防
火壁に設けたクリーンルームとの製品受け渡しの開口部
と、この開口部を開閉する防火扉とを備えたクリーンル
ームにおける垂直搬送装置において、前記開口部に設け
た防火扉に自動扉を重ね合わせて二重扉構造とし、常時
は防火扉を開とし製品の受け渡しは自動扉の開閉により
行なうことを特徴とするクリーンルームにおける垂直搬
送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31862793A JP3119551B2 (ja) | 1993-12-17 | 1993-12-17 | クリーンルームにおける垂直搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31862793A JP3119551B2 (ja) | 1993-12-17 | 1993-12-17 | クリーンルームにおける垂直搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07176587A JPH07176587A (ja) | 1995-07-14 |
| JP3119551B2 true JP3119551B2 (ja) | 2000-12-25 |
Family
ID=18101251
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31862793A Expired - Fee Related JP3119551B2 (ja) | 1993-12-17 | 1993-12-17 | クリーンルームにおける垂直搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3119551B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007022677A (ja) * | 2005-07-12 | 2007-02-01 | Asyst Shinko Inc | ストッカ装置 |
| JP5093586B2 (ja) * | 2007-12-04 | 2012-12-12 | 株式会社ダイフク | 搬送設備 |
| JP2010255912A (ja) * | 2009-04-23 | 2010-11-11 | Tosho Inc | 調剤用クリーンルームユニット |
| JP6252547B2 (ja) * | 2015-05-21 | 2017-12-27 | 株式会社ダイフク | 防火扉 |
| JP6890473B2 (ja) | 2017-05-31 | 2021-06-18 | 株式会社ダイフク | スライド式防火扉 |
| JP7222384B2 (ja) * | 2020-09-16 | 2023-02-15 | 株式会社ダイフク | 防火扉 |
-
1993
- 1993-12-17 JP JP31862793A patent/JP3119551B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07176587A (ja) | 1995-07-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0225804Y2 (ja) | ||
| JP3119551B2 (ja) | クリーンルームにおける垂直搬送装置 | |
| AU2015287152B2 (en) | Device for providing a crossover point | |
| TWI439409B (zh) | 搬送設備 | |
| FI72703B (fi) | Dubbelpanelad gliddoerr, saerskilt foer hissar. | |
| JP6367131B2 (ja) | ドアユニット及びエレベータ | |
| JP2000085963A (ja) | クリーン作業装置 | |
| JP2007227760A (ja) | 搬送車 | |
| JPH05294441A (ja) | 移動体使用の荷取り扱い設備 | |
| JPH0240002Y2 (ja) | ||
| JPS63267612A (ja) | 昇降装置 | |
| JP4065997B2 (ja) | 台車式搬送装置 | |
| JPS63229246A (ja) | スプラツシユガ−ドにおける引戸案内機構 | |
| JPS6341410Y2 (ja) | ||
| JPH07238708A (ja) | 機械式駐車装置 | |
| JPH0541552Y2 (ja) | ||
| JPH044149Y2 (ja) | ||
| JPH06183663A (ja) | クリーンルーム用昇降機 | |
| JPS61124486A (ja) | クリ−ンル−ム間の搬送装置 | |
| JP2999664B2 (ja) | パネルシャッター | |
| JPH01250588A (ja) | パネルシャッター装置 | |
| SU656937A1 (ru) | Устройство дл поштучной передачи грузов | |
| JPH0117528Y2 (ja) | ||
| JPS62105884A (ja) | 搬送装置 | |
| JPS63171987A (ja) | パネルシヤツターにおけるパネル継送装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20000919 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313532 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |