JP5093586B2 - 搬送設備 - Google Patents
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Description
そして、このような搬送設備において、従来では、物品出し入れ用の出し入れ口の夫々に出し入れ口を遮蔽する開閉自在な防火扉を設け、筒体が焼損しないように筒体の周壁を防火壁にて構成しており、火災が発生した際は、防火扉にて出し入れ口を遮蔽することにより出し入れ口から火炎や燃焼排ガスが筒体内に侵入することを防ぎ、筒体の周壁を防火壁にて構成することにより筒体の焼損箇所から筒体内に火炎や燃焼排ガスが侵入することを防ぐことにより、火炎が筒体内に侵入することを防いで火災が他の階に広がることを防止するとともに、燃焼排ガスが筒体内に侵入することを防いで筒体が煙突効果を発揮することを抑制するようにして、延焼を抑えるように構成されていた(例えば、特許文献1参照。)。
隣接する階の間に前記昇降体の昇降移動経路を横断する形態で筒体内を遮蔽する開閉自在な防火扉が設けられ、前記防火扉が、水平方向に並べられた複数の扉体で構成され、前記昇降体の昇降経路の上方に設けられた回転体に巻き掛けられて一端部に前記昇降体を吊り下げ支持し且つ他端部にバランスウェイトを吊り下げ支持する索条体が設けられ、前記筒体内に、前記昇降体及び前記バランスウェイトを昇降案内するガイドレールが、横断面視において、前記昇降体と前記バランスウェイトとが並ぶ方向における前記バランスウェイトが位置する側に寄せた状態で設けられ、前記ガイドレールにおける前記昇降体が位置する側に、横断面視において、外部に連通する開口部よりも奥部側を幅広に形成された昇降体昇降案内用の縦向きの昇降体用係合溝が形成され、前記ガイドレールにおける前記バランスウェイトが位置する側に、横断面視において、外部に連通する開口部よりも奥部側を幅広に形成されたバランスウェイト昇降案内用の縦向きのウェイト用係合溝が形成され、前記防火扉が、前記筒体内における前記ガイドレールよりも前記昇降体が位置する側の部分を遮蔽するメイン扉体と、前記ガイドレールにおける前記昇降体用係合溝を遮蔽する昇降体側サブ扉体と、前記ガイドレールにおける前記ウェイト用係合溝を遮蔽する前記ウェイト用係合溝を遮蔽するウェイト側サブ扉体とを備えて構成されている点にある。
つまり、防火扉を閉じた状態では、火炎や燃焼排ガスが物品出し入れ口から筒体内に侵入したとしても、隣接する階の間に設けられた防火扉にて、火災が他の階に広がることを防止し且つ筒体が煙突効果を発揮することを抑制することができ、また、筒体が焼損してその焼損箇所から筒体内に火炎や燃焼排ガスが侵入したとしても、同様に、隣接する階の間に設けられた防火扉にて、火災が他の階に広がることを防止し且つ筒体が煙突効果を発揮することを抑制することができる。
従って、火災が他の階に広がることを防止することや筒体が煙突効果を発揮することを抑制することができる構成を隣接する階の間に防火扉を設けるだけの安価なものとすることができるものとなり、もって、延焼を抑える構成の低廉化を図ることができる搬送設備を提供することができるに至った。
つまり、昇降体用係合溝やウェイト用係合溝は、横断面視において、外部に連通する開口部よりも奥部側が幅広に形成されているため、筒体内におけるガイドレールよりも昇降体が位置する部分を遮蔽するメイン扉体にて昇降体用係合溝やウェイト用係合溝も遮蔽するように構成することは難しいが、昇降体用係合溝やウェイト用係合溝を個別に扉体にて遮蔽することによって、防火扉の構成が簡素なものでありながら、昇降体用係合溝やウェイト用係合溝を適確に遮蔽することができ、もって、簡素な構成の防火扉にて筒体内を適確に遮蔽することができる搬送設備を提供することができるに至った。
つまり、繰り出し操作されるメイン扉体を動力として利用して昇降体側サブ扉体を開き操作するため、昇降体側サブ扉体を開き操作する専用の駆動手段が必要なくなり、防火扉の構成の簡素化を図ることができ、もって、火災が他の階に広がることを防止する構成の簡素化を図ることができる搬送設備を提供することができるに至った。
図1及び図2に示すように、搬送設備は、半導体基板を収納した容器を物品1として複数階に亘って搬送する昇降式搬送装置2と、複数階の夫々に設けられ且つ天井近くを走行して物品1を搬送する天井搬送装置3と、複数階の夫々に設けられ且つ床面上を走行する床面搬送装置4とを設けて構成されており、昇降式搬送装置2にて上階Uや下階Dの複数階に搬送された物品1を天井搬送装置3又は床面搬送装置4にて搬送するように構成されている。
ちなみに、上階Uと下階Dとの間に中階Mが設けられているが、この中階Mには昇降式搬送装置2に対して物品1を授受する天井搬送台車3や床面走行台車4は設けられておらず、クリーンルームは形成されていない。
そして、循環路には、通風ファン12より上流側に外気取入流路14が接続され、通風ファン12より下流側に排気流路15が接続されており、空気浄化手段6にて循環されるクリーンルーム内の空気の一部を外気と交換されるように構成されている。
物品搬送車19は、案内レール18にて案内支持されてリニアモータによる推進力によって案内レール18に沿って移動する移動車体20と、側面視にて下方側が開放されたコ字状に形成され且つ内部空間にワイヤ23を巻き取り繰り出し操作するワイヤ巻き取り部22を備えた外枠体21と、ワイヤ23の先端に吊り下げ支持されて物品1を把持する把持部24とを設けて構成されている。
そして、物品搬送車19は、移動車体20を案内レール18に沿って移動させて物品授受部41の上方に停止させた状態において、物品1を把持した把持部24を下降させた後に把持部24による把持を解除して物品1を物品授受部41に受け渡し、物品1を把持していない把持部24を下降させた後に物品授受部41に載置されている物品1を把持部24にて把持して物品1を物品授受部41から受け取るようにして、自己と物品授受部41との間で物品1を授受するように構成されている。
そして、物品搬送台車26は、走行車体27を走行経路に沿って走行させて物品授受部41の横側方に停止させた状態において、搬送コンベア28を駆動させることにより、自己と物品授受部41との間で物品1を授受するように構成されている。
そして、筒体32における上階Uに設けられた部分及び下階Dに設けられた部分には、床面近くの部分がその他の部分よりも前後方向に幅広に形成された幅広部分32aが備えられている。
ちなみに、グレーチング床8並びにエアーフィルタ9には筒体32を挿通させるための開口が形成されている。また、スラブ床Fの上面にて床面が形成され且つ下面にて天井面が形成されている。
また、筒体32における幅広部分32aには、昇降経路の周囲に位置するようにその昇降経路の前方側に物品支持部42が設けられており、この物品支持部42は、物品授受部41に対応して水平方向に並べた一対を上下2箇所に設けて計4ヶ所に設けられている。
そして、物品授受部41と物品支持部42との間で物品1を搬送する搬送装置43が設けられており、また、出し入れ口31に対応して出し入れ口31を遮蔽する開閉自在な開閉扉44が設けられている。
また、筒体32には、昇降経路の周囲に位置するようにその昇降経路の横側方両側に物品1を収納する物品収納部45が設けられており、この物品収納部45は上下方向に並ぶ状態で複数設けられており、筒体32内に複数の物品1を収納することができるように構成されている。
そして、前記ガイドレール39における前記昇降体33が位置する側に、横断面視において、外部に連通する開口部よりも奥部側が幅広に形成された昇降体昇降案内用の縦向きの昇降体用係合溝47が形成され、前記ガイドレール39における前記バランスウェイト34が位置する側に、横断面視において、外部に連通する開口部よりも奥部側を幅広に形成されたバランスウェイト昇降案内用の縦向きのウェイト用係合溝48が形成されている。
説明を加えると、ガイドレール39は横断面視の形状が略H字状に形成されており、昇降体用係合溝47を開口部よりも奥部側を幅広に形成すべく、横幅方向両側に位置して前後方向に沿う一対の辺部分の前端部夫々に横幅方向内方側に突出する昇降体側突出部分49が形成されており、ウェイト用係合溝48を開口部よりも奥部側を幅広に形成すべく、一対の辺部分の後端部夫々に横幅方向内方側に突出するウェイト側突出部分50が形成されている。
また、下側昇降用ベルト38が1本設けられており、この下側昇降用ベルト38は、昇降体33の移動経路の下方側に設けられた前後一対の下側回転体36に巻き掛けられて、一端部が昇降体33の下端部に連結され且つ他端部がバランスウェイト34の下端部に連結されている。
そして、上側回転体35を正逆に回転駆動させることによって昇降体33を昇降経路に沿って昇降移動させるように構成されている。
また、下側昇降用ベルト38は、下側回転体36から昇降体33に向けて上方に伸びる部分が昇降体用係合溝47よりも前方側に位置し、下側回転体36からバランスウェイト34に向けて上方に伸びる部分がウェイト用係合溝48内に位置するように設けられている。
そして、昇降体33に設けられる案内ローラ53として、ガイドレール39における一対の昇降体側突出部分49の3面に接当案内されるように設けられた6つの案内ローラ53が上下2組設けられており、計12の案内ローラ53が設けられている。
この物品移載装置54は、上下軸心P1周りに旋回自在な旋回台55と、物品1を載置支持する載置体56と、旋回台55上に設けられて載置体56を出退移動自在に支持するリンク機構57とを設けて構成されている。そして、物品移載装置54は、旋回台55の旋回により載置体56の出退方向を変更可能で、且つ、リンク機構57の伸縮により載置体56を昇降体33上に引退させた状態や載置体56を物品収納部45側や物品支持部42側に突出させた状態に切り換え可能に構成されている。
つまり、物品移載装置54は、物品1を移載する物品支持部42や物品収納部45に載置体56の出退方向が対応するように旋回台55を旋回させた状態で、その対応する物品収納部45や物品支持部42と自己との間で物品1を移載するように構成されている。
そして、バランスウェイト34に設けられる案内ローラ53として、ガイドレール39における一対のウェイト側突出部分50とガイドレール39における内方側突出部分とに接当案内される4つの案内ローラ53が上下2組設けられており、計8の案内ローラ53が設けられている。
説明を加えると、図9及び図10に示すように、中階Mと下階Dとの間に設けられたスラブ床F上にそれに形成された矩形状の開口64を囲むように矩形状の枠体65が設けられており、防火扉63は枠体65にて囲まれた内部空間に設けられている。そして、防火扉63は、スラブ床Fに形成された開口64を遮蔽することにより筒体32内を遮蔽するように構成されている。また、筒体32は、枠体65の周囲を覆うように設けられている。
そして、開口64(筒体32内)におけるガイドレール39よりも昇降体33が位置する側とは反対側の部分は、その部分を遮蔽する状態で固定された固定遮蔽板69にて遮蔽されている。
そして、メイン扉体66の下面に形成された凹凸に噛合するギヤを回転駆動させるシャッター開閉用モータ74が設けられており、メイン扉体66は、シャッター開閉用モータ74にてギヤが正逆に回転駆動されることによって、巻き取り繰り出し操作されて開き状態と閉じ状態とに切り換えられるように構成されている。
昇降体側サブ扉体67は、上下方向中央部よりも上方寄りに位置する揺動軸心周りに揺動自在に構成されており、揺動軸心よりも下部の自重にて開き姿勢側に付勢されており、開き姿勢ではマグネット75(図13参照)にてその姿勢で保持されている。
また、昇降体側サブ扉体67は、開き姿勢に姿勢変更されることにより昇降体33の昇降移動経路から外れるように昇降体用係合溝47内に位置し、閉じ姿勢に姿勢変更されることにより昇降体用係合溝47を上下方向に遮蔽するように構成されている。
そして、ウェイト側サブ扉体68の上面に形成されたラックに噛合するピニオンを回転駆動させる扉開閉用モータ70が設けられており、扉開閉用モータ70にてピニオンを正逆に回転駆動させることによって、ウェイト側サブ扉体68をバランスウェイト34の昇降移動経路から退避した退避位置とウェイト用係合溝48を上下方向に遮蔽する遮蔽位置とにスライド移動させるように構成されている。
このウェイト側サブ扉体68の横幅は、ウェイト用係合溝48における奥部側の横幅よりも幅広に形成されており、ガイドレール39には、ウェイト側サブ扉体68が退避位置と遮蔽位置とにスライド移動可能なように切り欠きが形成されている。
尚、凹入部66aは、メイン扉体66における操作部72を間に挟んだ状態で横幅方向両側に形成されている。
(1) 上記実施の形態では、メイン扉体66が扉収納部71から繰り出されるに伴って昇降体側サブ扉体67を開き姿勢から閉じ姿勢に姿勢変更させるべく、メイン扉体66に昇降体側サブ扉体67を押圧操作する操作部72を設けたが、メイン扉体66に操作部72を設けずに、昇降体側サブ扉体67を開き姿勢から閉じ姿勢に姿勢変更させるべく昇降体側サブ扉体67を揺動操作する駆動手段を別途備えてもよい。
また、上記実施の形態では、中階Mと下階Dとの間に防火扉63を設けたが、上階Uと中階Mとの間に防火扉63を設ける、中階Mを複数設けた場合は隣接する中階Mの間に防火扉63を設ける等、隣接する階の間に防火扉63を設けたものであればよく、中階Mと下階Dとの間並びに上階Uと中階Mとの間に防火扉63を設ける等、防火扉63を複数設けてもよい。
ちなみに、中階Mについては、クリーンルームを形成して天井搬送台車3や床面走行台車4は設け、中階Mに対応して出し入れ口31を形成する等、上階Uや下階Dと同様に構成してもよい。
31 出し入れ口
32 筒体
33 昇降体
34 バランスウェイト
35 回転体
37 索条体
39 ガイドレール
47 昇降体用係合溝
48 ウェイト用係合溝
63 防火扉
66 メイン扉体
67 昇降体側サブ扉体
68 ウェイト側サブ扉体
72 操作部
Claims (2)
- 複数階に亘って設けられ且つ前記複数階の夫々に対応して物品出し入れ用の出し入れ口が形成されている昇降経路形成用の筒体と、
前記筒体内を昇降移動して物品を搬送する昇降体とが設けられている搬送設備であって、
隣接する階の間に前記昇降体の昇降移動経路を横断する形態で筒体内を遮蔽する開閉自在な防火扉が設けられ、
前記防火扉が、水平方向に並べられた複数の扉体で構成され、
前記昇降体の昇降経路の上方に設けられた回転体に巻き掛けられて一端部に前記昇降体を吊り下げ支持し且つ他端部にバランスウェイトを吊り下げ支持する索条体が設けられ、
前記筒体内に、前記昇降体及び前記バランスウェイトを昇降案内するガイドレールが、横断面視において、前記昇降体と前記バランスウェイトとが並ぶ方向における前記バランスウェイトが位置する側に寄せた状態で設けられ、
前記ガイドレールにおける前記昇降体が位置する側に、横断面視において、外部に連通する開口部よりも奥部側を幅広に形成された昇降体昇降案内用の縦向きの昇降体用係合溝が形成され、
前記ガイドレールにおける前記バランスウェイトが位置する側に、横断面視において、外部に連通する開口部よりも奥部側を幅広に形成されたバランスウェイト昇降案内用の縦向きのウェイト用係合溝が形成され、
前記防火扉が、前記筒体内における前記ガイドレールよりも前記昇降体が位置する側の部分を遮蔽するメイン扉体と、前記ガイドレールにおける前記昇降体用係合溝を遮蔽する昇降体側サブ扉体と、前記ガイドレールにおける前記ウェイト用係合溝を遮蔽する前記ウェイト用係合溝を遮蔽するウェイト側サブ扉体とを備えて構成されている搬送設備。 - 前記昇降体側サブ扉体が、前記昇降体側係合溝の前記奥部側に、その横幅方向に沿う軸心周りの揺動により垂直又は略垂直姿勢となる開き姿勢と水平又は略水平姿勢となる閉じ姿勢とに姿勢変更自在に設けられ、
前記メイン扉体が、扉収納部に巻き取られた開き状態と前記扉収納部から繰り出された閉じ状態とに巻き取り繰り出し操作自在に設けられ、且つ、前記収納部から繰り出されるに伴って前記昇降体側サブ扉体を前記開き姿勢から前記閉じ姿勢に姿勢変更させるべく前記昇降体側サブ扉体を押圧操作する操作部を設けて構成されている請求項1記載の搬送設備。
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